平推式插板阀及连续真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种平推式插板阀及连续真空镀膜装置。平推式插板阀包括阀体、密封板组件、导向组件和驱动装置，阀体上设有第一通孔和第二通孔，通过密封板组件对第一通孔和第二通孔进行密封封堵，实现平推式插板阀的密封；密封板组件包括支撑板和密封板，支撑板用于密封封堵第一通孔，密封板用于密封封堵第二通孔；通过驱动装置驱动密封板组件沿导向组件的延伸方向往复运动，实现第一通孔和第二通孔的密封封堵或开启，实现对阀门的开启和关闭的自动控制，且保证了阀门具有良好的密封性能。

Plug-in Valve and Continuous Vacuum Coating Device

【技术实现步骤摘要】
平推式插板阀及连续真空镀膜装置
本技术涉及真空镀膜
，尤其是涉及一种平推式插板阀及连续真空镀膜装置。
技术介绍
现有的连续真空镀膜装置中多个真空腔室连续设置，通过插板阀对多个真空腔室进行真空隔离，而现有的阀门并不能对真空腔室进行有效地密封。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高温插板阀及连续真空镀膜装置，以解决现有技术中两个真空腔体之间的有效密封的技术问题。本技术提供了一种平推式插板阀，包括阀体、密封板组件、导向组件和驱动装置；所述密封板组件、所述导向组件均位于所述阀体内；所述阀体的第一方向上的第一侧壁上设有第一通孔，所述阀体的第一方向上的第二侧壁上设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置；所述密封板组件包括支撑板和密封板，所述支撑板用于封堵所述第一通孔，所述密封板用于封堵所述第二通孔，所述支撑板与所述密封板通过伞形连接件相连接。所述导向组件包括沿第二方向设置的导杆和导轮，所述导杆位于所述密封板组件上方，所述密封板组件与所述导轮相连接，所述导轮位于所述导杆上，并能沿着所述导杆的延伸方向滑动；所述第二方向垂直于所述第一方向；所述驱动装置能够驱动所述密封板组件沿所述导杆方向移动。进一步地，包括导向滑道，所述导向滑道位于所述支撑板下方；所述导向滑道内设有滑轮，所述滑轮的数量为多个，多个所述滑轮与所述支撑板相连接。进一步地，所述阀体的第二方向上的第三侧壁上设有限位件；所述限位件的数量为多个，多个所述限位件能够与所述密封板组件相抵靠。进一步地，所述伞形连接件的数量为多个，多个所述伞形连接件均匀分布于所述支撑板与所述密封板之间。进一步地，所述伞形连接件包括第一连接件、第二连接件和定位轴；所述第一连接件和所述第二连接件的一端均套设在所述定位轴上，并与所述定位轴转动连接，所述第一连接件的另一端与所述支撑板转动连接，所述第二连接件的另一端与所述密封板转动连接。进一步地，所述密封板组件包括固定支架，多个所述伞形连接件通过定位轴与所述固定支架相连接；所述驱动装置与所述固定支架相连接，所述固定支架与所述导轮相连接，用于拉动所述密封板组件沿所述导杆方向滑动。进一步地，所述密封板组件包括波纹膨胀管和气体通道；所述气体通道位于所述支撑板内，且所述支撑板上设有气体通道出口，所述波纹膨胀管的一端与所述气体通道出口相连通，所述波纹膨胀管的另一端与所述密封板相连接；所述气体通道出口和所述波纹膨胀管的数量均为多个并一一对应，多个所述波纹膨胀管均匀分布在所述支撑板与所述密封板之间。进一步地，所述密封板组件包括弹性件，所述弹性件的一端与所述支撑板相连接，所述弹性件的另一端与所述密封板相连接，用于拉动所述密封板向所述支撑板方向移动；所述弹性件的数量为多个；多个所述弹性件均匀分布与所述支撑板与所述密封板之间。进一步地，包括阀板冷却水道；所述阀板冷却水道包括支撑板冷却水道和密封板冷却水道，所述支撑板冷却水道固定设置于所述支撑板上，所述密封板冷却水道固定设置于所述密封板上。本技术还提供了一种连续真空镀膜装置，包括上述任一项所述的平推式插板阀。与现有技术相比，本技术的有益效果为：本技术提供的平推式插板阀包括阀体、密封板组件、导向组件和驱动装置；阀体的第一方向上的第一侧壁上设有第一通孔，阀体的第一方向上的第二侧壁上设有第二通孔，并且第一通孔与第二通孔相对设置，当密封板组件从第一通孔和第二通孔处移开时，第一通孔与第二通孔之间没有障碍物遮挡，第一通孔与第二通孔相连通并形成物流通路，平推式插板阀为开启状态，物料能够从一侧的真空腔室通过第一通孔和第二通孔穿过阀体，到达平推式插板阀的另一侧的真空腔室，实现物料的流通；当密封板组件移动至第一通孔和第二通孔处时，并对第一通孔和第二通孔进行封堵密封，平推式插板阀将处于密封关闭状态，平推式插板阀将处于密封关闭状态，并实现对相邻两个真空腔室的密封封闭。导向组件包括导杆和导轮，导轮能够沿导杆的延伸方向滑动；密封板组件与导轮通过导轮吊臂相连接，吊挂在导杆的导杆的下方，驱动装置能够驱动密封板组件沿导杆方向移动，当需要对物料进行真空腔室间的转移时，通过驱动装置驱动密封板组件沿导杆方向移动，从第一通孔和第二通孔处移开时，第一通孔与第二通孔之间没有障碍物遮挡，形成物流通路，从而使物料穿过插板阀阀体进行真空腔室间的转移；当需要关断平推式插板阀，对真空腔室密封封闭时，通过驱动装置驱动密封板组件沿导杆方向移动至第一通孔和第二通孔处，通过密封板组件对第一通孔和第二通孔进行密封密封，实现平推式插板阀的密封，从而实现对真空腔室的密封。因此，通过驱动装置驱动密封板组件沿导向组件运动，在实现了对阀门的开启和关闭的自动控制的同时，也保证了平推式插板阀的密封性能。本技术还提供了一种连续真空镀膜装置，包括所述的平推式插板阀；连续真空镀膜装置包括多个真空腔室，相邻的两个真空腔室之间均设有平推式插板阀。由于连续真空镀膜装置包括平推式插板阀，因而所述连续真空镀膜装置也具有更高的密封性能的有益效果。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的平推式插板阀的结构示意图；图2为图1中A-A处剖面图；图3为图1中B-B处剖面图；图4为本技术实施例提供的连续真空镀膜装置的结构示意图。附图标记：1-阀体，11-第一通孔，12-第二通孔，2-密封板组件，21-支撑板，22-密封板，23-弹性件，24-波纹膨胀管，25-伞形连接件，26-固定支架，3-导向组件，31-导杆，32-导轮，4-驱动装置，5-滑道，6-限位件，7-阀板冷却水道，71-支撑板冷却水道，72-密封板冷却水道。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和显示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平推式插板阀，其特征在于，包括阀体、密封板组件、导向组件和驱动装置；所述密封板组件、所述导向组件均位于所述阀体内；所述阀体的第一方向上的第一侧壁上设有第一通孔，所述阀体的第一方向上的第二侧壁上设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置；所述密封板组件包括支撑板和密封板，所述支撑板用于封堵所述第一通孔，所述密封板用于封堵所述第二通孔，所述支撑板与所述密封板通过伞形连接件相连接；所述导向组件包括沿第二方向设置的导杆和导轮，所述导杆位于所述密封板组件上方，所述密封板组件与所述导轮相连接，所述导轮位于所述导杆上，并能沿着所述导杆的延伸方向滑动；所述第二方向垂直于所述第一方向；所述驱动装置能够驱动所述密封板组件沿所述导杆方向移动。

【技术特征摘要】
1.一种平推式插板阀，其特征在于，包括阀体、密封板组件、导向组件和驱动装置；所述密封板组件、所述导向组件均位于所述阀体内；所述阀体的第一方向上的第一侧壁上设有第一通孔，所述阀体的第一方向上的第二侧壁上设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置；所述密封板组件包括支撑板和密封板，所述支撑板用于封堵所述第一通孔，所述密封板用于封堵所述第二通孔，所述支撑板与所述密封板通过伞形连接件相连接；所述导向组件包括沿第二方向设置的导杆和导轮，所述导杆位于所述密封板组件上方，所述密封板组件与所述导轮相连接，所述导轮位于所述导杆上，并能沿着所述导杆的延伸方向滑动；所述第二方向垂直于所述第一方向；所述驱动装置能够驱动所述密封板组件沿所述导杆方向移动。2.根据权利要求1所述的平推式插板阀，其特征在于，包括导向滑道，所述导向滑道位于所述支撑板下方；所述导向滑道内设有滑轮，所述滑轮的数量为多个，多个所述滑轮与所述支撑板相连接。3.根据权利要求1所述的平推式插板阀，其特征在于，所述阀体的第二方向上的第三侧壁上设有限位件；所述限位件的数量为多个，多个所述限位件能够与所述密封板组件相抵靠。4.根据权利要求2所述的平推式插板阀，其特征在于，所述伞形连接件的数量为多个，多个所述伞形连接件均匀分布于所述支撑板与所述密封板之间。5.根据权利要求4所述的平推式插板阀，其特征在于，所述伞形连接件包括第一连接件、第二连接件和定位轴；所述第一连接件和所述第二连接件的一端均套设在所述定...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭爱云，汪友林，王君，
申请(专利权)人：沈阳爱科斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21