下载管理半导体传送盒内部洁净度的仓储工作站的技术资料

文档序号:20978793

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本实用新型公开一种管理半导体传送盒内部洁净度的的仓储工作站,包括暂存装置、搬送装置、气体净化装置及监控装置。暂存装置具有多个第一停泊位置及一第二停泊位置。该多个第一停泊位置及第二停泊位置允许存放多个半导体传送盒。搬送装置连接暂存装置,且搬送...
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