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本发明提出三通道微波功率传感器，采用MEMS平面加工工艺，具有体积小，集成度高等优点。三通道包括电阻式、电容式和热电式，利用电阻式传感器，可以极大地提高待测微波信号的功率范围，在微波信号较弱的时候通过热电式传感器，在微波信号较强的时候通过电...
该专利属于南京邮电大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京邮电大学授权不得商用。

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