管理半导体传送盒内部洁净度的仓储工作站制造技术

本实用新型专利技术公开一种管理半导体传送盒内部洁净度的的仓储工作站，包括暂存装置、搬送装置、气体净化装置及监控装置。暂存装置具有多个第一停泊位置及一第二停泊位置。该多个第一停泊位置及第二停泊位置允许存放多个半导体传送盒。搬送装置连接暂存装置，且搬送多个半导体传送盒至该多个第一停泊位置及第二停泊位置。气体净化装置连接暂存装置，且位于第二停泊位置，并用以对第二停泊位置上的半导体传送盒进行气体净化作业。监控装置耦接搬送装置及气体净化装置，且控制搬送装置及气体净化装置。

Storage workstation for managing cleanliness in semiconductor transmission boxes

The utility model discloses a storage workstation for managing the internal cleanliness of a semiconductor transmission box, which comprises a temporary storage device, a conveying device, a gas purification device and a monitoring device. The temporary storage device has a plurality of first berthing positions and a second berthing position. The multiple first and second berthing positions allow storage of multiple semiconductor transmission boxes. The transport device connects the temporary storage device and carries a plurality of semiconductor transmission boxes to the plurality of first and second berthing positions. \u6c14\u4f53\u51c0\u5316\u88c5\u7f6e\u8fde\u63a5\u6682\u5b58\u88c5\u7f6e\uff0c\u4e14\u4f4d\u4e8e\u7b2c\u4e8c\u505c\u6cca\u4f4d\u7f6e\uff0c\u5e76\u7528\u4ee5\u5bf9\u7b2c\u4e8c\u505c\u6cca\u4f4d\u7f6e\u4e0a\u7684\u534a\u5bfc\u4f53\u4f20\u9001\u76d2\u8fdb\u884c\u6c14\u4f53\u51c0\u5316\u4f5c\u4e1a\u3002 The monitoring device couples the conveying device and the gas purification device, and controls the conveying device and the gas purification device.

【技术实现步骤摘要】
管理半导体传送盒内部洁净度的仓储工作站
本技术涉及半导体设备，特别涉及一种管理半导体传送盒内部洁净度的仓储工作站。
技术介绍
随着半导体工艺微小化，晶圆的污染防治已从粉尘微粒(particle)提升到气状分子污染物(AirborneMolecularContamination)上，因此，半导体传送盒内会填充高纯度的氮气，以确保半导体传送盒内部晶圆表面或导电线路不会与环境中的气状分子污染物(湿气或有机气体)结合而破坏其表面及导电线路的完整性。但随着存放时间增加，氮气对晶圆保护的能力会降低，因此，需要重新净化半导体传送盒内部的氮气，以维持保护能力。传统半导体传送盒仓储工作站需要在每个存放位置都安装对应的气体净化装置，以对每个存放位置上的半导体传送盒进行净化作业，但每个存放位置都安装对应的气体净化装置会增加设备数量及造成浪费。此外，半导体传送盒放置的时间都不相同，在同步对全部半导体传送盒进行净化作业将使得部分半导体传送盒内部被污染，而无法有效率地净化半导体传送盒内部。
技术实现思路
有鉴于上述缺失，本技术的目的在于提供一种有效率管理半导体传送盒内部洁净度，以避免半导体晶圆或玻璃被气状分子污染物污染本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种管理半导体传送盒内部洁净度的仓储工作站，其特征在于，包括：一暂存装置，具有多个第一停泊位置及一第二停泊位置，该多个第一停泊位置及该第二停泊位置允许存放多个半导体传送盒；一搬送装置，连接该暂存装置，且搬送该多个半导体传送盒至该多个第一停泊位置及该第二停泊位置；一气体净化装置，连接该暂存装置，且位于该第二停泊位置，并用以对该第二停泊位置上的该半导体传送盒进行一气体净化作业；及一监控装置，耦接该搬送装置及该气体净化装置，且控制该搬送装置及该气体净化装置。

【技术特征摘要】
1.一种管理半导体传送盒内部洁净度的仓储工作站，其特征在于，包括：一暂存装置，具有多个第一停泊位置及一第二停泊位置，该多个第一停泊位置及该第二停泊位置允许存放多个半导体传送盒；一搬送装置，连接该暂存装置，且搬送该多个半导体传送盒至该多个第一停泊位置及该第二停泊位置；一气体净化装置，连接该暂存装置，且位于该第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：游宏程，张志逢，陈伟仁，刘家诚，林展永，
申请(专利权)人：东捷科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71