The invention discloses an ultrasonic spray deposition film device and a method. The device comprises a first guide rail bracket arranged on the bracket; a first step motor and a first guide rail arranged in the Y axis direction are arranged on the first guide rail bracket; the first stepping motor can drive the first slide block to carry out the Y axis displacement in the first guide rail; the second slide guide bracket is fixed on the first slide block, and the second guide rail bracket is fixed on the first guide rail. A second step motor and a second guide rail with X-axis direction are provided, and the second step motor can drive the second slide block to displace in X-axis direction; a telescopic rod is arranged on the second slide block; a liquid storage bottle is arranged on the telescopic rod, and an ultrasonic atomizing sheet is arranged at the bottle mouth of the liquid storage bottle; each unit is connected with a controller arranged on the support through a circuit. The method is to coat the corresponding titanium metal mask on the glass substrate, and then atomize the precursor liquid to the heated glass substrate to obtain nano-film. The device provided by the invention has low cost, adapts to different film precursors, and can control the morphology of the deposited film.
【技术实现步骤摘要】
一种超声喷雾沉积薄膜装置和方法
本专利技术属于化学气相沉积
,具体涉及一种超声喷雾沉积薄膜装置和方法。
技术介绍
薄膜材料在太阳能利用、半导体加工、微纳制造等方面有非常重要的作用。太阳能电池作为可再生能源的一种,具有非常广阔诱人的应用前景。薄膜材料在太阳能电池中充当着各种角色,如阻挡层、电子传输层、光吸附层、空穴传输层等。薄膜材料的形貌尺寸、晶体结构与缺陷、界面调节与控制成为影响太阳能电池性能的关键因素。在太阳能电池制备过程中,如何制备高性能的薄膜,对提高器件的光电转能效率和提升电池的性能显得尤为重要。目前,在太阳能电池的薄膜层的制备过程中常采用的方法常有的物理方法有磁控溅射技术、真空蒸发沉积技术、旋涂法,化学方法通常有热生长技术和化学气相沉积技术。但由于太阳能电池中各层薄膜材料所使用材料的不同,薄膜对温度、厚度等要求的不同,通常会采用不同的成膜方式来制备太阳能电池的各个薄膜材料。喷雾沉积法是化学气相沉积中比较常用的一种方法。目前,喷雾热分解主要是利用高压气体通过喷嘴将前驱物溶液雾化并形成喷雾,随后在高温或中低温的基底上发生化学反应(包括热分解和合成)形成功能性薄膜的过程。在喷雾的过程中,喷雾量的大小、雾化颗粒均一性、喷雾的形状很难进行精确地调节,因而会对薄膜的性能产生影响。
技术实现思路
本专利技术的目的是解决上述技术问题而提供一种超声喷雾沉积薄膜的装置和方法,通过对喷雾量大小、雾化颗粒均一性、喷雾形状的控制,从而获得高性能的薄膜材料。本专利技术采用以下技术方案:一种超声喷雾沉积薄膜装置,包括支架,支架上设有第一导轨支架;所述第一导轨支架上设置有第一步 ...
【技术保护点】
1.一种超声喷雾沉积薄膜装置,其特征在于,包括支架(1),支架(1)上设有第一导轨支架(21);所述第一导轨支架(21)上设置有第一步进电机(22)及Y轴方向设置的第一导轨(23),第一导轨上设置有第一滑块(24),第一步进电机(22)驱动第一滑块(24)在第一导轨(23)上进行Y轴方向位移;所述第一滑块(24)上固定有第二导轨支架(31),第二导轨支架(31)上设置有第二步进电机(32)和X轴方向设置的第二导轨(33),第二导轨(33)上设置有第二滑块(34),第二步进电机(32)驱动第二滑块(34)进行X轴方向位移;所述第二滑块(34)上设置有伸缩杆(4);所述伸缩杆上设置有储液瓶(5),储液瓶(5)的瓶口设置有超声波雾化片(52);第一步进电机(22)、第二步进电机(32)和超声波雾化片(52)均通过线路与设置于支架(1)上的控制器(6)连接。
【技术特征摘要】
1.一种超声喷雾沉积薄膜装置,其特征在于,包括支架(1),支架(1)上设有第一导轨支架(21);所述第一导轨支架(21)上设置有第一步进电机(22)及Y轴方向设置的第一导轨(23),第一导轨上设置有第一滑块(24),第一步进电机(22)驱动第一滑块(24)在第一导轨(23)上进行Y轴方向位移;所述第一滑块(24)上固定有第二导轨支架(31),第二导轨支架(31)上设置有第二步进电机(32)和X轴方向设置的第二导轨(33),第二导轨(33)上设置有第二滑块(34),第二步进电机(32)驱动第二滑块(34)进行X轴方向位移;所述第二滑块(34)上设置有伸缩杆(4);所述伸缩杆上设置有储液瓶(5),储液瓶(5)的瓶口设置有超声波雾化片(52);第一步进电机(22)、第二步进电机(32)和超声波雾化片(52)均通过线路与设置于支架(1)上的控制器(6)连接。2.根据权利要求1所述的超声喷雾沉积薄膜装置,其特征在于,所述超声波雾化片(52)设置于储液瓶(5)的瓶口,通过瓶盖(51)旋于瓶口上将超声波雾化片(52)固定,瓶盖上开有雾化出口。3.根据权利要求2所述的超声喷雾沉积薄膜装置,其特征在于,瓶盖(51)和超声波雾化片(52)之间设置垫圈(53)。4.根据权利要求1所述的超声喷雾沉积薄膜装置,其特征在于,所述储液瓶(5)竖直...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨迎,乔飞扬,卢雷,韩平成,葛德凯,芮云军,张正明,
申请(专利权)人:南京工业大学,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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