下载电池材料镀膜控制方法的技术资料

文档序号:20887601

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本发明公开一种电池材料镀膜控制方法,其中,该方法包括:a:开启所述靶材轰击装置轰击靶材置放装置上的第一电极材料;b:控制所述挡板沿第一方向旋转预设角度,关闭所述靶材轰击装置对第一电极材料的轰击;c:控制所述挡板沿所述第二方向旋转;d:开启所...
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