一种蓝宝石晶棒定向仪制造技术

本发明专利技术公开了一种蓝宝石晶棒定向仪，包括桌体，及安装于桌体上的第一工作台和第二工作台；所述第一工作台和第二工作台之间安装有双路X射线台；所述双路X射线台靠近第一工作台和第二工作台两面均安装有X射线高压发生装置；所述第一工作台和第二工作台包括台体；及安装于台体顶面的圆形导轨；所述圆形导轨中心处安装有晶棒夹具；所述晶棒夹具与安装于台体内侧的蜗轮蜗杆减速机构其蜗杆安装；所述蜗杆外部安装有固定筒；本发明专利技术的蓝宝石晶棒定向仪；采用自动调角和自动定向，保证调角定向精度，通过两个工作台，双侧工作台可以同时进行操作，可对晶片进行端面和参考边定向；可以测量蓝宝石晶体专有的晶向（A、C、M、R）。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石晶棒定向仪
本专利技术涉及一种定向仪，具体涉及一种蓝宝石晶棒定向仪，属于定向仪

技术介绍
人工生长出来的单晶硅晶棒在加工出各种规格的晶片前，需要先将毛胚晶棒进行定向，找出需要的方向后，利用磨削设备将晶棒柱面加工出参考边或刻痕，然后按测定角度值将晶棒粘接在料板上，并且进行晶棒粘接时，晶棒柱面参考边或刻痕需指向指定角度；上述过程中，晶棒角度检测尤为重要，一旦发生偏差，不仅影响粘接精度，也严重影响后续单晶硅切片精度，导致晶体切片制品不合格率较高；为此，晶棒柱面加工前，需要对其进行定向，如中国专利申请号：201810794228.0，公开了一种晶棒定向检测系统，包括移动机构、旋转机构、支承板、X光发生组件和信号系统组件，旋转机构安装于所述移动机构上并通过所述移动机构驱动移动，支承板安装于所述旋转机构前端并通过所述旋转机构驱动旋转，在所述支承板上设有定位探针、X光发生组件、信号系统组件、第一调整机构和第二调整机构，且检测时所述定位探针与晶棒相抵，所述X光发生组件通过第一调整机构驱动做圆弧运动，所述信号系统组件通过第二调整机构驱动做圆弧运动。本专利技术能够精确检测晶棒的角度信本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蓝宝石晶棒定向仪，其特征在于：包括桌体，及安装于桌体上的第一工作台和第二工作台；所述第一工作台和第二工作台之间安装有双路X射线台；所述双路X射线台靠近第一工作台和第二工作台两面均安装有X射线高压发生装置；所述第一工作台和第二工作台包括台体；及安装于台体顶面的圆形导轨；所述圆形导轨中心处安装有晶棒夹具；所述晶棒夹具与安装于台体内侧的蜗轮蜗杆减速机构其蜗杆安装；所述蜗杆外部安装有固定筒；所述固定筒顶面设置有调角刻度盘；所述固定筒外部活动安装有外转盘；所述外转盘一侧部一体制成有法兰座；所述法兰座上旋接有调距标尺；所述调距标尺上通过燕尾螺栓活动安装有计数管；所述调距标尺底部固定有滑头；所述滑头...

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶棒定向仪，其特征在于：包括桌体，及安装于桌体上的第一工作台和第二工作台；所述第一工作台和第二工作台之间安装有双路X射线台；所述双路X射线台靠近第一工作台和第二工作台两面均安装有X射线高压发生装置；所述第一工作台和第二工作台包括台体；及安装于台体顶面的圆形导轨；所述圆形导轨中心处安装有晶棒夹具；所述晶棒夹具与安装于台体内侧的蜗轮蜗杆减速机构其蜗杆安装；所述蜗杆外部安装有固定筒；所述固定筒顶面设置有调角刻度盘；所述固定筒外部活动安装有外转盘；所述外转盘一侧部一体制成有法兰座；所述法兰座上旋接有调距标尺；所述调距标尺上通过燕尾螺栓活动安装有计数管；所述调距标尺底部固定有滑头；所述滑头活动嵌合到圆形导轨内侧；所述外转盘外部于台体内侧开设有高精度的齿环；所述齿环上啮合有调角齿盘；所述调角齿盘与调角电机...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋旭波，王亚东，刘杰，宋繁龙，彭存振，宋渤，
申请(专利权)人：山东新升光电科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：山东,37