用于检查显示单元的装置制造方法及图纸

技术编号:21063245 阅读:26 留言:0更新日期:2019-05-08 08:41
本发明专利技术公开了一种用于检查显示单元的装置。所述装置包括基板台,其用于支撑基板以使得在所述基板上形成的显示单元面向下方;卡台,其被设置在所述基板台的下方以支撑用于将检查信号施加至所述显示单元的探针卡;卡盒,其被设置在所述卡台的一侧以容纳多个探针卡;卡转移单元,其用于在所述卡台和所述卡盒之间转移所述探针卡以更换所述探针卡;以及台驱动单元,其用于在垂直和水平方向上移动所述基板台。特别地,所述卡转移单元被安装在所述台驱动单元上并与所述基板台一起移动。

【技术实现步骤摘要】
用于检查显示单元的装置
本专利技术涉及一种用于检查显示单元的装置。更具体地说,本专利技术涉及一种用于电学和光学检查显示单元,诸如在基板上形成的OLED(有机发光二极管)单元的装置。
技术介绍
通常,OLED单元包括形成在基板上的薄膜晶体管(TFT)层和形成在TFT层上的有机发光层。有机发光层包括下电极、空穴注入层、空穴传输层、发射层、电子传输层和上电极。特别地,在基板上形成多个OLED单元之后,可以通过检查装置来检查OLED单元。例如,可以通过检查装置来检查OLED单元的图像质量、亮度、色坐标、色温、薄膜图案的对齐等。检查装置可以包括检查相机,其用于检查图像质量和亮度;分光镜,其用于检查色坐标和色温;以及荧光显微镜,其用于检查薄膜图案的对齐。此外,检查装置可以使用探针卡将检查信号施加至显示单元。检查装置可以包括基板台,其用于夹住基板;台驱动单元,其用于在垂直和水平方向上移动基板;以及卡台,其被设置在基板台的下方以支撑探针卡。此外,检查装置可以包括卡盒,其被用于容纳多个探针卡;以及卡转移单元,其用于根据一种显示单元选择被容纳在卡盒中的探针卡中的一个并将所选探针卡转移至卡台上。卡转移单元可以被设置在台驱动单元的下方。然而,由于卡转移单元的大小相对较大,因此难以将卡转移单元设置在台驱动单元的下方。此外,台驱动单元和卡转移单元可能彼此碰撞。
技术实现思路
本专利技术提供了一种用于检查显示单元的装置,其能够消除在台驱动单元和卡转移单元之间发生碰撞的可能性并减小由台驱动单元和卡转移单元所占的空间。根据本专利技术的一些示例性实施例,一种用于检查显示单元的装置包括基板台,其用于支撑基板以使得在基板上形成的显示单元面向下方;卡台,其被设置在基板台的下方以支撑用于将检查信号施加至显示单元的探针卡;卡盒,其被设置在卡台的一侧以容纳多个探针卡;卡转移单元,其用于在卡台和卡盒之间转移探针卡以更换探针卡;以及台驱动单元,其用于在垂直和水平方向上移动基板台。特别地,卡转移单元可以被安装在台驱动单元上并可以与基板台一起移动。根据本专利技术的一些示例性实施例,台驱动单元可以包括垂直驱动部分,其用于在垂直方向上移动基板台;第一水平驱动部分,其用于在第一水平方向上移动垂直驱动部分;以及第二水平驱动部分,其用于在垂直于第一水平方向的第二水平方向上移动第一水平驱动部分。特别地,卡转移单元可以被安装在第一水平驱动部分上且可以通过第二水平驱动部分在第二水平方向上移动。根据本专利技术的一些示例性实施例,第一水平驱动部分可以包括可移动块,其被配置成可通过第二水平驱动部分在第二水平方向上移动,以及卡转移单元可以被安装在可移动块上。根据本专利技术的一些示例性实施例,卡转移单元可以包括夹持器部分,其用于夹住探针卡;以及第二垂直驱动部分,其被安装在台驱动单元上并在垂直方向上移动夹持器部分以将探针卡传输至卡台上。根据本专利技术的一些示例性实施例,夹持器部分可以包括转移板,其被连接至第二垂直驱动部分;夹持器,其被安装至转移板以夹住探针卡;以及夹持器驱动部分,其用于操作夹持器。根据本专利技术的一些示例性实施例,夹持器中的每一个可以旋转轴,其被可旋转地安装至转移板;以及至少一个钩子,其沿径向被安装在旋转轴的下部上。此时,探针卡可以具有键孔,旋转轴的下部和夹持器的钩子被插入键孔中,以及夹持器驱动部分可以将被插入键孔中的夹持器旋转预定角度以夹住探针卡。根据本专利技术的一些示例性实施例,夹持器中的每一个可以包括凸轮从动件,其被安装在旋转轴的上部上以与旋转轴的中轴线间隔预定距离。此时,夹持器驱动部分可以包括凸轮板,其具有凸轮槽,夹持器的凸轮从动件被插入凸轮槽中;以及凸轮操作部分,其用于在水平方向上移动凸轮板,以使得旋转夹持器。根据本专利技术的一些示例性实施例,卡台可以具有用于对齐探针卡的位置的对齐销,且探针卡可以具有对齐孔,对齐销被插入对齐孔中。根据本专利技术的一些示例性实施例,装置还可以包括夹持单元,其被设置在卡台上以夹住探针卡。根据本专利技术的一些示例性实施例,探针卡可以具有分别在侧表面部分处形成的下槽,和分别被形成为具有从下槽向上的预定倾斜度的上槽。此时,夹持单元可以包括夹具,其中的每一个具有固定销,其被配置成被分别插入至下槽中;以及夹具操作部分,其用于分别在水平方向上移动夹具,以使得分别沿上槽移动被插入下槽中的固定销,从而将探针卡固定至卡台上。上面对本专利技术的概述不旨在描述本专利技术的每个所阐明的实施例或每个实施方案。下面的具体实施方式和权利要求更特别地例示了这些实施例。附图说明根据以下结合附图的描述,能够更加详细地理解示例性实施例,其中:图1为示出形成在基板上的OLED单元的示意图;图2为示出根据本专利技术的一个示例性实施例的用于检查显示单元的装置的示意图;图3为示出如在图2中所示的基板台的示意性平面视图;图4为示出如在图2中所示的基板台的示意性侧视图;图5为示出如在图2中所示的探针卡的示意性平面视图;图6为示出如在图2中所示的探针卡的示意性前视图;图7为示出如在图5中所示的探针卡的示意性侧视图;图8为示出如在图3中所示的夹持器部分的示意性侧视图;图9为示出如在图8中所示的夹持器部分的示意性平面视图;图10和11为示出如在图9中所示的夹持器部分的操作的示意图;图12和13为示出如在图2中所示的卡台的示意性平面视图;以及图14和15为示出如在图2中所示的卡台的示意性侧视图。虽然各种实施例适合于各种修改和替代形式,但其具体细节已通过示例的方式在附图中示出且将更详细地进行描述。然而,应理解的是其意图不是将所要求保护的本专利技术限制于所述的特定实施例。相反地,其意图是涵盖落在如通过权利要求所限定的主题的精神和范围内的所有修改、等同物和替代物。具体实施方式在下文中,参考附图更详细地描述本专利技术的实施例。然而,本专利技术不限于下面描述的实施例且以各种其他形式来进行实施。下面的实施例并不是用于完全完成本专利技术,而是用于将本专利技术的范围完全传达给本领域的技术人员。在说明书中,当一个组件被称为在......上或被连接至另一个组件或层时,其能够直接位于另一个组件或层上,被直接连接至其,或还可以存在中间组件或层。与此不同的是,将理解的是当一个组件被称为直接在另一个组件或层上或被直接连接至其时,其表示不存在中间组件。此外,尽管像第一、第二和第三的术语用于在本专利技术的各种实施例中描述各种区域和层,但区域和层并不限于这些术语。以下使用的术语仅用于描述具体实施例,而不用于限制本专利技术。额外地,除非在此另有限定外,包括技术或科学术语的所有术语可以具有与本领域的技术人员通常所理解的相同的意义。参考理想实施例的示意图来描述本专利技术的实施例。相应地,可以根据附图的形式来预期制造方法中的变化和/或容许误差。相应地,本专利技术的实施例不被描述为限于附图中的具体形式或区域且包括形式的偏差。该区域可以完全是示意性的,且其形式可以不描述或描绘在任何给定区域中的准确形式或结构,且不旨在限制本专利技术的范围。图1为示出形成在基板上的OLED单元的示意图;且图2为示出根据本专利技术的一个示例性实施例的用于检查显示单元的装置的示意图。参考图1和2,根据本专利技术的一个示例性实施例的一种用于检查显示单元的装置100(下文称之为检查装置)可以被用于电学和光学检查显示单元,诸如形成在基板10上的OLED单元20本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于检查显示单元的装置,所述装置包括:基板台,其用于支撑基板以使得在所述基板上形成的显示单元面向下方;卡台,其被设置在所述基板台的下方以支撑用于将检查信号施加至所述显示单元的探针卡;卡盒,其被设置在所述卡台的一侧以容纳多个探针卡;卡转移单元,其用于在所述卡台和所述卡盒之间转移所述探针卡以更换所述探针卡;以及台驱动单元,其用于在垂直和水平方向上移动所述基板台,其中,所述卡转移单元被安装在所述台驱动单元上并与所述基板台一起移动。

【技术特征摘要】
2017.10.30 KR 10-2017-01426821.一种用于检查显示单元的装置,所述装置包括:基板台,其用于支撑基板以使得在所述基板上形成的显示单元面向下方;卡台,其被设置在所述基板台的下方以支撑用于将检查信号施加至所述显示单元的探针卡;卡盒,其被设置在所述卡台的一侧以容纳多个探针卡;卡转移单元,其用于在所述卡台和所述卡盒之间转移所述探针卡以更换所述探针卡;以及台驱动单元,其用于在垂直和水平方向上移动所述基板台,其中,所述卡转移单元被安装在所述台驱动单元上并与所述基板台一起移动。2.根据权利要求1所述的装置,其中所述台驱动单元包括:垂直驱动部分,其用于在垂直方向上移动所述基板台;第一水平驱动部分,其用于在第一水平方向上移动所述垂直驱动部分;以及第二水平驱动部分,其用于在垂直于所述第一水平方向的第二水平方向上移动所述第一水平驱动部分,其中所述卡转移单元被安装在所述第一水平驱动部分上且通过所述第二水平驱动部分在所述第二水平方向上移动。3.根据权利要求2所述的装置,其中所述第一水平驱动部分包括可移动块,其被配置成可通过所述第二水平驱动部分在所述第二水平方向上移动,以及所述卡转移单元被安装在所述可移动块上。4.根据权利要求1所述的装置,其中所述卡转移单元包括:夹持器部分,其用于夹住所述探针卡;以及第二垂直驱动部分,其被安装在所述台驱动单元上并在垂直方向上移动所述夹持器部分以将所述探针卡传输至所述卡台上。5.根据权利要求4所述的装置,其中所述夹持器部分包括...

【专利技术属性】
技术研发人员:李允贞鱼庆湖
申请(专利权)人:细美事有限公司
类型:发明
国别省市:韩国,KR

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