The present invention provides an ultra-precision hydrostatic rail system, which includes: hydrostatic rail, hydrostatic rail slider and throttle assembly. The hydrostatic rail slider includes a slider body. The lower surface of the slider body is provided with a groove for the passage of hydrostatic rail. The inner surface of the groove is provided with a plurality of hydrostatic oil chambers. The throttle assembly is arranged on the slider body and is connected with the hydrostatic rail throttle assembly. The plurality of hydrostatic oil chambers are respectively connected to provide high pressure oil to each hydrostatic oil chamber according to the input oil. The invention reduces the cost on the premise of guaranteeing the motion accuracy of the long track by adopting the way of wrapping the static rail slider with the static rail.
【技术实现步骤摘要】
一种超精密静压线轨系统
本专利技术涉及导轨领域，具体涉及一种超精密静压线轨系统。
技术介绍
线性导轨作为一般的承载方式应用在各行各业，而静压技术则在精密机械中具有广泛应用，静压伺服、静压轴承模组是典型应用实例。传统的静压导轨基于小行程进行传动，长的静压导轨（2m以上）很难加工，成本很高。静压导轨体积很大，为了满足高的承载力要求，需要保证导轨宽度，体积一般很难做的很小，传统的基于小孔静压节流方式集成度很低，较难实现模块化安装。因此，现有技术存在缺陷，急需改进。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种超精密静压线轨系统，通过采用静压线轨滑块包裹静压线轨的方式，可以提高静压导轨的长度并降低成本。本专利技术提供了一种超精密静压线轨系统，包括:静压线轨、静压线轨滑块以及节流组件，所述静压线轨滑块包括滑块本体，所述滑块本体的下表面上开设有用于供静压线轨穿过的凹槽，所述凹槽的内壁面上设置有多个静压油腔，所述节流组件设置于该滑块本体上并与所述多个静压油腔分别连通，以将根据输入的油液给各个所述静压油腔提供高压油液。在本专利技术所述的超精密静压线轨系统中，所述凹槽的内壁面上设置有附加层...
【技术保护点】
1.一种超精密静压线轨系统，其特征在于，包括:静压线轨、静压线轨滑块以及节流组件，所述静压线轨滑块包括滑块本体，所述滑块本体的下表面上开设有用于供静压线轨穿过的凹槽，所述凹槽的内壁面上设置有多个静压油腔，所述节流组件设置于该滑块本体上并与所述多个静压油腔分别连通，以将根据输入的油液给各个所述静压油腔提供高压油液。
【技术特征摘要】
1.一种超精密静压线轨系统，其特征在于，包括:静压线轨、静压线轨滑块以及节流组件，所述静压线轨滑块包括滑块本体，所述滑块本体的下表面上开设有用于供静压线轨穿过的凹槽，所述凹槽的内壁面上设置有多个静压油腔，所述节流组件设置于该滑块本体上并与所述多个静压油腔分别连通，以将根据输入的油液给各个所述静压油腔提供高压油液。2.根据权利要求1所述的超精密静压线轨系统，其特征在于，所述凹槽的内壁面上设置有附加层，所述静压油腔开设于所述附加层上。3.根据权利要求1所述的超精密静压线轨系统，其特征在于，所述凹槽包括一底面以及与所述底面连接的两个相对设置的侧壁面；所述多个静压油腔分别设置于所述底面以及所述侧壁面上。4.根据权利要求3所述的超精密静压线轨系统，其特征在于，每一所述侧壁面包括第一垂直侧壁面、第一倾斜侧壁面、第二倾斜侧壁面以及第二垂直侧壁面；所述第一倾斜侧壁面、所...
【专利技术属性】
技术研发人员：周春强，吴小华，张一博，卢诗毅，刘强，李克天，曾建军，张平，
申请(专利权)人：佛山艾克斯光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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