The invention relates to a non-equal-diameter magnetic filtering system, which includes non-equal-diameter magnetic filtering elbow, high pulse magnetic field, compressed magnetic field and pulse bias electrode. Non-equal-diameter magnetic filtering elbow is respectively provided with upper flange and lower flange, upper shield cover is arranged above lower flange, lower shield cover is arranged below lower flange, compressed magnetic field is near lower flange, and high pulse magnetic field position is located. On the upper flange, the pulse bias electrode is located in the middle of the non-equal-diameter magnetic filter elbow; metal plasma is used as the ionization source, and a plasma transmission channel is added to increase the interaction time between electrons or ions and gases. The ionization efficiency of carbon-containing gases is improved in the south, which greatly improves the plasma density and solves the uniformity of the film.
【技术实现步骤摘要】
一种非等径磁过滤系统
本专利技术涉及材料镀膜
,更具体地说是指一种非等径磁过滤系统。
技术介绍
随着新材料技术是我国乃至全世界都非常重视的研究领域之一,从我国“863”计划设立起就是其中的一个重要的研究领域,而材料表面改性技术是新材料研究的一个重要的方向。通过合适的表面改性处理,可以显著提高材料表面的多种性能,例如材料表面的光洁度、硬度、抗磨损、抗氧化、抗腐蚀等性能,从而显著提高材料的使用寿命和工作效率,实现节约原材料、降低能源消耗等目的。由于碳基薄膜具有硬度高和摩擦系数低的性能特点,是一种性能优异的耐磨损薄膜材料,吸引着许多薄膜材料研究工作者,成为世界各国争相研究的热点薄膜材料之一。碳基涂层如四面体类金刚石(ta-diamond-likecarbon,简称ta-DLC)薄膜是以碳为基本元素构成的一种非晶材料。类金刚石薄膜(DLC)它在结构上属于非晶亚稳态结构的无定形碳,是由sp3杂化和sp2杂化碳组成:薄膜中sp3结构决定了类金刚石薄膜具有诸多类似于金刚石的优良特性,而sp2结构决定了类金刚石薄膜又具有很多石墨的特性,国际上将硬度超过金刚石硬度20%的绝缘硬质无定形碳膜称为类金刚石膜。碳基厚膜现阶段主要采用化学气相沉积法(CVD)。包括直流辉光放电等离子体CVD、射频辉光放电等离子体CVD、电子回旋CVD、高强度直流电弧等离子体沉积、激光等离子体沉积、直流等离子体辅助沉积和微波等离子体辅助沉积法等;据调研,现有利用磁控溅射或者离子镀的方法来沉积碳基膜层的速率不高于40nm/min,在工艺条件允许的情况下沉积得到30μm的碳基至少需要13小时的时间, ...
【技术保护点】
1.一种非等径磁过滤系统,其特征在于:包括非等径磁过滤弯管、高脉冲磁场、压缩磁场和脉冲偏压电极,所述非等径磁过滤弯管分别设有上法兰盘和下法兰盘,所述下法兰盘的上方设置有上屏蔽罩,所述下法兰盘的下方设置有下屏蔽罩,所述压缩磁场临近位于所述下法兰盘,所述高脉冲磁场位于上法兰盘上,所述脉冲偏压电极位于非等径磁过滤弯管中部;所述高脉冲磁场用于控制弧源靶材弧斑运动,使靶材均匀消耗,同时在弯管传输方向提供电场;所述脉冲偏压电极压缩等离子体,提高等离子体的传输效率;所述压缩磁场用于压缩等离子体,通入的气体能够在压缩段进行充分电离,提高等离子体密度和气体的电离度。
【技术特征摘要】
1.一种非等径磁过滤系统,其特征在于:包括非等径磁过滤弯管、高脉冲磁场、压缩磁场和脉冲偏压电极,所述非等径磁过滤弯管分别设有上法兰盘和下法兰盘,所述下法兰盘的上方设置有上屏蔽罩,所述下法兰盘的下方设置有下屏蔽罩,所述压缩磁场临近位于所述下法兰盘,所述高脉冲磁场位于上法兰盘上,所述脉冲偏压电极位于非等径磁过滤弯管中部;所述高脉冲磁场用于控制弧源靶材弧斑运动,使靶材均匀消耗,同时在弯管传输方向提供电场;所述脉冲偏压电极压缩等离子体,提高等离子体的传输效率;所述压缩磁场用于压缩等离子体,通入的气体能够在压缩段进行充分电离,提高等离子体密度和气体的电离度。2.如权利要求1所述的非等径磁过滤系统,其特征在于:所述高脉冲磁场电流10-200A,频率为10-100Hz。3.如权利要求1所述的非等径磁过滤系统,其特征在于:所...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐杰,庞盼,廖斌,罗军,陈琳,
申请(专利权)人:深圳南科超膜材料技术有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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