本发明专利技术提供一种用于实现容易维护的废气处理装置的燃烧头及其制造方法、以及具有这种燃烧头的废气处理装置用的燃烧室及其制造方法及维护方法。本发明专利技术提供一种燃烧头，其通过安装于燃烧室主体的上部而构成废气处理装置用的燃烧室，该燃烧头具有：壳体，其具有下方开口的圆筒部，并设有用于以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体的紧固部；燃料用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入燃料；助燃性气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入助燃性气体；处理气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入处理气体；和引燃器，用于点燃所述燃料和/或所述助燃性气体。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】废气处理装置用的燃烧头及其制造方法、以及废气处理装置用的燃烧室及其制造方法和维护方法
本公开涉及废气处理装置用的燃烧头(burnerhead)及其制造方法。另外，本公开涉及废气处理装置用的燃烧室及其制造方法和维护方法。
技术介绍
从半导体制造装置会排出含有硅烷气体(SiH4)或者卤素类的气体(NF3、ClF3、SF6、CHF3、C2F6、CF4)等有害可燃气体的气体，像这样的废气(处理气体)是不能直接释放到大气中的。因此，通常将这些废气导入除害装置来进行基于燃烧的氧化无害化处理。作为这种处理方法，广泛采用通过使用燃料气体在炉内形成火焰来进行废气处理的燃烧式的废气处理装置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4937886号公报
技术实现思路
由于像这样的废气处理装置会产生粉尘，所以需要定期的维护。本公开是鉴于这种问题点而提出的，其课题在于，提供用于实现容易维护的废气处理装置的燃烧头及其制造方法、以及具有像这样的燃烧头的废气处理装置用的燃烧室及其制造方法和维护方法。根据本公开，提供一种燃烧头，其通过安装于燃烧室主体的上部而构成废气处理装置用的燃烧室，该燃烧头具有：壳体，其具有下方开口的圆筒部，并设有用于以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体的紧固部；燃料用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入燃料；助燃性气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入助燃性气体；处理气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入处理气体；和引燃器，其用于点燃所述燃料和/或所述助燃性气体。所述燃料用喷嘴、所述助燃性气体用喷嘴及所述处理气体用喷嘴优选位于与所述圆筒部的轴线正交的同一平面上。此处，位于同一平面上是指，3个喷嘴的燃烧室内周面侧的开口的一部分位于同一平面上。优选地，在所述圆筒部的侧面设有供所述燃料用喷嘴连接的第一开口、供所述助燃性气体用喷嘴连接的第二开口和供所述处理气体用喷嘴连接的第三开口，所述第一开口、所述第二开口及所述第三开口的至少一个部分位于与所述圆筒部的轴线正交的同一平面上。优选地，在所述圆筒部的侧面，设有供所述处理气体用喷嘴连接的第三开口，所述第三开口的形状呈沿所述圆筒部的长度方向延伸的狭缝状。所述引燃器优选能够从所述圆筒部拆下。优选地，在所述圆筒部设有向上方开口且能够插入加热器的孔。所述紧固部优选焊接在所述壳体。所述燃料用喷嘴、所述助燃性气体用喷嘴及所述处理气体用喷嘴焊接在所述圆筒部。所述圆筒部优选由厚壁管构成。优选地，所述壳体具有所述圆筒部和嵌于所述圆筒部的圆环部，所述紧固部从所述圆环部的侧面向外侧突出。燃烧头优选具有用于向所述圆筒部内吹入吹扫气体的吹扫气体用喷嘴。优选地，所述壳体具有所述圆筒部和嵌于所述圆筒部的圆环部，所述吹扫气体用喷嘴用于经由设于所述圆环部的开口将所述吹扫气体吹入所述圆筒部内。优选地，所述燃料、所述助燃性气体及所述处理气体朝向所述圆筒部的内周面的切线方向吹入。另外，根据本公开的其他实施方式，提供一种废气处理装置用的燃烧室，其具有：燃烧室主体；和以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体的上部的上述燃烧头。另外，根据本公开的其他实施方式，提供上述燃烧室的维护方法，其包括：将所述燃烧头从所述燃烧室主体拆下；和将新的上述燃烧头紧固于所述燃烧室主体。另外，根据本公开的其他实施方式，提供一种废气处理装置用的燃烧室的制造方法，其包括：将上述燃烧头以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体的上部。另外，根据本公开的其他实施方式，提供一种燃烧头的制造方法，所述燃烧头通过安装于燃烧室主体的上部而构成废气处理装置用的燃烧室，制造方法包括如下的工序：在壳体上焊接紧固部、燃烧用喷嘴、助燃性气体用喷嘴以及处理气体用喷嘴，其中，所述紧固部用于以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体，所述燃料用喷嘴用于向所述壳体内吹入燃料，所述助燃性气体用喷嘴用于向所述壳体内吹入助燃性气体，所述处理气体用喷嘴用于向所述壳体内吹入处理气体。另外，根据本公开的其他实施方式，提供一种燃烧头的制造方法，所述燃烧头通过安装于燃烧室主体的上部而构成废气处理装置用的燃烧室，制造方法包括：通过铸造形成圆筒部的工序，在该圆筒部的侧面设置的第一开口连接有处理气体用喷嘴；通过机械加工而在所述圆筒部的侧面形成第二开口和第三开口的工序；和通过焊接而将用于向所述圆筒部内吹入燃料的燃料用喷嘴安装于所述第二开口、并且将用于向所述圆筒部内吹入助燃性气体的助燃性气体用喷嘴安装于所述第三开口的工序。优选地，在形成所述圆筒部的工序中，在所述圆筒部的内表面形成突起，在形成所述第二开口和所述第三开口的工序中，使钻头从所述圆筒部的外表面向所述突起贯穿。专利技术效果废气处理装置中的燃烧室的维护容易。附图说明图1是废气处理装置用的燃烧室1的示意图。图2是燃烧头100的立体图。图3A是圆筒部11a的立体图。图3B是圆筒部11a的侧视图。图3C是圆环部11b的立体图。图3D是从图3C中的圆环部11b的铅垂方向中心通过的水平剖视图。图4是从图2所示的燃烧头100中的燃料用喷嘴13a、助燃性气体用喷嘴13b及处理气体用喷嘴13c通过的水平剖视图。图5是顶部11c及突出部11d的立体图。图6是包含图2中的紧固部11b1在内的燃烧室1的铅垂剖视图(A截面)。图7是包含图2中的吹扫气体用喷嘴13d在内的燃烧室1的铅垂剖视图(B截面)。图8A是包含图7中的水供给喷嘴23的水平方向剖视图。图8B是图8A的Q-Q向视图。图9A是示出壳体11中的圆环部11b的制造流程的一例的图。图9B是示出壳体11中的圆环部11b的制造流程的一例的图。图9C是示出壳体11中的圆环部11b的制造流程的一例的图。图10A是示出壳体11中的顶部11c及突出部11d的制造流程的一例的图。图10B是示出壳体11中的顶部11c及突出部11d的制造流程的一例的图。图10C是示出壳体11中的顶部11c及突出部11d的制造流程的一例的图。图11A是示出燃烧头100的制造流程的一例的图。图11B是示出燃烧头100的制造流程的一例的图。图11C是示出燃烧头100的制造流程的一例的图。图11D是示出燃烧头100的制造流程的一例的图。图11E是示出燃烧头100的制造流程的一例的图。图11F是示出燃烧头100的制造流程的一例的图。图12A是示出燃烧头100的制造流程的其他例子的图。图12B是示出燃烧头100的制造流程的其他例子的图。图12C是示出燃烧头100的制造流程的其他例子的图。图13A是示出燃烧头100的制造流程的其他例子的图。图13B是示出燃烧头100的制造流程的其他例子的图。图13C是示出燃烧头100的制造流程的其他例子的图。图14A是示出燃烧头100的制造流程的其他例子的图。图14B是示出燃烧头100的制造流程的其他例子的图。图14C是示出燃烧头100的制造流程的其他例子的图。图15A是燃烧室1的局部垂直视图。图15B是燃烧室1的水平剖视图。图16A是燃烧室1的局部垂直视图。图16B是燃烧室1的水平剖视图。图17A是燃烧室1的局部垂直视图。图17B是燃烧室1的水平剖视图。图18是示出具有燃烧室1的废气处理装置的整体结构的示意图。具体实施方式以下，一边参照附图一边对实施方式进行说明。图1是废气处理装置用的燃烧室1的示意图。在本实施方式中，燃烧室1由燃烧头100及燃本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种燃烧头，其通过安装于燃烧室主体的上部而构成废气处理装置用的燃烧室，所述燃烧头的特征在于，具有：壳体，其具有下方开口的圆筒部，并设有用于以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体的紧固部；燃料用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入燃料；助燃性气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入助燃性气体；处理气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入处理气体；和引燃器，其用于点燃所述燃料和/或所述助燃性气体。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.19 JP 2016-161017;2017.08.10 JP 2017-155271.一种燃烧头，其通过安装于燃烧室主体的上部而构成废气处理装置用的燃烧室，所述燃烧头的特征在于，具有：壳体，其具有下方开口的圆筒部，并设有用于以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体的紧固部；燃料用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入燃料；助燃性气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入助燃性气体；处理气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入处理气体；和引燃器，其用于点燃所述燃料和/或所述助燃性气体。2.如权利要求1所述的燃烧头，其特征在于，所述燃料用喷嘴、所述助燃性气体用喷嘴及所述处理气体用喷嘴位于与所述圆筒部的轴线正交的同一平面上。3.如权利要求1或者2所述的燃烧头，其特征在于，在所述圆筒部的侧面设有供所述燃料用喷嘴连接的第一开口、供所述助燃性气体用喷嘴连接的第二开口和供所述处理气体用喷嘴连接的第三开口，所述第一开口、所述第二开口及所述第三开口的至少一个部分位于与所述圆筒部的轴线正交的同一平面上。4.如权利要求1或者2所述的燃烧头，其特征在于，在所述圆筒部的侧面，设有供所述处理气体用喷嘴连接的第三开口，所述第三开口的形状呈沿所述圆筒部的长度方向延伸的狭缝状。5.如权利要求1～4中任一项所述的燃烧头，其特征在于，所述引燃器能够从所述圆筒部拆下。6.如权利要求1～5中任一项所述的燃烧头，其特征在于，在所述圆筒部设有向上方开口且能够插入加热器的孔。7.如权利要求1～6中任一项所述的燃烧头，其特征在于，所述紧固部焊接在所述壳体。8.如权利要求1～7中任一项所述的燃烧头，其特征在于，所述燃料用喷嘴、所述助燃性气体用喷嘴及所述处理气体用喷嘴焊接在所述圆筒部。9.如权利要求1～8中任一项所述的燃烧头，其特征在于，所述圆筒部由厚壁管构成。10.如权利要求1～9中任一项所述的燃烧头，其特征在于，所述壳体具有所述圆筒部和嵌于所述圆筒部的圆环部，所述紧固部从所述圆环部的侧面向外侧突出。11.如权利要求1～10中任一项所述的燃烧头，其特征在于，具有用于向所述圆...
【专利技术属性】
技术研发人员：宫崎一知，驹井哲夫，柏木诚司，细谷和正，江田健，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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