位置检测装置及具备该位置检测装置的线性传送装置制造方法及图纸

线性传送装置(1)中，位置检测装置由滑件(3)所附设的尺(34)和包含传感器(241A)及驱动器(241B)的传感器结构体(241)构成。驱动器(241B)具备第一信号处理部(241Bd)、第二信号处理部(241Be)及信号比较处理部(241Bj)。第一信号处理部(241Bd)对来自第一传感器(241Aa)的输出信号实施指定的第一内插处理，而且生成并输出第一位置数据。第二信号处理部(241Be)对来自第二传感器(241Ab)的输出信号实施指定的第二内插处理，而且生成并输出第二位置数据。信号比较处理部(241Bj)将第一位置数据作为滑件(3)的位置信息来识别，而且生成并输出对应于该第一位置数据与第二位置数据之差的滑件(3)固有的识别信息。

Position Detection Device and Linear Transfer Device with the Position Detection Device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】位置检测装置及具备该位置检测装置的线性传送装置
本专利技术涉及对滑件的位置进行检测的位置检测装置、以及具备该位置检测装置的线性传送装置。
技术介绍
已知有以线性马达作为驱动源而使滑件沿着导轨在指定的移动方向上移动的线性传送装置(例如参照专利文献1)。在采用可动磁铁型线性马达的情况下，所述导轨被组装在搭载有线性马达定子的基梁上，而线性马达动子则被安装在所述滑件上。所述线性马达定子是与导轨平行地被设置的电磁铁，所述线性马达动子是永磁铁。通过对线性马达定子(电磁铁)进行通电，线性马达被驱动，滑件被赋予推进力。此外，线性传送装置具备：RF标签等记录介质，附设在滑件上，记录有该滑件固有的识别信息；读写器，读取记录在所述记录介质中的识别信息。在线性传送装置中，根据所述识别信息来确定移动对象的滑件。此外，线性传送装置还具备位置检测装置，该位置检测装置包含附设在滑件上的尺和设置在基梁上的传感器。在该位置检测装置中，传感器检测相对于滑件的相对位移，根据该传感器的检测数据来确定滑件的位置。而且，该线性传送装置中，根据所述滑件的位置来进行线性马达定子的通电控制，由此来进行线性马达的驱动控制。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5753060号公报
技术实现思路
如上所述，以往技术的线性传送装置中，作为生成用于控制线性马达的驱动的信息的结构，需要用于确定滑件的位置的位置检测装置和与该位置检测装置分开设置的用于确定移动对象的滑件的机构，从而导致装置结构复杂。本专利技术鉴于上述的情况而作，其目的在于提供一种能够确定移动对象的滑件及能够确定滑件的位置的位置检测装置、以及具备该位置检测装置的线性传送装置。本专利技术的一个方面所涉及的位置检测装置对在指定的移动方向上移动的滑件的位置进行检测，其包括：尺，附设于所述滑件，通过第一尺道(firsttrack)和第二尺道(secondtrack)在与所述移动方向正交的方向上排列而形成，所述第一尺道通过其刻度以第一间距沿所述移动方向设置为一列而成，所述第二尺道通过其刻度以第二间距沿所述移动方向设置为一列而成；处理部，检测所述第一尺道并生成与所述第一间距对应的第一位置数据，而且检测所述第二尺道并生成与所述第二间距对应的第二位置数据；以及信息处理部，将所述第一位置数据作为所述滑件的位置信息来识别，而且生成并输出对应于该第一位置数据与所述第二位置数据之差的所述滑件固有的识别信息。本专利技术的另一个方面所涉及的线性传送装置包括：滑件，具有线性马达动子，而且沿指定的移动方向移动自如地被设置；线性马达定子，与所述滑件的所述线性马达动子相向，而且与该线性马达动子一起构成线性马达；以及上述的位置检测装置。本专利技术的目的、特征及优点通过以下的详细说明及附图图示将变得更为明了。附图说明图1是简略地表示本专利技术的一实施方式所涉及的线性传送装置的整体结构的立体图。图2是构成线性传送装置的两个模块的连结体的立体图。图3是线性传送装置所具备的滑件的立体图。图4是简略地表示传感器及尺的结构的图。图5是表示传感器的输出信号的图。图6是表示传感器结构体的驱动器的功能结构的方块图。图7A是用于说明驱动器中第一及第二信号处理部的内插处理和信号比较处理部的识别信息生成处理的图。图7B是用于说明驱动器中第一及第二信号处理部的内插处理和信号比较处理部的识别信息生成处理的图。图8A是用于说明驱动器中第一及第三信号处理部的内插处理和信号比较处理部的识别信息生成处理的图。图8B是用于说明驱动器中第一及第三信号处理部的内插处理和信号比较处理部的识别信息生成处理的图。图9A是表示尺的变形例的图。图9B是图9A的尺的剖视图。图10A是用于说明使用图4的尺时的传感器的检测精度的图。图10B是用于说明使用图9A及图9B的尺时的传感器的检测精度的图。具体实施方式以下，根据附图对本专利技术的实施方式所涉及的位置检测装置及线性传送装置进行说明。下面，利用XYZ正交坐标轴来说明方向关系。X方向相当于左右方向(+X为右方向，-X为左方向)，Y方向相当于前后方向(+Y为前方向，-Y为后方向)，Z方向相当于上下方向(+Z为上方向，-Z为下方向)。[线性传送装置的整体结构]图1是简略地表示本专利技术的一实施方式所涉及的线性传送装置1的整体结构的立体图。线性传送装置1包括：设置在架台10上而且沿着X方向延伸的一对直线搬送部2(第一直线搬送部2A及第二直线搬送部2B)；分别位于直线搬送部2的-X侧端部和+X侧端部的第一方向转换部2C和第二方向转换部2D；沿着直线搬送部2移动的滑件3；在架台10上支撑直线搬送部2的底座构件4。直线搬送部2包括：设置在架台10的+Y侧的第一直线搬送部2A；与该第一直线搬送部2A平行地被设置在-Y侧的第二直线搬送部2B。第一、第二方向转换部2C、2D在-X侧端部和+X侧端部将直线搬送部2A、2B之间联结。第一、第二直线搬送部2A、2B是使滑件3沿着X方向移动的搬送部。第一、第二方向转换部2C、2D是使滑件3沿着Y方向移动并且在第一、第二直线搬送部2A、2B之间切换滑件3的搭载位置的搬送部，起到了转换方向的作用。第一、第二直线搬送部2A、2B为线性马达的固定侧的单元，滑件3为可动侧的单元。第一、第二直线搬送部2A、2B由多个具有引导滑件3的引导功能的模块20直线地连结而成。模块20是线性马达的固定侧的单位块体。模块20(后述的基梁21)具有上表面21A和与架台10相向的下表面21B，并且以下表面21B相对于架台10的上表面10A离开距离的状态被底座构件4支撑。图1中表示了第一直线搬送部2A由从-X方向往+X方向依次连结的模块20A、20B、20C、20D、20E形成的例子。此处，表示了模块20D的尺寸比其他的模块更短的例子。第二直线搬送部2B也是同样。这样，基于模块20的连结数或长度彼此不同的模块20的组合，能够自如地设定滑件3的X方向的移动路径长度。第一、第二方向转换部2C、2D包含滑轨11和转换用模块20Y。滑轨11以沿着Y方向延伸的方式铺设在架台10的上表面10A。转换用模块20Y沿着滑轨11在Y方向上移动自如地在嵌合在该滑轨11上。基于省略了图示的驱动机构的驱动，转换用模块20Y进行在第一直线搬送部2A的终端部E和第二直线搬送部2B的终端部E之间的移动、以及相对于这些终端部E的定位停止。滑件3能够在由第一、第二直线搬送部2A、2B及第一、第二方向转换部2C、2D形成在架台10上的环回移动路径上环回移动。图1中表示了四个滑件3A、3B、3C、3D设置在上述环回移动路径上并且在绕顺时针的滑件移动方向F上进行环回的例子。滑件3从第一直线搬送部2A的+X侧往-X侧移动(但有时会被暂且向+X侧逆送)，并且从该-X终端部E切换而搭载到第一方向转换部2C的转换用模块20Y上。在搭载着滑件3的状态下，转换用模块20Y从第一直线搬送部2A朝着第二直线搬送部2B而向-Y方向移动。接着，滑件3从-X终端部E切换而搭载到第二直线搬送部2B上，并且往+X侧移动。而且，进行切换而搭载到第二方向转换部2D的转换用模块20Y上，并且向+Y方向移动，再次进行切换而搭载到第一直线搬送部2A上。虽省略了图示，但沿着滑件3的环回移动路径设置有各种机器人，这些机器人执行基板等工件的移载、以及本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种位置检测装置，对在指定的移动方向上移动的滑件的位置进行检测，其特征在于包括：尺，附设于所述滑件，通过第一尺道和第二尺道在与所述移动方向正交的方向上排列而形成，所述第一尺道通过其刻度以第一间距沿所述移动方向设置为一列而成，所述第二尺道通过其刻度以第二间距沿所述移动方向设置为一列而成；处理部，检测所述第一尺道并生成与所述第一间距对应的第一位置数据，而且检测所述第二尺道并生成与所述第二间距对应的第二位置数据；以及信息处理部，将所述第一位置数据作为所述滑件的位置信息来识别，而且生成并输出对应于该第一位置数据与所述第二位置数据之差的所述滑件固有的识别信息。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种位置检测装置，对在指定的移动方向上移动的滑件的位置进行检测，其特征在于包括：尺，附设于所述滑件，通过第一尺道和第二尺道在与所述移动方向正交的方向上排列而形成，所述第一尺道通过其刻度以第一间距沿所述移动方向设置为一列而成，所述第二尺道通过其刻度以第二间距沿所述移动方向设置为一列而成；处理部，检测所述第一尺道并生成与所述第一间距对应的第一位置数据，而且检测所述第二尺道并生成与所述第二间距对应的第二位置数据；以及信息处理部，将所述第一位置数据作为所述滑件的位置信息来识别，而且生成并输出对应于该第一位置数据与所述第二位置数据之差的所述滑件固有的识别信息。2.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，所述处理部包含：第一传感器，检测相对于所述第一尺道的相对位移，而且输出与所述第一间距对应的第一波长的第一两相正弦波信号；第二传感器，检测相对于所述第二尺道的相对位移，而且输出与所述第二间距对应的第二波长的第二两相正弦波信号；第一信号处理部，对所述第一两相正弦波信号实施指定的第一内插处理，而且生成并输出所述第一位置数据；以及第二信号处理部，对所述第二两相正弦波信号实施指定的第二内插处理，而且生成并输出所述第二位置数据。3.根据权利要求2所述的位...

【专利技术属性】
技术研发人员：林好典，浦田哲，
申请(专利权)人：雅马哈发动机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP