一种真空泵的叶片结构制造技术

技术编号:20989600 阅读:47 留言:0更新日期:2019-04-29 21:00
本实用新型专利技术公开了一种真空泵的叶片结构,包括动片组和静片组,动片组包括多层动片,静片组包括多层静片,动片与静片依次交替排列,其特征在于:所述动片和静片均包括中心盘和叶齿;同一个动片或者静片中的叶齿均布在中心盘上,叶齿与中心盘相接的一端为齿根,远离中心盘的一端为齿端,沿齿根至齿端方向上叶齿的厚度逐渐减小,叶齿倾斜角度自上而下逐渐减小,在每一个叶齿的顶部连接有一个引风件;在真空泵进行抽气时,引风件的过渡可以降低气体分子与叶片叶齿的直接撞击,减小了叶片振动幅度,利于真空泵的平稳运行;同时,还对动片和静片的各项参数进行了最佳优化,使得真空泵在抽气速度及稳定度都得到了显著的提高,更加利于实际中的应用。

A Blade Structure of Vacuum Pump

The utility model discloses a blade structure of a vacuum pump, which comprises a movable sheet group and a static sheet group. The movable sheet group includes a multi-layer movable sheet, which is arranged alternately with the static sheet. The characteristics are as follows: the movable sheet and the static sheet both include the central disc and the blade teeth; the blade teeth in the same movable sheet or the static sheet are all distributed on the central disc, and the blade teeth are connected with the central disc at one end. For the root of the tooth, one end far from the central disc is the tooth end, the thickness of the blade teeth decreases gradually along the direction from the tooth root to the tooth end, the inclination angle of the blade teeth decreases gradually from top to bottom, and there is an air-inducing part connected at the top of each blade teeth; when the vacuum pump is pumped, the transition of the air-inducing part can reduce the direct impact between the gas molecules and the blade teeth, and reduce the vibration amplitude of the blade, which is beneficial to the truth. At the same time, the parameters of movable and stationary plates are optimized to improve the pumping speed and stability of the vacuum pump, which is more conducive to practical application.

【技术实现步骤摘要】
一种真空泵的叶片结构
本技术涉及一种真空泵,具体涉及一种真空泵的叶片结构。
技术介绍
在做机械运动的各类真空泵中,分子泵是一种结构缜密,工艺要求高的泵,其原理是靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量,使气体分子在钢体表面的运动方向上产生定向流动,从而达到抽气的目的。分子泵中的涡轮分子泵是由一系列动静相间的叶轮互相配合组成,每个叶轮的叶片与叶轮水平面成一定角度,动片和静片倾角方向相反,主轴带动叶轮在静止的定叶片间高速旋转,高速旋转的叶片将动量传递给气体分子并使其产生定向运动,实现抽气目的。涡轮分子泵由多级叶列组成,转子与定子按次序交替排列;叶列的级数与压缩比有关;叶片的形状会同时影响抽速与压缩比,入口抽速大压缩比小,接近出口则相反。分子泵工作时吸入压力大多在1Pa以下,此时分子流状态下,分子间的平均自由行程大,与高速旋转的叶片之间的碰撞几率远高于分子之间的碰撞。因此高速旋转的叶片会使气体在外摩擦作用下,定向运动流向出口,产生抽气效果,转速越高,对抽气越有利;在进行抽气时,气体分子定向运动流向出口,气体分子逐一经过叶片时,大部分的气体分子经过叶片之间的缝隙后继续往出口方向流动,但是还有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵的叶片结构,包括动片组和静片组,动片组包括多层动片,静片组包括多层静片,动片与静片依次交替排列,其特征在于:所述动片和静片均包括中心盘和叶齿;同一个动片或者静片中的叶齿均布在中心盘上,叶齿与中心盘相接的一端为齿根,远离中心盘的一端为齿端,沿齿根至齿端方向上叶齿的厚度逐渐减小,叶齿倾斜角度自上而下逐渐减小,在每一个叶齿的顶部连接有一个引风件。

【技术特征摘要】
1.一种真空泵的叶片结构,包括动片组和静片组,动片组包括多层动片,静片组包括多层静片,动片与静片依次交替排列,其特征在于:所述动片和静片均包括中心盘和叶齿;同一个动片或者静片中的叶齿均布在中心盘上,叶齿与中心盘相接的一端为齿根,远离中心盘的一端为齿端,沿齿根至齿端方向上叶齿的厚度逐渐减小,叶齿倾斜角度自上而下逐渐减小,在每一个叶齿的顶部连接有一个引风件。2.根据权利要求1所述的一种真空泵的叶片结构,其特征在于:所述引风件包括底面、斜面和连接部,底面、斜面、连接部首尾连接,底面与叶齿的顶部连接,斜面与叶齿受风面相接,且斜面与叶齿受风面处于同一个平面上,斜面与连接部在连接处形成一条棱边。3.根据权利要求1或2所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈泽芸靳毅邓高飞黄鹏
申请(专利权)人:四川九天真空科技有限公司
类型:新型
国别省市:四川,51

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