The invention provides a purification method of ethyl orthosilicate, which includes: vaporizing the raw material ethyl orthosilicate in the vaporizer, and obtaining ethyl orthosilicate vapor through the first fibre bed demister, the second fibre bed demister and the third fibre bed demister on the upper part of the vaporizer in turn; the pore diameter of the first fibre bed demister is 1-20 um; and the pore size of the second fibre bed demister is 1-20 um. The diameter of the defoamer is 2 to 10 microns, and the pore diameter of the third fiber bed defoamer is 0.1 to 2 microns. Compared with the existing technology, the present invention uses three layers of fibre bed demister with different apertures to treat the vaporized ethyl orthosilicate, and can also separate metal ions from heavy hydrocarbons in oil. Therefore, the present invention not only vaporizes ethyl orthosilicate, but also greatly reduces the content of steam heavy hydrocarbons and metal ions in ethyl orthosilicate, and plays a primary purification role, ensuring the entry of the ethyl orthosilicate. The quality of ethyl orthosilicate steam in the phase treatment system.
【技术实现步骤摘要】
一种正硅酸乙酯的纯化方法
本专利技术属于半导体
,尤其涉及一种正硅酸乙酯的纯化方法。
技术介绍
半导体工艺形成氧化层的方法主要有热氧化(针对能形成自身稳定氧化层的半导体材料)、低压化学气相淀积(LPCVD)、等离子增强化学气相淀积(PECVD)和常压化学气相淀积(APCVD)等,其中由于APCVD要求的气流量大,且工艺产生颗粒相对较多,目前大多数半导体工艺已很少使用。正硅酸乙酯(TEOS)用于LPCVD时,TEOS从液态蒸发成气态,在700~750℃、300mTOR压力下分解在硅片表面淀积生成二氧化硅薄膜,二氧化硅薄膜沉积的速率可以达到50à/min,薄膜的厚度均匀性小于3%,这些优良的工艺特性和其在使用安全性方面的显著特点已逐步成为沉积二氧化硅薄膜的主流工艺。应用正硅酸乙酯(TEOS)LPCVD技术实现二氧化硅在SiC晶片表面的淀积,可在一定程度上弥补SiC氧化层过薄和PECVD二氧化硅层过于疏松的弊端。采用TEOSLPCVD技术与高温氧化技术的合理运用,既保证了氧化层介质的致密性和与SiC晶片的粘附能力,又提高了器件的电性能和成品率,同时避免了为获得一定厚度氧化层长时间高温氧化的不足。采用此技术后,SiC芯片的直流成品率得到提高,微波功率器件的对比流片结果显示微波性能也得到了明显的提升,功率增益比原工艺提高了1.5dB左右,功率附加效率提升了近10%。但LPCVD工艺要求正硅酸乙酯为高纯正硅酸乙酯,其中金属离子含量是检测产品是否合格的关键性指标,对于高纯正硅酸乙酯的质量起着决定性的作用。对于超高纯正硅酸乙酯,需要满足每种金属离子的含量小于等于0. ...
【技术保护点】
1.一种正硅酸乙酯的纯化方法,其特征在于,包括:将原料正硅酸乙酯在汽化器中汽化,并依次通过汽化器上部的第一纤维床除沫器、第二纤维床除沫器与第三纤维床除沫器,得到正硅酸乙酯蒸汽;所述第一纤维床除沫器的孔径为1~20μm;所述第二纤维床除沫器的孔径为2~10μm;所述第三纤维床除沫器的孔径为0.1~2μm。
【技术特征摘要】
1.一种正硅酸乙酯的纯化方法,其特征在于,包括:将原料正硅酸乙酯在汽化器中汽化,并依次通过汽化器上部的第一纤维床除沫器、第二纤维床除沫器与第三纤维床除沫器,得到正硅酸乙酯蒸汽;所述第一纤维床除沫器的孔径为1~20μm;所述第二纤维床除沫器的孔径为2~10μm;所述第三纤维床除沫器的孔径为0.1~2μm。2.根据权利要求1所述的纯化方法,其特征在于,所述汽化器中的加热介质为蒸汽;所述蒸汽的温度为160℃~200℃。3.根据权利要求1所述的纯化方法,其特征在于,所述原料正硅酸乙酯的流速为150~250kg/h。4.根据权利要求1所述的纯化方法,其特征在于,所述汽化器设置有放...
【专利技术属性】
技术研发人员:金向华,陈琦峰,王新喜,
申请(专利权)人:苏州金宏气体股份有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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