一种柔性显示面板及其制备方法技术

本发明专利技术揭露一种柔性显示面板及其制备方法，通过采用弯折性能较好的有机材料作为介电绝缘层，提高柔性显示面板弯折性能；同时，通过在第二栅极绝缘层后进行显示区的接触孔和弯折区的深孔挖孔，将部分接触孔在第一源漏金属层完成，降低第二源漏金属层挖孔的密度，在提高面板弯折性能的同时保证高PPI；采用双层SD结构制程，可以降低IR压降、提高面板显示均匀性；将弯折区走线设计为双层金属走线，可以进一步降低IR压降、降低制程风险。

A Flexible Display Panel and Its Preparation Method

The invention discloses a flexible display panel and its preparation method, which improves the flexural performance of the flexible display panel by using organic materials with better flexural performance as dielectric insulation layer; at the same time, by digging deep holes in the display area after the second grid insulation layer, part of the contact holes are completed in the first source and drain metal layer, and the second source and drain metal layer is reduced. The density of holes can improve the bending performance of the panel while ensuring the improvement of PPI; the double-layer SD structure process can reduce the IR pressure drop and improve the uniformity of the panel display; the bending zone route is designed as a double-layer metal route, which can further reduce the IR pressure drop and reduce the process risk.

【技术实现步骤摘要】
一种柔性显示面板及其制备方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种柔性显示面板及其制备方法。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，简称OLED)由于重量轻、自发光、广视角、驱动电压低、发光效率高、功耗低、响应速度快等优点，应用范围越来越广泛。尤其是柔性OLED显示装置由于具有可弯折、易携带的特点，成为显示
研究和开发的主要领域。柔性显示器在使用时需要卷起或者弯曲，甚至频繁弯折。目前用作驱动OLED的薄膜晶体管(TFT)会在第二栅极层后制备一层无机介电绝缘层，该层在弯折过程中易积累较大应力，易发生裂纹(crack)甚至断裂现象，严重影响柔性显示器的使用寿命。另外，现有的面板制程中会存在IR压降(IR-Drop，是指出现在集成电路中电源和地网络上电压下降或升高的一种现象)，影响面板显示均匀度，并存在制程风险。因此，如何提高柔性显示器件弯折性能，降低IR压降，提高面板显示均匀度，降低制程风险，是柔性显示技术发展过程中亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，针对现有技术存在的问题，提供一种柔性显示面板及其制备方法，可以提高柔性显示器件弯折性能，降低IR压降，提高面板显示均匀度，降低制程风险。为实现上述目的，本专利技术提供了一种柔性显示面板制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)提供一柔性基板，在所述柔性基板上依次沉积并图案化形成缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、栅极层和第二栅极绝缘层；(2)在所述柔性基板的一显示区形成多个第一接触孔，其中所述第一接触孔的第一部分形成在所述第一栅极绝缘层和所述第二栅极绝缘层上，以及，所述第一接触孔的第二部分形成在所述第二栅极绝缘层上；在所述显示区的所述第二栅极绝缘层上沉积并刻蚀形成第一源漏金属层，所述第一源漏金属层的第一部分通过所述第一接触孔与所述有源层的第一部分电连接，所述第一源漏金属层的第二部分通过所述第一接触孔与所述栅极层的第一部分电连接，所述第一源漏金属层的第三部分位于所述栅极层的第二部分的上方；(3)在所述第二栅极绝缘层上沉积有机介电绝缘层，并对所述有机介电绝缘层进行曝光显影出所述第一源漏金属层；(4)以所述有机介电绝缘层为掩模进行蚀刻，在所述显示区形成多个第二接触孔，其中所述第二接触孔的第一部分形成在所述第一栅极绝缘层、所述第二栅极绝缘层和所述有机介电绝缘层上，以及，所述第二接触孔的第二部分形成在所述有机介电绝缘层上；在所述显示区的所述有机介电绝缘层上沉积并刻蚀形成第二源漏金属层，所述第二源漏金属层的第一部分通过所述第二接触孔与所述有源层的第二部分电连接，所述第二源漏金属层的第二部分通过所述第二接触孔与所述第一源漏金属层的第四部分电连接；(5)在所述有机介电绝缘层上依次沉积并图案化形成平坦层、阳极层、像素定义层以及光阻层，所述阳极层与所述第二源漏金属层的第一部分电连接。为实现上述目的，本专利技术还提供了一种柔性显示面板，所述柔性显示面板包括：柔性基板，具有一显示区；依次设于所述柔性基板上的缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、栅极层和第二栅极绝缘层；设于所述显示区的所述第二栅极绝缘层上的第一源漏金属层，所述第一源漏金属层的第一部分通过第一接触孔与所述有源层的第一部分电连接，所述第一源漏金属层的第二部分通过所述第一接触孔与所述栅极层的第一部分电连接，所述第一源漏金属层的第三部分位于所述栅极层的第二部分的上方；设于所述第二栅极绝缘层上的有机介电绝缘层，所述有机介电绝缘层曝光显影出所述第一源漏金属层；设于所述显示区的所述有机介电绝缘层上的第二源漏金属层，所述第二源漏金属层的第一部分通过第二接触孔与所述有源层的第二部分电连接，所述第二源漏金属层的第二部分通过所述第二接触孔与所述第一源漏金属层的第四部分电连接；依次设于所述有机介电绝缘层上的平坦层、阳极层、像素定义层以及光阻层，所述阳极层与所述第二源漏金属层的第一部分电连接。本专利技术的优点在于：本专利技术通过采用弯折性能较好的有机材料作为介电绝缘层，提高柔性显示面板弯折性能；同时，通过在第二栅极绝缘层后进行显示区的接触孔和弯折区的深孔挖孔，将部分接触孔在第一源漏金属层完成，降低第二源漏金属层挖孔的密度，在提高面板弯折性能的同时保证高PPI；采用双层SD结构制程，可以降低IR压降、提高面板显示均匀性；将弯折区走线设计为双层金属走线，可以进一步降低IR压降、降低制程风险。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1，本专利技术柔性显示面板制备方法的流程示意图；图2A-2F，本专利技术柔性显示面板制备方法的生产制程示意图；图3，本专利技术柔性显示面板的层状结构示意图。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。此外，本专利技术在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。本专利技术柔性显示面板制备方法通过采用弯折性能较好的有机材料作为介电绝缘层，提高柔性显示面板弯折性能；同时，在第二栅极绝缘层后进行显示区(AA)的接触孔(CNT)和弯折区的深孔(DH)挖孔，在提高面板弯折性能的同时保证高PPI(PixelsPerInch，像素密度)。通过采用双层SD结构制程，可以降低IR压降、提高面板显示均匀性；通过将弯折区(PadBending)走线设计为双层金属走线，可以进一步为降低IR压降、降低制程风险。参考图1、图2A-2F以及图3，其中，图1为本专利技术柔性显示面板制备方法的流程示意图，图2A-2E为本专利技术柔性显示面板制备方法的生产制程示意图，图3为本专利技术柔性显示面板的层状结构示意图。所述制备方法包括如下步骤：S11：提供一柔性基板，在所述柔性基板上依次沉积并图案化形成缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、栅极层和第二栅极绝缘层；S12：在所述柔性基板的一显示区形成多个第一接触孔，其中所述第一接触孔的第一部分形成在所述第一栅极绝缘层和所述第二栅极绝缘层上，以及，所述第一接触孔的第二部分形成在所述第二栅极绝缘层上；在所述显示区的所述第二栅极绝缘层上沉积并刻蚀形成第一源漏金属层，所述第一源漏金属层的第一部分通过所述第一接触孔与所述有源层的第一部分电连接，所述第一源漏金属层的第二部分通过所述第一接触孔与所述栅极层的第一部分电连接，所述第一源漏金属层的第三部分位于所述栅极层的第二部分的上方；S13：在所述第二栅极绝缘层上沉积有机介电绝缘层，并对所述有机介电绝缘层进行曝光显影出所述第一源漏金属层；S14：以所述有机介电绝缘层为掩模进行蚀刻，在所述显示区形成多个第二接触孔，其中所述第二接触孔的第一部分形成在所述第一栅极绝缘层、所述第二栅极绝缘层和所述有机介电绝缘层上，以及，所述第二接触孔的第二部分形成在所述有机介电绝缘层上；在所述显示区的所述有机介电绝缘层上沉积并刻蚀本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性显示面板制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：(1)提供一柔性基板，在所述柔性基板上依次沉积并图案化形成缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、栅极层和第二栅极绝缘层；(2)在所述柔性基板的一显示区形成多个第一接触孔，其中所述第一接触孔的第一部分形成在所述第一栅极绝缘层和所述第二栅极绝缘层上，以及，所述第一接触孔的第二部分形成在所述第二栅极绝缘层上；在所述显示区的所述第二栅极绝缘层上沉积并刻蚀形成第一源漏金属层，所述第一源漏金属层的第一部分通过所述第一接触孔与所述有源层的第一部分电连接，所述第一源漏金属层的第二部分通过所述第一接触孔与所述栅极层的第一部分电连接，所述第一源漏金属层的第三部分位于所述栅极层的第二部分的上方；(3)在所述第二栅极绝缘层上沉积有机介电绝缘层，并对所述有机介电绝缘层进行曝光显影出所述第一源漏金属层；(4)以所述有机介电绝缘层为掩模进行蚀刻，在所述显示区形成多个第二接触孔，其中所述第二接触孔的第一部分形成在所述第一栅极绝缘层、所述第二栅极绝缘层和所述有机介电绝缘层上，以及，所述第二接触孔的第二部分形成在所述有机介电绝缘层上；在所述显示区的所述有机介电绝缘层上沉积并刻蚀形成第二源漏金属层，所述第二源漏金属层的第一部分通过所述第二接触孔与所述有源层的第二部分电连接，所述第二源漏金属层的第二部分通过所述第二接触孔与所述第一源漏金属层的第四部分电连接；(5)在所述有机介电绝缘层上依次沉积并图案化形成平坦层、阳极层、像素定义层以及光阻层，所述阳极层与所述第二源漏金属层的第一部分电连接。...

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示面板制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：(1)提供一柔性基板，在所述柔性基板上依次沉积并图案化形成缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、栅极层和第二栅极绝缘层；(2)在所述柔性基板的一显示区形成多个第一接触孔，其中所述第一接触孔的第一部分形成在所述第一栅极绝缘层和所述第二栅极绝缘层上，以及，所述第一接触孔的第二部分形成在所述第二栅极绝缘层上；在所述显示区的所述第二栅极绝缘层上沉积并刻蚀形成第一源漏金属层，所述第一源漏金属层的第一部分通过所述第一接触孔与所述有源层的第一部分电连接，所述第一源漏金属层的第二部分通过所述第一接触孔与所述栅极层的第一部分电连接，所述第一源漏金属层的第三部分位于所述栅极层的第二部分的上方；(3)在所述第二栅极绝缘层上沉积有机介电绝缘层，并对所述有机介电绝缘层进行曝光显影出所述第一源漏金属层；(4)以所述有机介电绝缘层为掩模进行蚀刻，在所述显示区形成多个第二接触孔，其中所述第二接触孔的第一部分形成在所述第一栅极绝缘层、所述第二栅极绝缘层和所述有机介电绝缘层上，以及，所述第二接触孔的第二部分形成在所述有机介电绝缘层上；在所述显示区的所述有机介电绝缘层上沉积并刻蚀形成第二源漏金属层，所述第二源漏金属层的第一部分通过所述第二接触孔与所述有源层的第二部分电连接，所述第二源漏金属层的第二部分通过所述第二接触孔与所述第一源漏金属层的第四部分电连接；(5)在所述有机介电绝缘层上依次沉积并图案化形成平坦层、阳极层、像素定义层以及光阻层，所述阳极层与所述第二源漏金属层的第一部分电连接。2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)进一步包括：在所述柔性基板的一弯折区的所述缓冲层、所述第一栅极绝缘层和所述第二栅极绝缘层上形成深孔；在所述深孔内沉积并蚀刻形成所述弯折区的第一源漏金属层，所述弯折区的第一源漏金属层在所述深孔内为弯折走线。3.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述的在弯折区的所述缓冲层、所述第一栅极绝缘层和所述第二栅极绝缘层上形成深孔的步骤进一步包括：在所述弯折区的所述第一栅极绝缘层和所述第二栅极绝缘层上形成第一开口；在所述弯折区的所述缓冲层上与所述第一开口对应的位置形成第二开口，所述第二开口与所述第一开口连通形成所述深孔。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：杨薇薇，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42