检测设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种检测设备，涉及检测技术领域，所述检测设备包括：用于支撑待检测物体的支撑平台，所述支撑平台被配置为绕第一轴旋转；包括镜头的照相装置，用于对所述待检测物体进行拍照；至少一个光源；和用于对所述待检测物体进行检测的检测窗口，其中：所述第一轴在垂直于所述第一轴的平面上的投影与所述光源的中心在所述平面上的投影的连线为第一线，与所述镜头的中心在所述平面上的投影的连线为第二线，与所述检测窗口的中心在所述平面上的投影的连线为第三线，所述第二线与所述第一线之间的夹角为第一角，所述第三线与所述第一线之间的夹角为第二角，所述第二角等于所述第一角。

Testing equipment

【技术实现步骤摘要】
检测设备
本技术涉及检测
，尤其涉及一种检测设备。
技术介绍
半导体芯片大多以晶圆为基底。考虑到芯片的制造工艺步骤很多，为了减小生产时间，降低生产成本，会在每片晶圆上制造许多具有独立功能的芯片，之后再对不同的芯片进行分割。随着半导体技术的发展，芯片的特征尺寸越来越小，这对芯片的制造工艺提出了很高的要求。若加工好的芯片上存在粉尘颗粒、划痕、接触指纹等缺陷，则可能导致芯片无法使用。为了保证切割后芯片的良品率，在进行芯片分割前常常需要对晶圆进行人工观察，以去除具有缺陷的芯片。但是，人为观察到的缺陷并非一定是实际存在的缺陷，导致检测效率较低。目前，尚无针对此问题的解决办法。
技术实现思路
本技术实施例提供了一种检测设备，能够辅助观察者对待检测物体进行检测。根据本技术实施例的一方面，提供一种检测设备，包括：用于支撑待检测物体的支撑平台，所述支撑平台被配置为绕第一轴旋转；包括镜头的照相装置，用于对所述待检测物体进行拍照；至少一个光源；和用于对所述待检测物体进行检测的检测窗口，其中：所述第一轴在垂直于所述第一轴的平面上的投影与所述光源的中心在所述平面上的投影的连线为第一线，与所述镜头的中心在所述平面上的投影的连线为第二线，与所述检测窗口的中心在所述平面上的投影的连线为第三线，所述第二线与所述第一线之间的夹角为第一角，所述第三线与所述第一线之间的夹角为第二角，所述第二角等于所述第一角。在一些实施例中，所述镜头的中心在所述平面上的投影与所述检测窗口的中心在所述平面上的投影相对于所述第一线对称。在一些实施例中，所述第一角和所述第二角之和为第三角，所述第三角与第四角之和为360°；所述检测设备还包括：控制器，用于响应于检测到所述待检测物体的缺陷的控制信号，控制所述支撑平台绕所述第一轴沿着从所述第三线到所述第一线、再到所述第二线的方向旋转所述第三角，或沿着从所述第三线到所述第二线、再到所述第一线的方向旋转所述第四角；以及在控制所述支撑平台绕所述第一轴旋转所述第三角或所述第四角后，控制所述照相装置对所述待检测物体进行拍照。在一些实施例中，所述第一角等于90°。在一些实施例中，所述镜头的中心与所述检测窗口的中心位于与所述第一轴垂直的同一平面上。在一些实施例中，所述至少一个光源包括明场光源和暗场光源中的至少一个，其中：所述明场光源相对于经过所述第一线和所述第一轴的平面对称；所述暗场光源相对于经过所述第一线和所述第一轴的平面对称。在一些实施例中，所述镜头被配置为沿平行于所述第一轴的方向移动。在一些实施例中，所述支撑平台还被配置为绕第二轴旋转，所述第二轴被配置为绕所述第一轴旋转。在一些实施例中，所述支撑平台包括：环状的第一转动机构，用于围绕所述第二轴旋转；多个支撑部，设置在所述第一转动机构上，用于放置所述待检测物体；旋转夹紧机构，设置在所述第一转动机构上，用于在旋转的情况下带动夹紧部运动；第二转动机构，用于带动所述第一转动机构围绕所述第一轴旋转。在一些实施例中，所述支撑平台还包括：第三转动机构，用于带动所述第二转动机构绕垂直于所述第一轴的轴进行俯仰运动；第四转动机构，用于带动所述第三转动机构围绕所述第一轴旋转。在一些实施例中，所述支撑平台还包括：电机，用于带动所述旋转夹紧机构旋转；位置传感器，用于在检测到所述待检测物体被放置在所述多个支撑部上的情况下，发送检测信号；控制机构，用于在接收到所述检测信号的情况下，控制所述电机旋转，以带动所述旋转夹紧机构旋转，从而带动夹紧部运动，以夹紧所述待检测物体。本技术实施例提供的检测设备中，待检测物体可以随着支撑平台绕第一轴的转动而转动，且第二线与第一线之间的夹角等于第三线与第一线之间的夹角，照相装置可以对待检测物体进行拍照。待检测物体的照片可以辅助观察者对待检测物体进行检测。例如，观察者可以在照片中标定所观察到的缺陷，另外，还可以根据多张标定缺陷的照片寻找缺陷的产生根源。通过以下参照附图对本技术的示例性实施例的详细描述，本技术的其它特征、方面及其优点将会变得清楚。附图说明附图构成本说明书的一部分，其描述了本技术的示例性实施例，并且连同说明书一起用于解释本技术的原理，在附图中：图1A是根据本技术一些实施例的检测设备的结构示意图；图1B示出了根据本技术一些实现方式的检测设备中的部分部件的投影位置的示意图；图2A是根据本技术一些实现方式的支撑平台的结构示意图；图2B是图2A所示支撑平台的部分结构的结构示意图；图2C是图2B的局部放大后的结构示意图；图2D是图2B的局部放大后的结构示意图。应当明白，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。此外，相同或类似的参考标号表示相同或类似的构件。具体实施方式现在将参照附图来详细描述本技术的各种示例性实施例。对示例性实施例的描述仅仅是说明性的，决不作为对本技术及其应用或使用的任何限制。本技术可以以许多不同的形式实现，不限于这里所述的实施例。提供这些实施例是为了使本技术透彻且完整，并且向本领域技术人员充分表达本技术的范围。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、材料的组分、数字表达式和数值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指在该词前的要素涵盖在该词后列举的要素，并不排除也涵盖其他要素的可能。“上”、“下”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。在本技术中，当描述到特定部件位于第一部件和第二部件之间时，在该特定部件与第一部件或第二部件之间可以存在居间部件，也可以不存在居间部件。当描述到特定部件连接其它部件时，该特定部件可以与所述其它部件直接连接而不具有居间部件，也可以不与所述其它部件直接连接而具有居间部件。本技术使用的所有术语(包括技术术语或者科学术语)与本技术所属领域的普通技术人员理解的含义相同，除非另外特别定义。还应当理解，在诸如通用字典中定义的术语应当被解释为具有与它们在相关技术的上下文中的含义相一致的含义，而不应用理想化或极度形式化的意义来解释，除非这里明确地这样定义。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。图1A是根据本技术一些实施例的检测设备的结构示意图。图1B示出了根据本技术一些实施例的检测设备中的部分部件的投影位置的示意图。下面结合图1A和图1B对根据本技术一些实施例的检测设备进行说明。在下面的描述中，部件的中心可以理解为部件的几何中心。如图1A，检测设备可以包括用于支撑待检测物体100的支撑平台101、包括镜头112的照相装置102、至少一个光源103和用于对待检测物体100进行检测的检测窗口104。待检测物体100例如可以包括但不限于晶圆。这里，待检测物体100的中心被示出为O1。支撑平台101被配置为绕第一轴A转动，以带动待检测物体100绕第一轴A转动，从而使得观察者能够以合适的位置观察待检测物体100。这里，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测设备，其特征在于，包括：用于支撑待检测物体的支撑平台，所述支撑平台被配置为绕第一轴旋转；包括镜头的照相装置，用于对所述待检测物体进行拍照；至少一个光源；和用于对所述待检测物体进行检测的检测窗口，其中：所述第一轴在垂直于所述第一轴的平面上的投影与所述光源的中心在所述平面上的投影的连线为第一线，与所述镜头的中心在所述平面上的投影的连线为第二线，与所述检测窗口的中心在所述平面上的投影的连线为第三线，所述第二线与所述第一线之间的夹角为第一角，所述第三线与所述第一线之间的夹角为第二角，所述第二角等于所述第一角。

【技术特征摘要】
1.一种检测设备，其特征在于，包括：用于支撑待检测物体的支撑平台，所述支撑平台被配置为绕第一轴旋转；包括镜头的照相装置，用于对所述待检测物体进行拍照；至少一个光源；和用于对所述待检测物体进行检测的检测窗口，其中：所述第一轴在垂直于所述第一轴的平面上的投影与所述光源的中心在所述平面上的投影的连线为第一线，与所述镜头的中心在所述平面上的投影的连线为第二线，与所述检测窗口的中心在所述平面上的投影的连线为第三线，所述第二线与所述第一线之间的夹角为第一角，所述第三线与所述第一线之间的夹角为第二角，所述第二角等于所述第一角。2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述镜头的中心在所述平面上的投影与所述检测窗口的中心在所述平面上的投影相对于所述第一线对称。3.根据权利要求1或2所述的检测设备，其特征在于，所述第一角和所述第二角之和为第三角，所述第三角与第四角之和为360°；所述检测设备还包括：控制器，用于响应于检测到所述待检测物体的缺陷的控制信号，控制所述支撑平台绕所述第一轴沿着从所述第三线到所述第一线、再到所述第二线的方向旋转所述第三角，或沿着从所述第三线到所述第二线、再到所述第一线的方向旋转所述第四角；以及在控制所述支撑平台绕所述第一轴旋转所述第三角或所述第四角后，控制所述照相装置对所述待检测物体进行拍照。4.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一角等于90°。5.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述镜头的中心与所述检测窗口的中心位于与...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨乐，马砚忠，张朝前，皮林立，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44