弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，包括：内部设有弯曲型燃烧腔室的腔体，所述弯曲型燃烧腔室包括若干个依次一体连接的弯曲部；与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通的进气口；与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通的排气口；以及对应设置于各所述弯曲部处且与所述弯曲型燃烧腔室相连通的若干个燃烧头。本实用新型专利技术可满足对半导体工艺中有害的制程气体进行充分燃烧的需求；通过引入多个弯曲部和燃烧头，实现了对制程气体的充分燃烧，提升了尾气处理效率，避免了有害气体排放。

【技术实现步骤摘要】
弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构
本技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构。
技术介绍
在现今的半导体制造工艺中，尾气处理设备是通过燃烧或吸附来减少半导体工艺中排放的尾气的有害成分，达到保护环境，净化空气的一种环保设备。其中，燃烧水洗式尾气处理设备采用天然气加助燃气体燃烧产生高温，使制程气体在高温条件下氧化分解，通过反应形成无害或者可溶于水的气体以供后续水洗处理。如果制程气体在燃烧腔内部不能得到完全燃烧，处理效率就无法达到要求；而直接排放有害气体则会危害到环境。如图1所示，是现有的单燃烧头直通式腔体设计。在该设计结构中，由于采用了单个的燃烧头101，其产生的燃烧火焰102无法使从进气管路103进入的制程气体104充分燃烧，导致处理效率低下及部分制程气体104外泄的情况出现。因此，针对燃烧水洗式尾气处理设备中确保制程气体充分燃烧的应用需求，有必要提出一种新的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，以解决上述问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种新的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，用于解决现有技术无法确保制程气体充分燃烧的问题。为实现上述目的及其它相关目的，本技术提供一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，包括：腔体，内部设有弯曲型燃烧腔室，所述弯曲型燃烧腔室包括若干个依次一体连接的弯曲部，相邻的所述弯曲部的弯曲方向相反；进气口，与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通；排气口，与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通；若干个燃烧头，若干个所述燃烧头对应设置于各所述弯曲部处，且所述燃烧头与所述弯曲型燃烧腔室相连通。作为本技术的一种优选方案，所述弯曲型燃烧腔室为包含两个所述弯曲部的S型燃烧腔室。作为本技术的一种优选方案，所述燃烧头所形成的火焰范围完全覆盖所述弯曲部处的腔室空间。作为本技术的一种优选方案，若干个所述燃烧头分别位于所述弯曲型燃烧腔室的同一侧。作为本技术的一种优选方案，若干个所述燃烧头均位于所述弯曲型燃烧腔室的不同侧。作为本技术的一种优选方案，若干个所述燃烧头均位于所述弯曲部的内侧。作为本技术的一种优选方案，若干个所述燃烧头均位于所述弯曲部的外侧。作为本技术的一种优选方案，所述弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构还包括气体混合腔室及若干个进气管路，所述气体混合腔室位于所述进气管路与所述进气口之间，且与所述进气管路及所述弯曲型燃烧腔室相连通。作为本技术的一种优选方案，所述腔体包括：隔热板，位于所述弯曲型燃烧腔室外围；冷却水夹层，位于所述隔热板外围。作为本技术的一种优选方案，所述隔热板包括陶瓷隔热板。作为本技术的一种优选方案，所述弯曲部的弯曲角度介于60°～170°。如上所述，本技术提供一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，具有以下有益效果：本技术通过引入一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，可满足对半导体工艺中有害的制程气体进行充分燃烧的需求。通过引入多个弯曲部和燃烧头，实现了对制程气体的充分燃烧，提升了尾气处理效率，避免了有害气体排放。附图说明图1显示为现有技术提供的尾气处理腔体结构示意图。图2显示为本技术实施例一中提供的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构示意图。图3显示为本技术实施例二中提供的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构示意图。图4显示为本技术实施例三中提供的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构示意图。图5显示为本技术实施例四中提供的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构示意图。元件标号说明101燃烧头102燃烧火焰103进气管路104制程气体201腔体202弯曲型燃烧腔室203弯曲部204进气口205排气口206燃烧头207燃烧火焰208制程气体209气体混合腔室210进气管路211隔热板212冷却水夹层具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其它优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图2至图5。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，虽图示中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。实施例一如图2所示，本技术提供了一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，包括：腔体201，内部设有弯曲型燃烧腔室202，所述弯曲型燃烧腔室202包括若干个依次一体连接的弯曲部203，相邻的所述弯曲部203的弯曲方向相反；进气口204，与所述弯曲型燃烧腔室202内部相连通；排气口205，与所述弯曲型燃烧腔室202内部相连通；若干个燃烧头206，若干个所述燃烧头对应设置于各所述弯曲部203处，且所述燃烧头206与所述弯曲型燃烧腔室相连通。本实施例通过引入具有若干个所述弯曲部203的所述弯曲型燃烧腔室202，使所述燃烧头206所产生的燃烧火焰207在各个所述弯曲部203处对待处理的制程气体208进行充分燃烧。所述弯曲型燃烧腔室202具有所述进气口204和所述排气口205，分别设置于所述弯曲型燃烧腔室202的相对两侧。所述燃烧头206在所述弯曲部203的设置可以使通过弯曲型燃烧腔室202的所述制程气体208得到充分燃烧，确保不会遗漏残留气体。作为示例，所述弯曲型燃烧腔室为包含两个所述弯曲部的S型燃烧腔室。如图2所示腔室结构，是由两个所述弯曲部203所构成的具有S型结构的所述弯曲型燃烧腔室202。相比现有技术中的直通式单燃烧头结构，本实施中的双燃烧头S型结构的腔室设计可以使所述制程气体208在腔室中停留更长时间，同时保证了更长的燃烧时间，以实现充分燃烧，确保从所述排气口205排出的尾气中不会残留有害气体。作为示例，所述燃烧头206所形成的火焰范围完全覆盖所述弯曲部203处的腔室空间。如图2所示，由所述燃烧头206所产生的所述燃烧火焰207从所述弯曲部203的一侧完全覆盖了所述弯曲部203处的腔室空间，确保了不会有所述制程气体208从所述燃烧火焰207未覆盖的缝隙处逃逸，以实现对所述制程气体208的充分燃烧。作为示例，本实施例中的所述若干个所述燃烧头206均位于所述弯曲部203的内侧。所述弯曲部203的内侧即是所述弯曲部203呈凹状弯向的一侧。这样的结构设计可以最大限度地减小腔室体积，以节省占用空间。作为示例，弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构还包括气体混合腔室209及若干个进气管路210，所述气体混合腔室209位于所述进气管路210与所述进气口204之间，且与所述进气管路210及所述弯曲型燃烧腔室202相连通。由于燃烧式尾气处理方法可能还需要用到其他可燃气体及助燃气体，因此本实施还引入了用于气体混合的所述气体混合腔室209，以及多路所述进气管路210。例如，在对于C-F有机废气进行处理时，加入天然气或氢气等可燃气体及氧气等助燃气体进行燃烧处理，并对排出的尾气进行水洗等后续处理。上述各种气体在进入所述弯曲型燃烧腔室202前可以先在所述气体混合腔室209进行充分的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，包括：腔体，内部设有弯曲型燃烧腔室，所述弯曲型燃烧腔室包括若干个依次一体连接的弯曲部，相邻的所述弯曲部的弯曲方向相反；进气口，与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通；排气口，与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通；若干个燃烧头，若干个所述燃烧头对应设置于各所述弯曲部处，且所述燃烧头与所述弯曲型燃烧腔室相连通。

【技术特征摘要】
1.一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，包括：腔体，内部设有弯曲型燃烧腔室，所述弯曲型燃烧腔室包括若干个依次一体连接的弯曲部，相邻的所述弯曲部的弯曲方向相反；进气口，与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通；排气口，与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通；若干个燃烧头，若干个所述燃烧头对应设置于各所述弯曲部处，且所述燃烧头与所述弯曲型燃烧腔室相连通。2.根据权利要求1所述的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，所述弯曲型燃烧腔室为包含两个所述弯曲部的S型燃烧腔室。3.根据权利要求1所述的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，所述燃烧头所形成的火焰范围完全覆盖所述弯曲部处的腔室空间。4.根据权利要求1所述的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，若干个所述燃烧头分别位于所述弯曲型燃烧腔室的同一侧。5.根据权利要求1所述的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，若干个所述燃烧头均位...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐科，阚保国，刘家桦，叶日铨，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32