太赫兹近场成像装置和方法制造方法及图纸

本申请实施例涉及一种太赫兹近场成像装置和方法，太赫兹近场成像装置包括太赫兹光源模块，用于发射太赫兹激光；分束器，用于将太赫兹激光分为信号光和参考光；反射模块，包括探针单元和反射单元，探针单元设置在信号光的传输的光轴上，用于接收信号光并将信号光发射至样品，以激发样品反馈携带样品信息的反射光；反射单元设置在参考光传输的光轴上，用于接收并反射参考光；分束器还用于接收反射光和参考光，以形成反射光和参考光的太赫兹干涉光信号；处理模块，用于对太赫兹干涉光信号进行处理，以获取样品的图像信息。该装置通过将信号光通过探针单元发射至样品，并通过反射单元反射的参考光与样品反馈的反射光进行干涉，可以实现太赫兹近场成像，且分辨率较高。

Terahertz near-field imaging device and method

【技术实现步骤摘要】
太赫兹近场成像装置和方法
本申请涉及太赫兹成像
，特别是涉及一种太赫兹近场成像装置和方法。
技术介绍
太赫兹泛指频率在0.1至10太赫兹频段的电磁波，是介于毫米波与红外光之间的电磁波，具有安全性、宽带性、“指纹谱特性”和穿透性等特点。太赫兹波可以穿透多种绝缘材料并且是一种非电离辐射，可以实现对人体或物品的无损无害探测。太赫兹信号的上述优势使得太赫兹近场成像技术有着多方面的应用需求，例如安检安防、化学品的鉴定、医学成像、质量控制等。传统地，太赫兹近场成像的分辨率较低。
技术实现思路
本申请提供一种太赫兹近场成像装置和方法，可以提高太赫兹近场成像的分辨率。一种太赫兹近场成像装置，包括：太赫兹光源模块，用于发射太赫兹激光；分束器，设置在所述太赫兹激光传输的光轴上，用于将所述太赫兹激光分为信号光和参考光；反射模块，包括探针单元和反射单元，所述探针单元设置在所述信号光传输的光轴上，用于接收所述信号光并将所述信号光发射至样品，以激发所述样品反馈携带样品信息的反射光；所述反射单元设置在所述参考光传输的光轴上，用于接收并反射所述参考光；所述分束器还用于接收所述反射光和所述参考光，以形成所述反射光和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太赫兹近场成像装置，其特征在于，包括：太赫兹光源模块，用于发射太赫兹激光；分束器，设置在所述太赫兹激光传输的光轴上，用于将所述太赫兹激光分为信号光和参考光；反射模块，包括探针单元和反射单元，所述探针单元设置在所述信号光传输的光轴上，用于接收所述信号光并将所述信号光发射至样品，以激发所述样品反馈携带样品信息的反射光；所述反射单元设置在所述参考光传输的光轴上，用于接收并反射所述参考光；所述分束器还用于接收所述反射光和所述参考光，以形成所述反射光和所述参考光的太赫兹干涉光信号；处理模块，用于接收所述太赫兹干涉光信号，并对所述太赫兹干涉光信号进行处理，以获取所述样品的图像信息。

【技术特征摘要】
1.一种太赫兹近场成像装置，其特征在于，包括：太赫兹光源模块，用于发射太赫兹激光；分束器，设置在所述太赫兹激光传输的光轴上，用于将所述太赫兹激光分为信号光和参考光；反射模块，包括探针单元和反射单元，所述探针单元设置在所述信号光传输的光轴上，用于接收所述信号光并将所述信号光发射至样品，以激发所述样品反馈携带样品信息的反射光；所述反射单元设置在所述参考光传输的光轴上，用于接收并反射所述参考光；所述分束器还用于接收所述反射光和所述参考光，以形成所述反射光和所述参考光的太赫兹干涉光信号；处理模块，用于接收所述太赫兹干涉光信号，并对所述太赫兹干涉光信号进行处理，以获取所述样品的图像信息。2.根据权利要求1所述的太赫兹近场成像装置，其特征在于，所述处理模块包括：探测器，用于接收并探测所述太赫兹干涉光信号，并将所述太赫兹干涉光信号转换为电信号；处理器，用于接收所述电信号，并对所述电信号进行数字化处理，以获取所述样品的图像信息。3.根据权利要求1所述的太赫兹近场成像装置，其特征在于，所述探针单元的针尖为金属针尖，且所述金属针尖的半径为10-50纳米。4.根据权利要求3所述的太赫兹近场成像装置，其特征在于，所述金属针尖与所述样品的距离为纳米量级。5.根据权利要求1所述的太赫兹近场成像装置，其特征在于，所述装置还包括多个反射镜，设置在所述信号光传输的光...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨彬，张艳东，丁庆，冯军正，
申请(专利权)人：雄安华讯方舟科技有限公司，华讯方舟科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13