The utility model discloses a material transmission automatic line and a material taking and feeding device, including a sliding disc, a mechanical arm fixed on the sliding disc and a transfer bin. The mechanical arm is used for loading the measured object into the transfer box and taking the measured object out of the transfer box and feeding it into the detection device. Through the above-mentioned settings, the mechanical arm takes the measured object out of the feeding device and puts it in. When the material to be measured is put into the detection device, the mechanical arm is taken out directly from the transfer box without the need for multiple sliding of the feeding device, which improves the efficiency of placement, reduces the energy consumption and prolongs the sliding life of the feeding device.
【技术实现步骤摘要】
一种物料传输自动线及其取送料装置
本技术涉及晶圆检测设备领域,特别涉及一种物料传输自动线及其取送料装置。
技术介绍
目前,公开号为CN105321860B的中国专利公开了一种全自动进出料设备包括物料进出平台、滑轨、机械手臂以及设置于滑轨的旁侧的测试机台;物料进出平台适于送出或回收工作物件,其中工作物件包括载体以及位于载体上的多个待测物,且载体具有辨识码;在物料进出平台的辨识单元辨识完载体的辨识码后,物料进出平台的控制单元驱动机械手臂自物料进出平台取出工作物件,并在机械手臂沿滑轨移动至对应的测试机台时将工作物件置放于其内。这种自动上下料系统在使用时,机械手臂将待测物逐个送至测试机台,机械手臂移动行程长,送料所需时间长,检测工作效率低。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种取送料装置,其具有检测效率高的优点。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种取送料装置,包括滑动盘、固定在滑动盘上的机械手臂和中转料箱,所述机械手臂用于将待测物装入中转料箱,以及将待测物从中转料箱中取出并送入检测装置。通过采用上述技术方案,机械手臂将供料装置内的待测物取出,放入中转料箱,在将待 ...
【技术保护点】
1.一种取送料装置,其特征在于,包括滑动盘(1)、固定在滑动盘(1)上的机械手臂(2)和中转料箱(3),所述机械手臂(2)用于将待测物装入中转料箱(3),以及将待测物从中转料箱(3)中取出并送入检测装置。
【技术特征摘要】
1.一种取送料装置,其特征在于,包括滑动盘(1)、固定在滑动盘(1)上的机械手臂(2)和中转料箱(3),所述机械手臂(2)用于将待测物装入中转料箱(3),以及将待测物从中转料箱(3)中取出并送入检测装置。2.根据权利要求1所述的取送料装置,其特征在于,取送料装置还包括辨识组件(4),所述机械手臂(2)可将待测物送至中转料箱(3)和从中转料箱(3)中取出。3.根据权利要求2所述的取送料装置,其特征在于,所述辨识组件(4)包括固定台(15),固定台(15)上转动连接有转动盘(5)以及驱动转动盘(5)转动的转动电机(6),转动盘(5)用于放置待测物,所述固定台(15)上还固定有对待测物预检查的检测器。4.根据权利要求3所述的取送料装置,其特征在于,所述转动电机(6)设置于固定台(15)的侧面,所述转动电机(6)与转动盘(5)带连接。5.根据权利要求1所述的取送料装置,其特征在于,所述机械手臂(2)包括固定在滑动...
【专利技术属性】
技术研发人员:王胜利,杨波,
申请(专利权)人:深圳市矽电半导体设备有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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