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本申请实施例涉及一种太赫兹近场成像装置和方法，太赫兹近场成像装置包括太赫兹光源模块，用于发射太赫兹激光；分束器，用于将太赫兹激光分为信号光和参考光；反射模块，包括探针单元和反射单元，探针单元设置在信号光的传输的光轴上，用于接收信号光并将信号...该专利属于雄安华讯方舟科技有限公司;华讯方舟科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过雄安华讯方舟科技有限公司;华讯方舟科技有限公司授权不得商用。