一种分离式芯片甩胶机制造技术

一种分离式芯片甩胶机，包括固定架，固定架内底部中央位置设置电机，电机的输出轴与转轴的底端连接，转轴上设置数个主动带轮，固定架内设置数个空心转杆，空心转杆的两端与固定架的上下两端之间均设置第二轴承，空心转杆的顶部设置芯片放置平台，芯片放置平台得中央开设芯片放置槽，芯片放置槽的底部与漏斗状的收集腔的顶部连通，收集腔的底部与空心转杆连通，芯片放置槽与收集腔之间设置孔板，空心转杆中部设置一个从动带轮，从动带轮与转轴上的一个主动带轮通过皮带连接，空心转杆的底端通过万向接头与软管连接，软管连接同一个抽气泵的抽气口。本实用新型专利技术中采用一个电机带动多个芯片同时进行甩胶，有效的提高了工作效率。

A Separate Chip Flipper

A separate chip rubber-throwing machine includes a fixing frame, a motor is set at the central position of the bottom of the fixing frame, the output shaft of the motor is connected with the bottom of the rotating shaft, a number of active pulleys are set on the rotating shaft, several hollow rotating rods are set in the fixing frame, a second bearing is set between the two ends of the hollow rotating rod and the upper and lower ends of the fixing frame, and a chip placement platform is set on the top of the hollow rotating rod. A chip placement groove is arranged in the center of the platform. The bottom of the chip placement groove is connected with the top of the funnel-shaped collecting cavity. The bottom of the collecting cavity is connected with the hollow rotary rod. A hole plate is arranged between the chip placement groove and the collecting cavity. A driven pulley is arranged in the middle of the hollow rotary rod. The driven pulley is connected with an active pulley on the rotating shaft through a belt. The bottom of the hollow rotary rod is connected by a universal joint. The head is connected with the hose, and the hose is connected with the suction port of the same suction pump. In the utility model, a motor is used to drive multiple chips to fling glue at the same time, which effectively improves the working efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种分离式芯片甩胶机
本技术属于芯片制造领域，具体地说是一种分离式芯片甩胶机。
技术介绍
在半导体芯片制作过程中，光刻是最复杂、最昂贵和最关键的工艺，光刻成本约占硅片制造成本的三分之一，消耗时间约占整个硅片生产时间的40％—60％。对于光刻工艺来说，硅片上的光致抗蚀剂(俗称光刻胶)的厚度和均匀性是非常关键的参数，它直接影响着后续光刻工艺的质量，从而影响着成品芯片的性能和可靠性。大多数光刻胶的涂胶工艺普遍采用旋转式涂胶的方法即甩胶法，把光刻胶滴在芯片上，然后让芯片旋转，利用离心力将胶甩匀。目前一般芯片生产厂家使用的甩胶机的结构是用无级变速电机实现芯片的旋转，这种电机的轴是空心的，下端与抽气管连接，工作时抽气机通过抽气管，在电机空心轴产生吸力，将放在轴上端的芯片吸住，吸力的大小可通过调节抽气机的功率调节；并且，电机一般采取无刷电机，离心力的大小可通过调节电机转速调节。本公司之前申报过专利号为：201620077307.6，名称为：一种分离式芯片甩胶机，其解决了现有的甩胶机，都是采用霍尔元件代替电刷，而霍尔元件类似于电磁开关，高频率的开、关动作使霍尔元件极易损坏，往往导致甩胶机频繁修理，严重影响芯片加工生产效率；并且，空心电机的输出轴和机壳是一体的，与抽气管的连接空间小，拆卸不方便的问题，但是其采用的单个电机带动单个工作平台转动，工作效率较低，且虽然电机的转速可以控制，但是操作中难免产生误差，从而导致不同光刻胶的厚度不均。
技术实现思路
本技术提供一种分离式芯片甩胶机，用以解决现有技术中的缺陷。本技术通过以下技术方案予以实现：一种分离式芯片甩胶机，包括固定架，所述的固定架内底部中央位置设置电机，所述的电机的输出轴与转轴的底端固定连接，所述的转轴的顶端与第一轴承的内圈固定连接，所述的第一轴承的外圈与固定架的内侧顶部固定连接，所述的转轴上设置数个主动带轮，所述的固定架内设置数个空心转杆，所述的空心转杆的数量与主动带轮的数量相同，所述的空心转杆的两端均穿过固定架的上下两端，所述的空心转杆的两端与固定架的上下两端之间均设置第二轴承，所述的空心转杆的顶部设置芯片放置平台，所述的芯片放置平台得中央开设芯片放置槽，所述的芯片放置槽的底部与漏斗状的收集腔的顶部连通，所述的收集腔的底部与空心转杆连通，所述的芯片放置槽与收集腔之间设置孔板，所述的空心转杆中部设置一个从动带轮，所述的从动带轮与转轴上的一个主动带轮通过皮带连接，所述的空心转杆的底端通过万向接头与软管连接，所述的软管连接同一个抽气泵的抽气口。如上所述的一种分离式芯片甩胶机，所述的芯片放置平台的外周设置圆筒，所述的圆筒的底部与芯片放置平台固定连接，所述的圆筒得顶部与圆盖螺纹连接。如上所述的一种分离式芯片甩胶机，所述的抽气泵的出气口与光刻胶回收箱连通。如上所述的一种分离式芯片甩胶机，所述的空心转杆的内壁、芯片放置平台的表面、芯片放置槽的槽壁、收集腔的内壁、孔板表面、万向接头的内壁、软管的内壁、圆筒的内壁以及圆盖的底部均光滑设置。本技术的优点是：本技术中采用一个电机带动多个芯片同时进行甩胶，既提高了工作效率，又确保了同批次的芯片的光刻胶厚度相同，有效的提高了工作效率。本技术在使用时除了延续之前专利申请的采用的负压吸附芯片的基础上，采用一个电机带动多个芯片同时进行甩胶，同时通过将芯片放置在放置槽，避免在转动过程发生较大位移。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术的第一结构示意图；图2是本技术的第二结构示意图。附图标记：1、固定架；2、电机；3、转轴；4、第一轴承；5、主动带轮；6、空心转杆；7、第二轴承；8、芯片放置平台；9、芯片放置槽；10、收集腔；11、孔板；12、从动带轮；13、皮带；14、万向接头；15、软管；16、抽气泵；17、圆筒；18、圆盖；19、光刻胶回收箱。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。一种分离式芯片甩胶机，包括固定架1，所述的固定架1内底部中央位置设置电机2，所述的电机2的输出轴与转轴3的底端固定连接，所述的转轴3的顶端与第一轴承4的内圈固定连接，所述的第一轴承4的外圈与固定架1的内侧顶部固定连接，所述的转轴3上设置数个主动带轮5，所述的固定架1内设置数个空心转杆6，所述的空心转杆6的数量与主动带轮5的数量相同，所述的空心转杆6的两端均穿过固定架1的上下两端，所述的空心转杆6的两端与固定架1的上下两端之间均设置第二轴承7，所述的空心转杆6的顶部设置芯片放置平台8，所述的芯片放置平台8得中央开设芯片放置槽9，所述的芯片放置槽9的底部与漏斗状的收集腔10的顶部连通，所述的收集腔10的底部与空心转杆6连通，所述的芯片放置槽9与收集腔10之间设置孔板11，所述的空心转杆6中部设置一个从动带轮12，所述的从动带轮12与转轴3上的一个主动带轮5通过皮带13连接，所述的空心转杆6的底端通过万向接头14与软管15连接，所述的软管15连接同一个抽气泵16的抽气口。本技术在使用时除了延续之前专利申请的采用的负压吸附芯片的基础上，采用一个电机2带动多个芯片同时进行甩胶，同时通过将芯片放置在放置槽9，避免在转动过程发生较大位移。具体而言，由于甩胶过程中多余光刻胶会甩到外部，不易清理，为了克服上述问题，本实施例所述的芯片放置平台8的外周设置圆筒17，所述的圆筒17的底部与芯片放置平台8固定连接，所述的圆筒17得顶部与圆盖18螺纹连接。通过圆筒17和圆盖18能够有效的避免多余光刻胶会甩到外部，确保操作台面的整洁，同时圆盖18上可以设置透气孔，避免甩胶完成后圆筒17内气压较小，圆盖18不易拧下的。具体的，由于多余光刻胶无法回收，为了克服上述问题，本实施例所述的抽气泵16的出气口与光刻胶回收箱19连通。抽气泵5能够带动多余的光刻胶通过孔板11的通孔进入收集腔10，然后依次通过空心转杆6、万向接头14以及软管15，最终进入光刻胶回收箱19内，从而起到回收光刻胶的目的。进一步的，本实施例所述的空心转杆6的内壁、芯片放置平台8的表面、芯片放置槽9的槽壁、收集腔10的内壁、孔板11表面、万向接头14的内壁、软管15的内壁、圆筒17的内壁以及圆盖18的底部均光滑设置。空心转杆6的内壁、芯片放置平台8的表面、芯片放置槽9的槽壁、收集腔10的内壁、孔板11表面、万向接头14的内壁、软管15的内壁、圆筒17的内壁以及圆盖18的底部均有机会与光刻胶接触，光滑设置避免光刻胶黏附在其上，从而确保光刻胶的回收。实施例一种分离式芯片甩胶机，包括固定架1，所述的固定架1内底部中央位置设置电机2，其特征在于：所述的电机2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分离式芯片甩胶机，包括固定架(1)，所述的固定架(1)内底部中央位置设置电机(2)，其特征在于：所述的电机(2)的输出轴与转轴(3)的底端固定连接，所述的转轴(3)的顶端与第一轴承(4)的内圈固定连接，所述的第一轴承(4)的外圈与固定架(1)的内侧顶部固定连接，所述的转轴(3)上设置数个主动带轮(5)，所述的固定架(1)内设置数个空心转杆(6)，所述的空心转杆(6)的数量与主动带轮(5)的数量相同，所述的空心转杆(6)的两端均穿过固定架(1)的上下两端，所述的空心转杆(6)的两端与固定架(1)的上下两端之间均设置第二轴承(7)，所述的空心转杆(6)的顶部设置芯片放置平台(8)，所述的芯片放置平台(8)得中央开设芯片放置槽(9)，所述的芯片放置槽(9)的底部与漏斗状的收集腔(10)的顶部连通，所述的收集腔(10)的底部与空心转杆(6)连通，所述的芯片放置槽(9)与收集腔(10)之间设置孔板(11)，所述的空心转杆(6)中部设置一个从动带轮(12)，所述的从动带轮(12)与转轴(3)上的一个主动带轮(5)通过皮带(13)连接，所述的空心转杆(6)的底端通过万向接头(14)与软管(15)连接，所述的软管(15)连接同一个抽气泵(16)的抽气口。...

【技术特征摘要】
1.一种分离式芯片甩胶机，包括固定架(1)，所述的固定架(1)内底部中央位置设置电机(2)，其特征在于：所述的电机(2)的输出轴与转轴(3)的底端固定连接，所述的转轴(3)的顶端与第一轴承(4)的内圈固定连接，所述的第一轴承(4)的外圈与固定架(1)的内侧顶部固定连接，所述的转轴(3)上设置数个主动带轮(5)，所述的固定架(1)内设置数个空心转杆(6)，所述的空心转杆(6)的数量与主动带轮(5)的数量相同，所述的空心转杆(6)的两端均穿过固定架(1)的上下两端，所述的空心转杆(6)的两端与固定架(1)的上下两端之间均设置第二轴承(7)，所述的空心转杆(6)的顶部设置芯片放置平台(8)，所述的芯片放置平台(8)得中央开设芯片放置槽(9)，所述的芯片放置槽(9)的底部与漏斗状的收集腔(10)的顶部连通，所述的收集腔(10)的底部与空心转杆(6)连通，所述的芯片放置槽(9)与收集腔(10)之间设置孔板(11)，所述的空心转...

【专利技术属性】
技术研发人员：高培成，于如远，于强，
申请(专利权)人：山东民峰智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37