一种靶材背板结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种靶材背板结构，其结构包括背板结构、承接板、散热铝材和冷媒组件，所述背板结构上设有承接板，所述承接板的下方设有散热铝材，所述散热铝材的下方设有冷媒组件，所述承接板通过散热铝材与冷媒组件固定连接，所述冷媒组件包括冷媒板、冷媒管、冷媒入口、冷媒出口，该一种靶材背板结构，可通过在承接板的下方设置一组散热铝材，再借由底板上的主侧板、副侧板支撑之后，内部的铝片组会与承接板进行接触，对靶材表面产生的温度进行传递，可通过在散热铝材的下方设置一个冷媒组件，冷媒组件在上方冷媒板的表面上设置蛇形弯曲的冷媒管，可对冷媒进行传递，便于对上方散热铝材吸收的热量进行交换，结构简单，易于实现。

A Target Backplane Structure

The utility model discloses a target backboard structure, which comprises a backboard structure, a receiving plate, a heat dissipating aluminum material and a refrigerant component. The backboard structure is provided with a receiving plate, a heat dissipating aluminum material is arranged below the receiving plate, and a refrigerant component is arranged below the heat dissipating aluminum material. The receiving plate is fixed connected with the refrigerant component through the heat dissipating aluminum material, and the refrigerant component includes a refrigerant. Plate, refrigerant tube, refrigerant inlet and refrigerant outlet. This kind of target backplane structure can set a set of heat dissipating aluminium material under the underneath of the underplate. After being supported by the main side plate and the auxiliary side plate on the underplate, the inner aluminium sheet group will contact the underplate to transfer the temperature generated on the surface of the target, and a refrigerant component can be set under the heat dissipating aluminium material. A serpentine bending refrigerant tube is arranged on the surface of the upper refrigerant plate to transfer the refrigerant, which is convenient for exchanging the heat absorbed by the above heat dissipating aluminium material. The structure is simple and easy to realize.

【技术实现步骤摘要】
一种靶材背板结构
本技术涉及靶材背板
，具体为一种靶材背板结构。
技术介绍
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)，而靶材背板是配合靶材进行安装的一种基材。目前，现有的靶材背板可配合靶材进行使用，但是在实际使用中，传统具有冷却水道的靶材背板主要是采用无氧铜材质加工形成具有冷却水道的基板，然后以无氧铜材质的上盖板覆盖基板，接着再对基板与上盖板的接缝进行密封焊接，借着无氧铜材质能快速吸收热量的优点，传统靶材背板可迅速将靶材于镀膜制程中所产生的高温热量带走，然而由于无氧铜材质的密度较大且强度不佳，因此造成靶材背板需具备足够的厚度以增加强度，进而使得传统靶材背板的重量亦相对较重，并造成材料成本增加且焊接困难等问题，其次在对于高温的处理上，只是以转移为主，缺少有效的消散方式，使得散热效果大打折扣，然后冷却水道的设置在使用中也会出现泄漏的情况，这些都是实际存在而又急需解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种靶材背板结构，解决了
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种靶材背板结构，其结构包括背板结构、承接板、散热铝材和冷媒组件，所述背板结构上设有承接板，所述承接板的下方设有散热铝材，所述散热铝材的下方设有冷媒组件，所述承接板通过散热铝材与冷媒组件固定连接，所述冷媒组件包括冷媒板、冷媒管、冷媒入口、冷媒出口，所述冷媒组件上设有冷媒板，所述冷媒板的表面设有冷媒管，所述冷媒管通过冷媒板与冷媒组件固定连接，所述冷媒管的两端分别固定设有冷媒入口、冷媒出口。作为本技术的一种优选实施方式，所述散热铝材的下方设有底板，所述底板的表面设有主侧板，所述主侧板的侧面设有副侧板，所述主侧板、副侧板通过底板与冷媒组件固定连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述主侧板、副侧板的内侧设有铝片组，所述铝片组通过冷媒组件与主侧板、副侧板接触连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述冷媒板的表面设有连接帽，所述连接帽的下方设有连接柱，所述连接柱通过连接帽与冷媒板固定连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述承接板的表面设有承接槽，所述承接槽通过承接板与散热铝材固定连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述冷媒组件的表面设有连接孔，所述冷媒板通过连接柱与冷媒组件固定连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述背板结构的表面固定设有固定孔。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1.该一种靶材背板结构，可通过在散热铝材的下方设置一个冷媒组件，冷媒组件在上方冷媒板的表面上设置蛇形弯曲的冷媒管，配合冷媒入口、冷媒出口，可对冷媒进行传递，便于对上方散热铝材吸收的热量进行交换，增加了散热的效率。2.该一种靶材背板结构，可通过在承接板的下方设置一组散热铝材，再借由底板上的主侧板、副侧板支撑之后，内部的铝片组会与承接板进行接触，对靶材表面产生的温度进行传递。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种靶材背板结构结构示意图；图2为本技术一种靶材背板结构展开示意图；图3为本技术一种靶材背板结构散热铝材示意图；图4为本技术一种靶材背板结构冷媒组件示意图。图中:背板结构-1、固定孔-2、承接板-3、承接槽-4、散热铝材-5、底板-6、主侧板-7、副侧板-8、铝片组-9、冷媒组件-10、连接孔-11、冷媒板-12、冷媒管-13、冷媒入口-14、冷媒出口-15、连接帽-16、连接柱-17。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种靶材背板结构，其结构包括背板结构1、承接板3、散热铝材5和冷媒组件10，所述背板结构1上设有承接板3，所述承接板3的下方设有散热铝材5，所述散热铝材5的下方设有冷媒组件10，所述承接板3通过散热铝材5与冷媒组件10固定连接，所述冷媒组件10包括冷媒板12、冷媒管13、冷媒入口14、冷媒出口15，所述冷媒组件10上设有冷媒板12，所述冷媒板12的表面设有冷媒管13，所述冷媒管13通过冷媒板12与冷媒组件10固定连接，所述冷媒管13的两端分别固定设有冷媒入口14、冷媒出口15。所述散热铝材5的下方设有底板6，所述底板6的表面设有主侧板7，所述主侧板7的侧面设有副侧板8，所述主侧板7、副侧板8通过底板6与冷媒组件10固定连接，底板6的设置便于对主侧板7、副侧板8进行内置的过程中，便于对承接板3进行支撑。所述主侧板7、副侧板8的内侧设有铝片组9，所述铝片组9通过冷媒组件10与主侧板7、副侧板8接触连接，铝片组9的设置便于对上方的温度进行传导和快速消散。所述冷媒板12的表面设有连接帽16，所述连接帽16的下方设有连接柱17，所述连接柱17通过连接帽16与冷媒板12固定连接，连接帽16的设置便于连接柱17的连接。所述承接板3的表面设有承接槽4，所述承接槽4通过承接板3与散热铝材5固定连接，承接槽4的设置便于对靶材进行内置。所述冷媒组件10的表面设有连接孔11，所述冷媒板12通过连接柱17与冷媒组件10固定连接，连接孔11的设置便于冷媒板12配合带有连接帽16的连接柱17内置。所述背板结构1的表面固定设有固定孔2，固定孔2的设置便于进行外部连接。本技术所述的一种靶材背板结构，首先背板结构1的表面设置固定孔2，便于进行外部连接，其次可通过在承接板3的下方设置一组散热铝材5，再借由底板6上的主侧板7、副侧板8支撑之后，内部的铝片组9会与承接板3进行接触，对靶材表面产生的温度进行传递，然后可通过在散热铝材5的下方设置一个冷媒组件10，冷媒组件10在上方冷媒板12的表面上设置蛇形弯曲的冷媒管13，配合冷媒入口14、冷媒出口15，可对冷媒进行传递，便于对上方散热铝材5吸收的热量进行交换，增加了散热的效率。本技术的背板结构1、固定孔2、承接板3、承接槽4、散热铝材5、底板6、主侧板7、副侧板8、铝片组9、冷媒组件10、连接孔11、冷媒板12、冷媒管13、冷媒入口14、冷媒出口15、连接帽16、连接柱17，上述部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本技术解决的问题是传统具有冷却水道的靶材背板主要是采用无氧铜材质加工形成具有冷却水道的基板，然后以无氧铜材质的上盖板覆盖基板，接着再对基板与上盖板的接缝进行密封焊接，借着无氧铜材质能快速吸收热量的优点，传统靶材背板可迅速将靶材于镀膜制程中所产生的高温热量带走，然而由于无氧铜材质的密度较大且强度不佳，因此造成靶材背板需具备足够的厚度以增加强度，进而使得传统靶材背板的重量亦相对较本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材背板结构，其结构包括背板结构(1)、承接板(3)、散热铝材(5)和冷媒组件(10)，其特征在于：所述背板结构(1)上设有承接板(3)，所述承接板(3)的下方设有散热铝材(5)，所述散热铝材(5)的下方设有冷媒组件(10)，所述承接板(3)通过散热铝材(5)与冷媒组件(10)固定连接；所述冷媒组件(10)包括冷媒板(12)、冷媒管(13)、冷媒入口(14)、冷媒出口(15)，所述冷媒组件(10)上设有冷媒板(12)，所述冷媒板(12)的表面设有冷媒管(13)，所述冷媒管(13)通过冷媒板(12)与冷媒组件(10)固定连接，所述冷媒管(13)的两端分别固定设有冷媒入口(14)、冷媒出口(15)。

【技术特征摘要】
1.一种靶材背板结构，其结构包括背板结构(1)、承接板(3)、散热铝材(5)和冷媒组件(10)，其特征在于：所述背板结构(1)上设有承接板(3)，所述承接板(3)的下方设有散热铝材(5)，所述散热铝材(5)的下方设有冷媒组件(10)，所述承接板(3)通过散热铝材(5)与冷媒组件(10)固定连接；所述冷媒组件(10)包括冷媒板(12)、冷媒管(13)、冷媒入口(14)、冷媒出口(15)，所述冷媒组件(10)上设有冷媒板(12)，所述冷媒板(12)的表面设有冷媒管(13)，所述冷媒管(13)通过冷媒板(12)与冷媒组件(10)固定连接，所述冷媒管(13)的两端分别固定设有冷媒入口(14)、冷媒出口(15)。2.根据权利要求1所述的一种靶材背板结构，其特征在于：所述散热铝材(5)的下方设有底板(6)，所述底板(6)的表面设有主侧板(7)，所述主侧板(7)的侧面设有副侧板(8)，所述主侧板(7)、副侧板(8)通过底板(6)与...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙伟华，
申请(专利权)人：江苏迪丞光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32