【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种精密恒温装置,特别是涉及一种用于为精密测量、 精密加工和科学研究提供一种温度精密可控且具有高稳定特性的环境 的在腔壁中设有水道的精密恒温装置。
技术介绍
现代科技将精度等级不断提高,由微米级进入纳米级,材料的热 变性对测量、加工精度,精密仪器使用精度等都产生重要影响。现在 很多都选用低膨胀系数或零膨胀系数的材料来制造重要的零部件,以 减小温度变化所引起的零件热变形程度,保证设备或仪器的精度。但 是在精密测量、加工过程中通常需要对环境温度进行严格控制,通常采用恒温措施将待测样品、工件或仪器保持在恒温环境中。美国LLL (Lawrence Livermore National Laboratory )实3全室对材豸牛热变性进4亍了大量 基础性研究,在其试验条件下证明,在样品或工件温度变化0.006。C时, 其相对位移量热变形误差iiiO.019pm,故将安装LODTM( Large Optical Diamond Turning Machine )超精密加工的实验室空气温度控制在 0.005。C的变化范围内。对于局部的温度场又采用局部控制法,如使用 ...
【技术保护点】
一种精密恒温装置,其特征在于, 所述精密恒温装置的恒温腔体的壁中成对设置有至少两条水道,其中每对水道中的两条水道相邻并行地盘绕在整个所述恒温腔体的壁中,每对水道中的两条水道的一端相连通形成一条水道通路,在所述恒温腔体上设有水道出/入口 。
【技术特征摘要】
1、一种精密恒温装置,其特征在于,所述精密恒温装置的恒温腔体的壁中成对设置有至少两条水道,其中每对水道中的两条水道相邻并行地盘绕在整个所述恒温腔体的壁中,每对水道中的两条水道的一端相连通形成一条水道通路,在所述恒温腔体上设有水道出/入口。2、 根据权利要求1所述的精密恒温装置,其特征在于,所述恒温腔体包括外恒温腔体和内恒温腔体,所述外恒温腔体的壁中成对设置有至少两条水道,其中每对水道 中的两条水道相邻并行地盘绕在整个所述恒温腔体壁中,每对水道中 的两条水道的一端相连通形成一条水道通路,在外恒温腔体上设有水 道出/入口 ,所述内恒温腔体的壁中成对设置有至少两条水道,其中每对水道 中的两条水道相邻并行地盘绕在整个所述内恒温腔体壁中,每对水道 中的两条水道的一端相连通形成一条水道通路,在内恒温腔体上设有 水道出/入口 ,3、 根据权利要求2所述的精密恒温装置,其特征在于,所述内恒 温腔体壁中设置有四条水道,形成内外两层水道结构。其中两条水道 位于内层,另两条位于外层,内层水道中的两条水道相邻并行地盘绕 在整个所述内恒温腔体壁中,外层水道中的两条水道与所述内层水道 相对应且相邻并行地盘绕在整个所述内恒温腔体壁中,所述内层水道 中的水道的每一条...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗志勇,
申请(专利权)人:中国计量科学研究院,
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]
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