一种基于三角微腔双路F-P干涉补偿的气体传感探头制造技术

本发明专利技术公开了一种基于三角微腔双路F‑P干涉补偿的气体传感探头，该探头包括光路腔室和检测腔室，两个腔室被密封板隔离开，其中光路腔室包括光源，由其发出的光经过分光棱镜后，再经过凸透镜聚焦准直，从检测腔室返回的光信号由光探测器接收。检测腔室由光纤结构、栅隔支架、进气口和出气口构成，光纤结构的一端构建了气体检测室，为了提高反射率在光纤结构的端头涂覆了金膜反射层。本发明专利技术可以通过双路F‑P干涉信号的差分处理实现温度的自补偿，使探头工作时不受环境温度的影响，该探头结构紧凑、体积小，可以实现在狭小空间内的安装和气体泄漏的实时监测。

【技术实现步骤摘要】
一种基于三角微腔双路F-P干涉补偿的气体传感探头
本专利技术属于光纤
，涉及一种基于三角微腔双路F-P干涉补偿的气体传感探头，可实现对工业环境有毒有害等危险气体浓度的精准监测和微量危险气体的泄漏预警。
技术介绍
气体检测方法有很多种，通常根据监测原理可分为：电化学法、气相色谱法、光学式法、高分子材料气体传感器等。但是上述针对危险气体的检测技术存在响应时间长、所需设备昂贵、难以满足电磁辐射和生化腐蚀环境的需要。光纤传感技术是上个世纪中后期随着光通信的发展而逐步发展起来的，它是一-种以光波为载体，光纤为传输介质，感知和传输被测信号的传感技术。由于光纤传感器是以光纤作为信号传输介质，所以与其它传感器相比，它有着无法比拟的优点：包括抗辐射、耐腐蚀、灵敏度高、可远端遥控检测、易组网、重量轻、体积小、价格低廉等。光纤气体传感器主要是利用气体的物理、化学及相关的光学现象或特性来检测气体浓度，相应的技术包括吸收型光纤气体传感，即利用比尔朗伯吸收定律，检测由于气体吸收而引起的光强衰减；薄膜透射型光纤气体传感技术，则是将气体敏感的材料制作成透明薄膜，当气体浓度发生变化时，透过薄膜的光强也会随之发生本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于三角微腔双路F‑P干涉补偿的气体传感探头，其特征在于，该探头包括光路腔室(1)和检测腔室(2)，两个腔室被密封板(3)隔离开；光路腔室(1)包括光源(4)，检测腔室(2)由光纤结构(8)、栅隔支架(11)、进气口(12)和出气口(13)构成，光纤结构(8)的一端构建有气体检测室(9)；光纤结构(8)的端头涂覆了金膜反射层(10)；光源(4)发出的光经过分光棱镜(5)后，再经过凸透镜(7)聚焦准直，从检测腔室(2)返回的光信号由光探测器(6)接收。

【技术特征摘要】
1.一种基于三角微腔双路F-P干涉补偿的气体传感探头，其特征在于，该探头包括光路腔室(1)和检测腔室(2)，两个腔室被密封板(3)隔离开；光路腔室(1)包括光源(4)，检测腔室(2)由光纤结构(8)、栅隔支架(11)、进气口(12)和出气口(13)构成，光纤结构(8)的一端构建有气体检测室(9)；光纤结构(8)的端头涂覆了金膜反射层(10)；光源(4)发出的光经过分光棱镜(5)后，再经过凸透镜(7)聚焦准直，从检测腔室(2)返回的光信号由光探测器(6)接收。2.根据权利要求1所述的气体传感探头，其特征在于：所述的光源(4)的输出波长为1520-1580nm；所述的光探测器(6)的工作波长为350-2000nm。3.根据权利要求1或2所述的气体传感探头，其特征在于：所述的凸透镜7的焦距为5mm。4.根据权利要求1或2所述的气体传感探头，其特征在于：所述的光纤结构8的外形为圆柱形，其纤芯直径为20微米，材料为二氧化硅，包层直径为300微米，材料为聚酰亚胺。5.根据权利要求3所述的气体传感探头，其特征在于：所述的光纤结构8的外...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晋，隋政麒，李周兵，
申请(专利权)人：东北大学，
类型：发明
国别省市：辽宁,21