Turbine molecule stator components usually include arrays of stator blades arranged to interact with pumped gases and mounted on hubs or shoulders of internal and/or external diameters. Stator blade arrays are usually formed as separate components between each rotor blade array or stage. The spacer is used to locate the stator blade arrays or stages correctly between the rotor stages. Usually, the stator components are stacked by alternately placing the stator blades and spacers in the stack. The spring washer is placed between the end of the stack and the pump housing to ensure that the spacer is kept in the proper position and is driven together by the force exerted by the spring washer longitudinally passing through the stack. The invention reduces the number of components and simplifies the pump manufacturing process by providing the following stator components: the stator components have resilient external segments, and therefore, when in a compression state, the resilient external segments apply spring loads between adjacent spacers to keep the stator components in an appropriate position during pump manufacturing and operation.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵
本专利技术涉及真空泵。具体地，本专利技术涉及涡轮分子真空泵的改进。具体地，本专利技术涉及一种被构造成在涡轮分子真空泵中使用的泵定子。
技术介绍
涡轮分子真空泵是本领域技术人员所公知的。此类泵被设计成操作以将室抽空至大约10-6mBar及以下的高真空压力，其中气体分子表现出分子流型行为。在这种稀薄的环境中，气体分子通常不彼此相互作用，而是分子与室的壁相互作用并且相比于在更接近大气压力的压力下的气体分子表现出极长的平均自由程。通常，这种泵包括具有壳体的机构，该壳体布置成容纳泵的部件（包括转子、定子、驱动轴、轴承和马达）。壳体具有入口以允许气体分子进入泵，在泵中气体由泵机构压缩。压缩后的气体然后传递到出口（在该出口处压缩后的气体离开涡轮分子泵）并且通常传递到另一个真空泵上，该另一个真空泵布置成在更接近大气压力的更低真空压力中操作。涡轮分子转子部件和定子部件包括一系列成角度的叶片阵列，其中邻近的转子叶片由类似的定子叶片阵列介入。因此，如在“ModernVacuumPractice（现代真空实践）”第三版，NigelHarris著，由McGraw-Hill在2007...
【技术保护点】
1.一种涡轮分子真空泵，其包括：壳体，其用于容纳具有入口侧和出口侧的涡轮分子真空泵的转子部件和定子部件，驱动轴，其联接到所述转子部件以便围绕纵向轴线驱动所述转子部件，轴承器件，其用于将所述驱动轴联接到所述壳体和允许其相对旋转运动，以及间隔件，其用于相对于所述壳体定位和联接所述定子部件；其中，所述定子部件中的每一个均包括从所述纵向轴线开始且在内部部分到外部部分之间径向地延伸的一系列定子叶片，所述定子叶片中的每一个均相对于由所述内部部分限定的平面成角度，其特征在于，所述定子部件中的至少一个的外部部分包括回弹性部分，所述回弹性部分布置成与所述间隔件协作。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.08 GB 1613576.61.一种涡轮分子真空泵，其包括：壳体，其用于容纳具有入口侧和出口侧的涡轮分子真空泵的转子部件和定子部件，驱动轴，其联接到所述转子部件以便围绕纵向轴线驱动所述转子部件，轴承器件，其用于将所述驱动轴联接到所述壳体和允许其相对旋转运动，以及间隔件，其用于相对于所述壳体定位和联接所述定子部件；其中，所述定子部件中的每一个均包括从所述纵向轴线开始且在内部部分到外部部分之间径向地延伸的一系列定子叶片，所述定子叶片中的每一个均相对于由所述内部部分限定的平面成角度，其特征在于，所述定子部件中的至少一个的外部部分包括回弹性部分，所述回弹性部分布置成与所述间隔件协作。2.根据权利要求1所述的涡轮分子真空泵，其中，所述回弹性部分包括安置在所述定子叶片的端部处的顺应性部段。3.根据权利要求2所述的涡轮分子真空泵，其中，所述顺应性部段包括所述定子叶片的外尖端，所述外尖端与所述定子叶片的一端一体地形成并延长该端。4.根据权利要求3所述的涡轮分子真空泵，其中，所述定子叶片的外尖端是所述定子叶片的延伸部，所述延伸部布置成延伸到相邻间隔件之间的...
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