三通道微波功率传感器制造技术

本发明专利技术提出三通道微波功率传感器，采用MEMS平面加工工艺，具有体积小，集成度高等优点。三通道包括电阻式、电容式和热电式，利用电阻式传感器，可以极大地提高待测微波信号的功率范围，在微波信号较弱的时候通过热电式传感器，在微波信号较强的时候通过电容式传感器，在微波信号很强的时候通过电阻式传感器，通过对微波信号进行分通道测量可以提高检测信号的精度。综上所述，本三通道微波功率传感器具有精度高、测量范围大、灵敏度高等优点。

Three-Channel Microwave Power Sensor

The invention proposes a three-channel microwave power sensor, which adopts the plane processing technology of the MEMS, and has the advantages of small volume and high integration. Three channels include resistive, capacitive and thermoelectric. Using resistive sensors, the power range of microwave signals to be measured can be greatly improved. When the microwave signal is weak, the power range of microwave signals can be measured by thermoelectric sensors, when the microwave signal is strong, by capacitive sensors, and when the microwave signal is strong, by resistive sensors. It can improve the accuracy of the detection signal. In conclusion, the three-channel microwave power sensor has the advantages of high accuracy, wide measurement range and high sensitivity.

【技术实现步骤摘要】
三通道微波功率传感器
本专利技术属于MEMS微机械传感器领域，具体涉及三通道微波功率传感器。
技术介绍
基于微机电系统（MEMS）的微波技术的发展已经成为一个国家科技水平发展的重要标志。在微波的信号产生、传输及接受等各个环节的研究中，微波功率的测量是必不可少的基本测试技术。目前，最为常用的微波功率检测工具是基于热电效应的热电式微波功率传感器。但是，传统的热电式MEMS微波功率传感器具有测量微波信号幅度小、精度不够等缺点。近年来，随着敏感元件的不断发展，使得三通道微波功率传感器成为可能。
技术实现思路
本专利技术针对现有热电式微波功率传感存在的测量范围不够、精度低等问题，提出了三通道微波功率传感器。三通道微波功率传感器，包括衬底、共面波导传输线、地线、电容极板、敏感元件、悬臂梁、负载电阻和热电堆；所述共面波导传输线设置在衬底上，其两侧设有地线，其中一侧的地线连接有地线输出端；所述共面波导传输线的末端与其中一侧的地线之间连接负载电阻，所述负载电阻的另一侧设有热电堆，所述热点堆的两端分别与直流输出端相连；所述敏感元件嵌入衬底中位于共面波导传输线的下面，所述敏感元件上设有探头，其穿过共面波导传输本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.三通道微波功率传感器，包括衬底、共面波导传输线、地线、电容极板、敏感元件、悬臂梁、负载电阻和热电堆，其特征在于：所述共面波导传输线设置在衬底上，其两侧设有地线，其中一侧的地线连接有地线输出端；所述共面波导传输线的末端与其中一侧的地线之间连接负载电阻，所述负载电阻的另一侧设有热电堆，所述热点堆的两端分别与直流输出端相连；所述敏感元件嵌入衬底中位于共面波导传输线的下面，所述敏感元件上设有探头，其穿过共面波导传输线使得敏感元件与外界相连；所述敏感元件下方还有一个矩形的金属薄膜嵌入在衬底中与共面波导传输线相平行；所述悬臂梁设置在共面波导传输线的上方，在悬臂梁的下面设置电容极板，所述电容极板具体位于...

【技术特征摘要】
1.三通道微波功率传感器，包括衬底、共面波导传输线、地线、电容极板、敏感元件、悬臂梁、负载电阻和热电堆，其特征在于：所述共面波导传输线设置在衬底上，其两侧设有地线，其中一侧的地线连接有地线输出端；所述共面波导传输线的末端与其中一侧的地线之间连接负载电阻，所述负载电阻的另一侧设有热电堆，所述热点堆的两端分别与直流输出端相连；所述敏感元件嵌入衬底中位于共面波导传输线的下面，所述敏感元件上设有探头，其穿过共面波导传输线使得敏感元件与外界相连；所述敏感元件下方还有一个矩形的金属薄膜嵌入在衬底中与共面波导传输线相平行；所述悬臂梁设置在共面波导传输线的上方，在悬臂梁的下面设置电容极板，所述电容极板具体位于悬臂梁底座和共面波导传输线之间，并连接有电容信号输出端。2.根据权利要求1所述的三通道微波功率传感器，其特征在于：所述衬底的材质为砷化镓。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：李龙飞，胡加杨，王德波，
申请(专利权)人：南京邮电大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32