智能环境及安全监控方法及监控系统技术方案

本揭示揭露一种监控制造设施的环境及安全的监控方法及监控系统。在一实施方式中，监控方法包含：将自动化物料搬运系统(AMHS)载具由第一位置运输至第二位置，以及使用位于AMHS载具上的至少一感测器侦测至少一参数，以判断第一位置及第二位置间的至少一环境或安全条件。

Intelligent Environment and Safety Monitoring Method and Monitoring System

This disclosure discloses a monitoring method and monitoring system for monitoring the environment and safety of manufacturing facilities. In an embodiment, the monitoring method includes transporting an automated material handling system (AMHS) vehicle from the first position to the second position, and detecting at least one parameter using at least one sensor located on the AMHS vehicle to determine at least one environmental or safety condition between the first position and the second position.

【技术实现步骤摘要】
智能环境及安全监控方法及监控系统
本揭示是关于一种监控方法及监控系统，特别是关于一种用以监控制造设施的环境及安全的监控方法及监控系统。
技术介绍
加工产品的品质、一致性及成本取决于处理步骤及设备的表现的复杂组合。复杂的高价值产品的制造通常需要漫长的试误过程，而材料特性及/或制造设备在不同加工条件下的行为的不一致性及/或不确定性导致资源浪费。这些不一致性和不确定性至少部分是由环境条件造成的不利影响所导致，例如：在制造过程中引进或产生的污染物。此外，污染物如微米/纳米级悬浮微粒(小于100纳米至几微米)亦可能增加制造设施中的作业员的健康风险。在典型的半导体制造设施中，污染物可以气体、化学蒸气、微米/纳米级悬浮微粒及气态分子污染物等形式产生。在无尘室中，含有各式离子种类的微米/纳米级悬浮微粒可能来至多个来源，包含人类行为(如:卫生、衣物等)、无尘室气流、设备、材料及纳米材料合成过程等。微米/纳米级悬浮微粒可以是直接被释放，或是在大气化学反应过程中形成，例如：蒸发被加热的化学物质/溶剂、由薄膜或其加工设备泄漏/释出的气体等。除了微米/纳米级悬浮微粒外，在半导体制程中，气态分子污染物(AMC)同样令人担心。此有机污染物可能对生产工具造成不利影响，因此提高制造设施营运商的成本。在无尘室环境中，AMC的水平主要产生自内部的溶剂及醋酸来源、二次吸入排出的气体、芳香族化合物及材料释气。此外，溢出、泄漏和处理不当可能发生，造成晶圆损耗及工具停机时间方面严重的代价。一个理想的无污染制造环境可通过结合空气处理系统中的过滤解决方案及源头控制/监控与来实现。连续、线上及即时的污染物水平监控得帮助找出来源，稳定生产，并避免过滤单元的使用寿命意外地缩短。然而，在半导体制造设施环境中，传统的环境监控昂贵且耗时，样本收集仰赖人力部署，量测/表征仰赖专用的仪器。此外，传统监控技术并无提供连续、即时的监控，也就是说，当量测结果提供检阅时，半导体制造设施的状况可能已改变。除了监控无尘室内污染物(如：类型、水平等)，亦需要密切注意及观察进出半导体制造设施的作业员及其他人员，包含访客及第三方承包商。传统的观测监视方法通常使用位于设施内预定位置的固定摄影机来实现，然而，装设大量的摄影机以达到充足的覆盖率可以是非常昂贵的。此外，此传统方法虽然可侦测未经授权的人员或活动，但并未提供机会以侦测未经授权的通讯，如：视频/图片录制、语音通讯及文件上传/下载。因此，需要一种更简单、更快速及更便宜的科技来实现半导体制造设施中环境污染物水平及安全的即时监控。
技术实现思路
依据本揭示的一些实施方式，一种监控方法，用以监控制造设施内的环境与安全。监控方法包含：将自动化物料搬运系统载具由第一位置运输至第二位置，以及使用位于自动化物料搬运系统载具上的至少一感测器侦测至少一参数，以判断第一位置及第二位置之间的至少一环境或安全条件。依据本揭示的一些实施方式，一种监控系统，用以监控制造设施内的环境与安全。监控系统包含载具。载具配置以自动地装载、卸载及运输至少一晶圆。载具配置以携带至少一感测器。当载具在制造设施中运输时，至少一感测器配置以判断至少一环境或安全条件。依据本揭示的一些实施方式，一种监控系统，用以监控制造设施内的环境与安全。监控系统包含自动化载具、至少一污染物感测器以及至少一安全感测器。污染物感测器耦接至自动化载具。安全感测器耦接至自动化载具。附图说明当结合附图阅读时，从以下详细描述可以理解本揭示案的各态样。值得注意的是，各特征件并未按比例绘制。事实上，为了论述的清楚性，可以任意地增大或缩小各特征件的尺寸及几何形状。图1依据本揭示的一些实施方式绘示一半导体制造设施的示意图。半导体制造设施配备了多个自动化物料搬运系统(AMHS)载具，其配置以在晶圆加工及/或量测设备间运输晶圆，同时携带用以监控环境及安全参数的各式感测器与侦测器；图2A依据本揭示的一些实施方式绘示一方块图，其展示整合至半导体制造设施中的AMHS系统的监控系统的示例性配置；图2B依据本揭示的一些实施方式绘示于图2A所示的监控系统中所使用的控制器的方块图；图3依据本揭示的一些实施方式绘示用于半导体制造设施中的环境及安全监控方法的流程图。具体实施方式以下揭示内容提供了用于实施所提供标的的不同特征的许多不同示例性实施方式。下文描述了部件和布置的特定实例以简化本揭示案。此等当然仅为实例，而并非意欲为限制性的。例如，应当理解，当一元件被提到连接或耦接至另一元件，该元件可直接连接或耦接至该另一元件，或者可能存在一或多个的中间元件。这些示例性实施方式的描述被设置为结合附图的附图来理解，而这些附图被认为是整个书面描述的一部分。在本文中，诸如“下部”、“上部”、“水平的”、“铅直的”，“在……之上”、“在……之下”、“上”、“下”、“顶部”、“底部”及其衍生词(如：水平地、铅直地、向上地等)的类的相对用词，应被解释为后续描述的方向，或是所讨论的附图中展示的方向。这些相对用词是为了便于描述，并不要求装置以特定的方向建构或操作。本揭示提供许多不同监控半导体制造设施中环境参数(如：微米/纳米级悬浮微粒及气态分子污染物的类型/水平、温度、湿度、磁场)及安全(如：未经授权的人员及活动，包含未经授权的无线通讯)的监控方法及监控系统的实施方式。在半导体元件的制造过程中，半导体晶圆经多个由不同的加工设备施行的加工步骤。制造设施通常包含用以在不同的加工设备间或在加工设备与量测设备间运输晶圆的自动化物料搬运系统(AMHS)。在一些实施方式中，一或多个AMHS载具整合了即时连续监控系统，允许环境污染物水平及其他一或多个物理参数的监控。因此，可以在不引进昂贵的大型设备下，量测制造设施中环境及/或安全参数。除了现有在预定位置的固定式安全监控系统(如：识别证、闭路电视摄影机)外，通过于制造设施中移动配备有环境/安全监控系统的AMHS载具以侦测未经授权的人员或活动(如：在如移动装置或其他电子通讯装置上，未经授权的通讯、存取及对设施外的数据/文件传输)，可提供补充巡逻。因此，可以有效地避免上述的环境及安全问题。图1依据本揭示的一些实施方式绘示半导体制造设施100的示意图。半导体制造设施100配备多个AMHS载具102，用以在进行晶圆加工及/或量测的设备104间运输晶圆，同时携带多个用以监控环境及安全条件的感测器及侦测器。在半导体制造设施100中，具类似功能的设备104通常聚集于同一制程区106。一制程区106通常包含至少一储存站108，且位于制程区106的一端。AMHS载具102在不同制程区106的储存站108间所进行的跨制程区自动晶圆容器运输，可在高架的运输轨道110上导引。在特定的实施方式中，每一储存站108都包含数个垂直堆放的储存箱，用以存放半导体晶圆或晶圆容器。依据一些实施方式，AMHS载具可以高架起重运输(OHT)、高架穿梭(OS)、自动导引车(AGV)、轨道导引车(RGV)、输送带系统或其组合的形式进行晶圆及晶圆容器的运输。晶圆在各别的设备104上进行加工及量测。传统上，当一晶圆的加工或量测完成时，作业员可手动自设备104卸载该晶圆并将其存放于一晶圆容器(图未示)，如前开式晶圆传送盒(FOUP)及前开式晶圆运输盒(FOSB)，随后将F本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种监控方法，用以监控一制造设施内的环境与安全，其特征在于，该监控方法包含：将一自动化物料搬运系统载具由一第一位置运输至一第二位置；以及使用位于该自动化物料搬运系统载具上的至少一感测器侦测至少一参数，以判断该第一位置及该第二位置之间的至少一环境或安全条件。

【技术特征摘要】
2017.11.13 US 62/585,459;2017.12.07 US 15/835,3271.一种监控方法，用以监控一制造设施内的环境与安全，其特征在于，该监控方法包含：将一自动化物料搬运系统载具由一第一位置运输至一第二位置；以及使用位于该自动化物料搬运系统载具上的至少一感测器侦测至少一参数，以判断该第一位置及该第二位置之间的至少一环境或安全条件。2.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，该自动化物料搬运系统载具配置以由该第一位置装载、卸载及运输多个晶圆至该第二位置。3.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，该至少一环境或安全条件包含以下至少其一：温度、湿度、磁场强度/方向、空气中离子种类的污染程度/类型、空气中有机种类的污染程度/类型、未经授权的人员/活动以及未经授权的无线通讯。4.根据权利要求3所述的监控方法，其特征在于，该空气中离子种类包含NH4+、Fe2+、Fe3+、Na+、F-、Cl-、NO3-、PO43-、SO42-以及NO2-。5.根据权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄俊荣，徐光宏，徐永璘，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71