高精密多传感大空间恒温系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种高精密多传感大空间恒温系统，包括：至少一个风冷机组件、至少一个送风管道、环形风淋管道、机架、密封层；所述密封层包裹在所述机架上以在该机架上形成一冷却空间，所述环形风淋管道设置于所述机架上并位于所述冷却空间内；所述每一所述风冷机组件通过一所述送风管道与所述环形风淋管道连通；所述环形风淋管道的管壁上设置有多个冷风孔，用于向所述冷却空间的底部方向提供均匀冷风；所述风冷机组件包括用于产生冷空气的风冷机主体以及用于将冷空气与环境空气进行混合的混合腔。

High precision multi-sensor large space constant temperature system

The utility model provides a high-precision multi-sensor large space constant temperature system, which comprises at least one air cooler assembly, at least one air supply pipe, an annular air shower pipe, a frame and a sealing layer; the sealing layer is wrapped on the frame to form a cooling space on the frame, and the annular air shower pipe is arranged on the frame and is located in the cooling space; and Each air cooler component is connected with the annular air shower pipe through the air supply pipe; a plurality of cold air holes are arranged on the pipe wall of the annular air shower pipe for providing uniform cold air to the bottom direction of the cooling space; the air cooler component includes an air cooler body for generating cold air and a mixing chamber for mixing cold air and ambient air.

【技术实现步骤摘要】
高精密多传感大空间恒温系统
本技术涉及温控领域，具体涉及一种高精密多传感大空间恒温系统。
技术介绍
对于超精密加工或半导体行业，尤其对于高精度、长时间加工的半成品，一定要控制温度的恒定。基于以往的超精密加工经验加工高度5um左右的微结构，如果温度不能保持恒温，就会出现热变形造成超差报废。因此，传统的空调单传感器冷却或者超净室的温控方案均不能很好的解决此类问题。因此，现有技术存在缺陷，急需改进。
技术实现思路
本技术的目的是提供了一种高精密多传感大空间恒温系统，具有提高温度稳定性的效果。本技术提供了一种高精密多传感大空间恒温系统，包括：至少一个风冷机组件、至少一个送风管道、环形风淋管道、机架、密封层；所述密封层包裹在所述机架上以在该机架上形成一冷却空间，所述环形风淋管道设置于所述机架上并位于所述冷却空间内；所述每一所述风冷机组件通过一所述送风管道与所述环形风淋管道连通；所述环形风淋管道的管壁上设置有多个冷风孔，用于向所述冷却空间的底部方向提供均匀冷风；所述风冷机组件包括用于产生冷空气的风冷机主体以及用于将冷本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精密多传感大空间恒温系统，其特征在于，包括：至少一个风冷机组件、至少一个送风管道、环形风淋管道、机架、密封层；所述密封层包裹在所述机架上以在该机架上形成一冷却空间，所述环形风淋管道设置于所述机架上并位于所述冷却空间内；所述每一所述风冷机组件通过一所述送风管道与所述环形风淋管道连通；所述环形风淋管道的管壁上设置有多个冷风孔，用于向所述冷却空间的底部方向提供均匀冷风；/n所述风冷机组件包括用于产生冷空气的风冷机主体以及用于将冷空气与环境空气进行混合的混合腔；所述混合腔设置于所述风冷机主体上并通过一第一开口与所述风冷机主体连通，该第一开口处设置有用于将该风冷机主体产生的冷空气吸入该混合腔中...

【技术特征摘要】
1.一种高精密多传感大空间恒温系统，其特征在于，包括：至少一个风冷机组件、至少一个送风管道、环形风淋管道、机架、密封层；所述密封层包裹在所述机架上以在该机架上形成一冷却空间，所述环形风淋管道设置于所述机架上并位于所述冷却空间内；所述每一所述风冷机组件通过一所述送风管道与所述环形风淋管道连通；所述环形风淋管道的管壁上设置有多个冷风孔，用于向所述冷却空间的底部方向提供均匀冷风；
所述风冷机组件包括用于产生冷空气的风冷机主体以及用于将冷空气与环境空气进行混合的混合腔；所述混合腔设置于所述风冷机主体上并通过一第一开口与所述风冷机主体连通，该第一开口处设置有用于将该风冷机主体产生的冷空气吸入该混合腔中的第一风扇；所述混合腔上设置有用于供外部空气进入的第二开口以及用于将混合空气排给所述送风管道的第三开口，该第二开口处设置有用于吸入外部空气的第二风扇，该第三开口处设置有用于将混合空气排出到该送风管道的第三风扇。


2.根据权利要求1所述的高精密多传感大空间恒温系统，其特征在于，所述风冷机组件还包括主控模组，所述主控模组与所述第一风扇、所述第二风扇、所述第三风扇以及所述风冷机主体通信连接。


3.根据权利要求2所述的高精密多传感大空间恒温系统，其特征在于，所述第二开口处设置有用于调节该第二开口的开度的开口度调节器，所述开口度调节器与所述主控模组通信连接。


4.根据权利要求3所述的高精密多传感大空间恒温系统，其特征在于，所述混合腔中设置有用于检测混合腔内温度的第四温度传感器；
所述主控模组用于根据所述第四温度传感器检测到的温度信息控制所述开度调节器的开度。
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【专利技术属性】
技术研发人员：周春强，吴小华，张一博，卢诗毅，刘强，李克天，曾建军，张平，
申请(专利权)人：佛山艾克斯光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44