电池材料镀膜控制方法技术

本发明专利技术公开一种电池材料镀膜控制方法，其中，该方法包括：a：开启所述靶材轰击装置轰击靶材置放装置上的第一电极材料；b：控制所述挡板沿第一方向旋转预设角度，关闭所述靶材轰击装置对第一电极材料的轰击；c：控制所述挡板沿所述第二方向旋转；d：开启所述靶材轰击装置轰击靶材置放装置上的第二电极材料；e：控制所述挡板沿第二方向继续旋转。本发明专利技术的技术方案可以把两种电池材料有效的沉积在一起，得到两种材料从低到高不同成分配比的变化，只需要一次制备该电池材料中间体，即可从该电池材料中间体中找到两种材料的较佳配比，也即符合条件的电池材料中间体的制备效率大大提升。

【技术实现步骤摘要】
电池材料镀膜控制方法
本专利技术涉及电池
，特别涉及电池材料镀膜控制方法。
技术介绍
目前常用的全固态薄膜锂电池，电池材料都是采用镀膜方法一层一层的沉积上去的。但是制备出来的薄膜就是材料均一的成分。通常，对于电极薄膜材料本身的研发，需要尝试不同的材料混合，材料的成分不一样，比例不一样的组合。这样的尝试按照现有的方法和设备非常耗时，效率低下。对于现有全固态薄膜锂电池，薄膜的电池材料一般都是钴酸锂(LiCoO2)，或现在比较流行的三元材料(Li(NiCoMn)O2)。但是如果我们要进一步的研发新的电池材料，比如尝试不同电池材料成分之间的组合，不同的比例以此来开发新的材料体系，就需要把不同的材料成分按照不同的比例来进行测试。比如我们想要把锰酸锂(LiMnOx)和镍酸锂(LiNiOx)组合开发新的材料体系。按照现有的传统方法，就要沉积LiMnOx的薄膜，然后在沉积LiNiOx薄膜组合在一起(或者先沉积LiNiOx薄膜，再沉积LiMnOx的薄膜)，沉积好这个混合薄膜(电池材料测试中间体)后，再来测试材料的性能。但是一旦这样两种薄膜沉积出来，他们的化学成分和比例是固定的，无法变化的。如果要本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电池材料镀膜控制方法，用以控制电池材料镀膜设备镀膜，其特征在于，所述电池材料镀膜设备包括外壳、靶材轰击装置、靶材置放装置、样品台和设置于所述样品台与所述靶材置放装置之间的挡板，所述挡板可旋转地安装于所述外壳或所述样品台，所述挡板具有旋转中心，所述挡板上开设有以所述旋转中心为圆心的弧形通槽，所述靶材置放装置、样品台和所述挡板设置于所述外壳内，所述电池材料镀膜控制方法包括如下步骤：a：开启所述靶材轰击装置轰击靶材置放装置上的第一电极材料；b：控制所述挡板沿第一方向旋转预设角度，以镀膜形成具有楔形台的第一电极层，关闭所述靶材轰击装置对第一电极材料的轰击；c：控制所述挡板沿所述第二方向旋转；d...

【技术特征摘要】
1.一种电池材料镀膜控制方法，用以控制电池材料镀膜设备镀膜，其特征在于，所述电池材料镀膜设备包括外壳、靶材轰击装置、靶材置放装置、样品台和设置于所述样品台与所述靶材置放装置之间的挡板，所述挡板可旋转地安装于所述外壳或所述样品台，所述挡板具有旋转中心，所述挡板上开设有以所述旋转中心为圆心的弧形通槽，所述靶材置放装置、样品台和所述挡板设置于所述外壳内，所述电池材料镀膜控制方法包括如下步骤：a：开启所述靶材轰击装置轰击靶材置放装置上的第一电极材料；b：控制所述挡板沿第一方向旋转预设角度，以镀膜形成具有楔形台的第一电极层，关闭所述靶材轰击装置对第一电极材料的轰击；c：控制所述挡板沿所述第二方向旋转；d：开启所述靶材轰击装置轰击靶材置放装置上的第二电极材料；e：控制所述挡板沿第二方向继续旋转，以在第一电极层的楔形台上镀膜形成第二电极层，第二电极层的上表面与样品台平行，所述第一方向与所述第二方向相反。2.如权利要求1所述的电池材料镀膜控制方法，其特征在于，在步骤b中，挡板沿第一方向旋转的预设角度为α，在步骤c中，挡板沿第二方向旋转角度为γ，在步骤e中，挡板沿第二方向旋转的角度为α；其中，所述弧形通槽的弧度对应的中心角为γ，α≤γ。3.如权利要求1所述的电池材料镀膜控制方法，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：李致朋，区定容，
申请(专利权)人：深圳市致远动力科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44