石英炉管自动抛光机以及抛光方法技术

一种石英炉管自动抛光机，该抛光机具有：石英炉管；机台，是整个抛光机的基座；第一导轨，安装在机台上表面；第二导轨，安装在机台侧表面；内火焰枪架，用于安装内火焰枪，所述内火焰枪架通过滑块安装在第一导轨上，并且内火焰枪架位于石英炉管的轴线上，使得内火焰枪可以沿着第一导轨移动，对石英炉管内表面进行火焰抛光；外火焰枪架，用于安装外火焰枪，所述外火焰枪架通过滑块安装在第二导轨上，使得外火焰枪可以沿着第二导轨移动，对石英炉管外表面进行火焰抛光；转台，通过转台的夹具夹持石英炉管，同时在转台电机的驱动下，使得石英炉管作轴向的旋转运动。

Automatic Polishing Machine for Quartz Furnace Tube and Polishing Method

An automatic polishing machine for quartz furnace tube is provided with: quartz furnace tube; machine platform is the base of the whole polishing machine; the first guide rail is installed on the surface of the machine platform; the second guide rail is installed on the side surface of the machine platform; the inner flame gun frame is used for installing the inner flame gun, which is installed on the first guide rail through slider, and the inner flame gun frame is located on the axis of the quartz furnace tube. The inner flame gun can move along the first guide rail to polish the inner surface of the quartz furnace tube; the outer flame gun holder is used to install the outer flame gun. The outer flame gun holder is installed on the second guide rail through slider, so that the outer flame gun can move along the second guide rail to polish the outer surface of the quartz furnace tube; and the turntable holds the quartz furnace through the fixture of the turntable. At the same time, driven by the rotary table motor, the quartz furnace tube rotates axially.

【技术实现步骤摘要】
石英炉管自动抛光机以及抛光方法
本专利技术属于半导体加工
，特别涉及一种石英炉管自动抛光机以及抛光方法。
技术介绍
在8英寸以上集成电路硅片扩散硅片制程中，需要石英炉管做为反应腔体作为反应环境。而现有加工工艺是由两个工人同时用氢氧气火焰对石英炉管内、外表面做火焰抛光处理，以达内外表面光洁度要求。这种工艺需要两位工人手拿火焰抛光枪相互配合，对石英炉管内外表面做抛光处理，不仅对工人的技能有较高的要求(需要培养1-2年)，而且工人的劳动强度很大，很难保证产品加工的一致性。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种石英炉管自动抛光机。本专利技术实施例之一，一种石英炉管自动抛光机，该抛光机具有：石英炉管；机台，是整个抛光机的基座；第一导轨，安装在机台上表面，第二导轨，安装在机台侧表面，内火焰枪架，用于安装内火焰枪，所述内火焰枪架通过滑块安装在第一导轨上，并且内火焰枪架位于石英炉管的轴线上，使得内火焰枪可以沿着第一导轨移动，对石英炉管内表面进行火焰抛光外火焰枪架，用于安装外火焰枪，所述外火焰枪架通过滑块安装在第二导轨上，使得外火焰枪可以沿着第二导轨移动，对石英炉管外表面进行火焰抛光；转台，通过转台的夹具夹持石英炉管，同时在转台电机的驱动下，使得石英炉管作轴向的旋转运动；控制盒，安装在机台侧面，控制盒内的控制器用于控制石英炉管，内、外火焰枪架的运动，使得内、外火焰枪对石英炉管进行可控制的火焰抛光处理。通过实践表明，本专利技术实施例很好满足了石英炉管火焰抛光工艺自动化处理的要求，极大提高了生产效率和生产质量控制水平。附图说明通过参考附图阅读下文的详细描述，本专利技术示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本专利技术的若干实施方式，其中：图1本专利技术实施例中抛光机的结构示意图。1——抛光机台，2——导轨，3——内火焰枪架，4——外火焰枪架，5——控制盒，6——石英炉管。具体实施方式根据一个或者多个实施例，如图1所示，一种石英炉管自动抛光机，该抛光机具有：石英炉管；机台，是整个抛光机的基座；第一导轨，安装在机台上表面；第二导轨，安装在机台侧表面；内火焰枪架，用于安装内火焰枪，所述内火焰枪架通过滑块安装在第一导轨上，并且内火焰枪架位于石英炉管的轴线上，使得内火焰枪可以沿着第一导轨移动，对石英炉管内表面进行火焰抛光；外火焰枪架，用于安装外火焰枪，所述外火焰枪架通过滑块安装在第二导轨上，使得外火焰枪可以沿着第二导轨移动，对石英炉管外表面进行火焰抛光；转台，通过转台的夹具夹持石英炉管，同时在转台电机的驱动下，使得石英炉管作轴向的旋转运动；控制盒，安装在机台侧面，控制盒内的控制器用于控制石英炉管，内、外火焰枪架的运动，使得内、外火焰枪对石英炉管进行可控制的火焰抛光处理。根据一个或者多个实施例，一种石英炉管自动抛光方法，采用前一实施例的石英炉管抛光机。控制器对于石英炉管抛光的方法是，分别控制内、外火焰枪的氢氧气阀门、氢氧气管道；将石英炉管装夹在自动抛光机的转台上，控制转台电机使得石英炉管作旋转运动；对内外火焰枪点火后，在控制器的控制下，火焰枪自动向设定方向运动，对石英炉管内外表面做火焰抛光处理。本专利技术实施例是建立车床工作原理下，采用了内、外火焰枪的支撑架、氢氧气阀门、氢氧气管道和控制器。抛光机台作为石英炉管装夹机具，将石英炉管装夹在自动抛光机转台上做旋转运动。火焰枪点火后，在控制器的控制下抛光枪沿着导轨自动向某一方向运动，对石英炉管内外表面做火焰抛光处理。值得说明的是，虽然前述内容已经参考若干具体实施方式描述了本专利技术创造的精神和原理，但是应该理解，本专利技术并不限于所公开的具体实施方式，对各方面的划分也不意味着这些方面中的特征不能组合，这种划分仅是为了表述的方便。本专利技术旨在涵盖所附权利要求的精神和范围内所包括的各种修改和等同布置。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英炉管自动抛光机，其特征在于，该抛光机具有：石英炉管；机台，是整个抛光机的基座；第一导轨，安装在机台上表面；第二导轨，安装在机台侧表面；内火焰枪架，用于安装内火焰枪，所述内火焰枪架通过滑块安装在第一导轨上，并且内火焰枪架位于石英炉管的轴线上，使得内火焰枪可以沿着第一导轨移动，对石英炉管内表面进行火焰抛光；外火焰枪架，用于安装外火焰枪，所述外火焰枪架通过滑块安装在第二导轨上，使得外火焰枪可以沿着第二导轨移动，对石英炉管外表面进行火焰抛光；转台，通过转台的夹具夹持石英炉管，同时在转台电机的驱动下，使得石英炉管作轴向的旋转运动；控制盒，安装在机台侧面，控制盒内的控制器用于控制石英炉管，内、外火焰枪架的运动，使得内、外火焰枪对石英炉管进行可控制的火焰抛光处理。

【技术特征摘要】
1.一种石英炉管自动抛光机，其特征在于，该抛光机具有：石英炉管；机台，是整个抛光机的基座；第一导轨，安装在机台上表面；第二导轨，安装在机台侧表面；内火焰枪架，用于安装内火焰枪，所述内火焰枪架通过滑块安装在第一导轨上，并且内火焰枪架位于石英炉管的轴线上，使得内火焰枪可以沿着第一导轨移动，对石英炉管内表面进行火焰抛光；外火焰枪架，用于安装外火焰枪，所述外火焰枪架通过滑块安装在第二导轨上，使得外火焰枪可以沿着第二导轨移动，对石英炉管外表面进行火焰抛光；转台，通过转台的夹具夹持石英炉管，同时在转台电机的驱动下，使得石英炉管作轴向的旋转运动；控制盒，安装在机台侧面，控制盒内的控制器用于控制石英炉管，内、外火焰枪架的运动，使得内、外火焰枪对石英炉管进行可控制的火焰抛光处理。2.一种石英炉管自动抛光方法，其特征在于，采用石英炉管自动抛光，该抛光机具有：石英炉管；机台，是整个抛光机的基...

【专利技术属性】
技术研发人员：周文华，吕红兵，郑小燕，蓝呈，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31