一种硅片腐蚀工艺固定载具及固定方法技术

本发明专利技术公开了一种硅片腐蚀工艺固定载具，涉及硅片腐蚀技术领域，包括载具主体、第一固定单元、至少二调整固定件、传导件。第一固定单元具有凹口。调整固定件处于相对方向，调整固定件的相对端面朝向载具主体的中心，调整固定件连接载具主体与第一固定单元，其中一个调整固定件具有正螺纹，另一个调整固定件具有逆螺纹，调整固定件还具有延伸件、滑件，延伸件具有一定长度，滑件连接延伸件。传导件具有伸缩口，延伸件位于伸缩口中，伸缩口具有滑槽，滑槽连接滑件。本发明专利技术在两个调整固定件的正螺纹和逆螺纹作用下，两个第一固定单元以相同的速度和相同的力度夹紧硅片。在夹紧硅片的同时防止硅片中心与载具主体中心产生偏离，影响产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片腐蚀工艺固定载具及固定方法
本专利技术涉及硅片腐蚀
，特别涉及一种硅片腐蚀工艺固定载具。
技术介绍
硅片腐蚀是利用氢氧化钠对多晶硅进行腐蚀，目的是为了去除硅片在多线切割锯切片时产生的表面损伤层，同时利用氢氧化钠对硅腐蚀的各向异性，争取反射率较低的表面织构。目前在硅片腐蚀工艺中，首先将圆形硅片放入到专用载具中，其次将专用载具放入到恒温腐蚀池中腐蚀一定时间，并在机械臂的抖动下加速腐蚀，使硅片在没有保护的地方腐蚀成沟槽，形成芯片的初步形状。在此过程中，由于硅片载具没有对硅片进行固定，所以硅片在抖动下回产生不可控的自旋转，导致硅片每个部位的腐蚀程度不一致，使得沟槽深度不一致，影响产品质量。如公告号CN104992917B的中国专利，公开了一种“一种硅片载具”，包括：用于承放硅片的载具主体、固定单元，所述固定单元包括V形槽固定条。在具体实施中，先安装固定单元，此时，为方便硅片安装，V形槽固定条并未彻底固定，只有硅片安装完成后，才能彻底固定V形槽固定条。在此过程中，彻底固定V形槽固定条时，不可避免会对硅片施加力，硅片受力就会产生移动，导致硅片中心与载具主体中心产生偏离，最后使得硅片在腐蚀过程中，硅片浸入恒温腐蚀池的各部位高度不一(硅片在进行腐蚀时一般是先一端进行腐蚀，再转动到另一端进行腐蚀)，造成硅片各部位无法完全进行腐蚀，影响产品质量。并且在将硅片放入到V形槽固定条时，也需将硅片中心对准V形槽固定条中心，不然也会导致硅片中心与载具主体中心产生偏离，影响产品质量。
技术实现思路
本专利技术目的之一是解决现有技术中硅片中心与载具主体中心产生偏离，影响产品质量的问题。本专利技术目的之二是提供一种固定硅片的方法。为达到上述目的之一，本专利技术采用以下技术方案：一种硅片腐蚀工艺固定载具，其中，包括：载具主体，载具主体用于承载硅片；第一固定单元，第一固定单元具有凹口，凹口用于夹持硅片；至少二调整固定件，调整固定件处于相对方向，调整固定件的相对端面朝向载具主体的中心，调整固定件连接载具主体与第一固定单元，其中一个调整固定件具有正螺纹，另一个调整固定件具有逆螺纹，调整固定件还具有：延伸件，延伸件具有一定长度；滑件，滑件连接延伸件；传导件，传导件具有:伸缩口，伸缩口具有一定深度，延伸件位于伸缩口中，延伸件与伸缩口相互贴合，伸缩口具有滑槽，滑槽连接滑件。在上述技术方案中，本专利技术实施例首先将硅片放入到第一固定单元的凹口中，利用凹口壁面对硅片进行夹持。之后拧动调整固定件驱使第一固定单元夹紧硅片，其中，调整固定件的延伸件对传导件施力，传导件受力对另一个调整固定件进行驱动，进一步驱使另一个第一固定单元夹紧硅片，在两个调整固定件的正螺纹和逆螺纹作用下，两个第一固定单元以相同的速度和相同的力度夹紧硅片。最后在夹紧硅片过程中，如硅片和载具主体不处于相同中心点时，硅片中心点的高度高于或低于第一固定单元的中心，硅片两端弧形朝向相同的方向，就具有力的导向作用，极易将硅片挤压移动，迫使硅片移出第一固定单元，需重新安装硅片；如硅片和载具主体处于相同中心点时，硅片中心点的高度等于第一固定单元的中心，硅片两端弧形朝向不同的方向，就不具备力的导向作用，使得第一固定单元夹紧硅片，固定硅片。进一步地，在本专利技术实施例中，凹口为V形。一方面V形开口较大，避免安装硅片时对不准凹口。另一方面V形壁面具有力的导向作用，顺着V形壁面移动，最后使得硅片两端与V形壁面相互贴合，避免安装硅片时，对硅片施加不定向的力，使得硅片与凹口产生大的摩擦，导致硅片损坏，无法进行腐蚀工作。进一步地，在本专利技术实施例中，凹口具有弹性。一方面凹口对硅片夹持时，利用凹口弹性压缩产生的力加强对硅片的夹持力度。另一方面硅片在腐蚀池中进行抖动时，凹口的弹性为硅片提供缓冲，防止刚性夹持迫使硅片产生裂纹。进一步地，在本专利技术实施例中,延伸件为圆柱形。进一步地，在本专利技术实施例中,伸缩口为圆柱形。进一步地，在本专利技术实施例中，硅片腐蚀工艺固定载具还包括：第二固定单元，第二固定单元连接载具主体，第二固定单元与载具主体的连接处具有轴承，第二固定单元具有：容纳空间；锁件，锁件位于容纳空间中，锁件具有导向面与定位槽。进一步地，在本专利技术实施例中，载具主体还包括：转件，转件连接第一固定单元；凸件，凸件连接转件。更进一步地，在本专利技术实施例中，第二固定单元还具有：按钮；弹性件，弹性件连接按钮；拉绳，拉绳一端连接按钮，拉绳另一端连接锁件。更进一步地，在本专利技术实施例中，第二固定单元还具有转轴。一方面为拉绳提供固定点，方便拉绳进行转向，另一方面在拉绳进行移动时，转轴能顺着拉绳运动方向进行移动，防止拉绳磨损。更进一步地，在本专利技术实施例中，锁件还具有锁定口。更进一步地，在本专利技术实施例中，第二固定单元还具有卡件，卡件活动连接在第二固定单元中，卡件与第二固定单元的连接处具有偏压弹件，卡件一端位于容纳空间内，卡件另一端为施力部。更进一步地，在本专利技术实施例中，卡件位于容纳空间内的一端形状为弧形。本专利技术的有益效果是：第一，本专利技术在两个调整固定件的正螺纹和逆螺纹作用下，两个第一固定单元以相同的速度和相同的力度夹紧硅片。在夹紧硅片的同时防止硅片中心与载具主体中心产生偏离，影响产品质量。第二，本专利技术在硅片和载具主体不处于相同中心点时，两个第一固定单元夹紧的硅片两端弧形朝向相同的方向，迫使硅片移出第一固定单元，防止硅片中心与载具主体中心产生偏离，影响产品质量。为达到上述目的之二，本专利技术采用以下技术方案：一种固定硅片的方法，包括以下步骤：装夹，将硅片放入到第一固定单元的凹口中，利用凹口壁面对硅片进行夹持；相对移动，拧动调整固定件驱使第一固定单元夹紧硅片，其中，调整固定件的延伸件对传导件施力，传导件受力对另一个调整固定件进行驱动，进一步驱使另一个第一固定单元夹紧硅片，在两个调整固定件的正螺纹和逆螺纹作用下，两个第一固定单元以相同的速度和相同的力度夹紧硅片；中心点判断，在两个第一固定单元以相同的速度和相同的力度夹紧硅片时，如硅片和载具主体不处于相同中心点时，硅片中心点的高度高于或低于第一固定单元的中心，硅片两端弧形朝向相同的方向，就具有力的导向作用，极易将硅片挤压移动，迫使硅片移出第一固定单元，需重新安装硅片；如硅片和载具主体处于相同中心点时，硅片中心点的高度等于第一固定单元的中心，硅片两端弧形朝向不同的方向，就不具备力的导向作用，使得第一固定单元夹紧硅片；固定，在第一固定单元夹紧硅片后，送开调整固定件，完成硅片固定工作。进一步地，在本专利技术实施例中，在固定步骤完成后，将载具主体放入到腐蚀池中进行腐蚀工作。进一步地，在本专利技术实施例中，在装夹步骤中，凹口的弹性对硅片壁面进行施力，进一步加强硅片夹持力。更进一步地，在本专利技术实施例中，在腐蚀步骤中，当硅片一部分腐蚀一定时间后，根据硅片未腐蚀部位所需，转动载具主体一定角度，载具主体的转件受力旋转，转件上的凸件顺着锁件的导向面进行滑动顶起锁件，当凸件移动到锁件的定位槽时，定位槽卡合凸件，锁紧载具主体。更进一步地，在本专利技术实施例中，在腐蚀步骤中，位于腐蚀池的硅片部分腐蚀一定时间后，根据硅片未腐蚀部位所需，按下按钮，按钮进行移动，通过拉绳拉动锁件，使得定位槽脱离凸件，同时使得锁件的锁定口卡合卡件，转动载具主体一定角度，转件受力旋本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片腐蚀工艺固定载具，其中，包括：载具主体；第一固定单元，所述第一固定单元具有凹口；至少二调整固定件，所述调整固定件处于相对方向，所述调整固定件的相对端面朝向所述载具主体的中心，所述调整固定件连接所述载具主体与所述第一固定单元，其中一个所述调整固定件具有正螺纹，另一个所述调整固定件具有逆螺纹，所述调整固定件还具有：延伸件；滑件，所述滑件连接所述延伸件；传导件，所述传导件具有：伸缩口，所述延伸件位于所述伸缩口中，所述伸缩口具有滑槽，所述滑槽连接所述滑件。

【技术特征摘要】
1.一种硅片腐蚀工艺固定载具，其中，包括：载具主体；第一固定单元，所述第一固定单元具有凹口；至少二调整固定件，所述调整固定件处于相对方向，所述调整固定件的相对端面朝向所述载具主体的中心，所述调整固定件连接所述载具主体与所述第一固定单元，其中一个所述调整固定件具有正螺纹，另一个所述调整固定件具有逆螺纹，所述调整固定件还具有：延伸件；滑件，所述滑件连接所述延伸件；传导件，所述传导件具有：伸缩口，所述延伸件位于所述伸缩口中，所述伸缩口具有滑槽，所述滑槽连接所述滑件。2.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具，其中，所述凹口为V形。3.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具，其中，所述凹口具有弹性。4.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具，其中,所述延伸件为圆柱形。5.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具，其中,所述伸缩口为圆柱...

【专利技术属性】
技术研发人员：伍志军，
申请(专利权)人：苏州赛森电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32