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一种基于三角微腔双路F-P干涉补偿的气体传感探头制造技术
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下载一种基于三角微腔双路F-P干涉补偿的气体传感探头的技术资料
文档序号:20901444
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本发明公开了一种基于三角微腔双路F‑P干涉补偿的气体传感探头,该探头包括光路腔室和检测腔室,两个腔室被密封板隔离开,其中光路腔室包括光源,由其发出的光经过分光棱镜后,再经过凸透镜聚焦准直,从检测腔室返回的光信号由光探测器接收。检测腔室由光纤...
该专利属于东北大学所有,仅供学习研究参考,未经过东北大学授权不得商用。
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