高解析度阶台定位器制造技术

本发明专利技术所说明的是用于在大的移动距离上使基板相对于投影相机或其它设备定位的机构。此机构包括一个或多个台车，其在主要方向上与阶台一起移动，并在阶台于辅助方向上移动时保持静止。台车的位置，以及台车与基板被支撑于其上的阶台之间的相对距离有利于对齐。

High Resolution Step Locator

The invention relates to a mechanism for positioning a substrate relative to a projection camera or other device at a large moving distance. The mechanism includes one or more trolleys which move along the steps in the main direction and remain stationary when the steps move in the auxiliary direction. The position of the trolley and the relative distance between the trolley and the steps on which the base plate is supported are beneficial to alignment.

【技术实现步骤摘要】
高解析度阶台定位器相关申请的交叉引用本申请要求于2017年9月29日提交的美国临时专利申请No.62/565,951的优先权，该美国临时专利申请的全部内容通过引用并入本文。
本专利技术大致关于在半导体制造中所使用的阶台的动作控制与定位。
技术介绍
控制基板相对于作用在此基板上的机构之定位的准确度及精度为一种困难且显见地昂贵的努力。当定位发生在大的区域及长的移动距离时尤其如此。在半导体制造的领域中，习惯上使用干涉仪、激光或宽频来准确地定位基板和基板被支撑于上的阶台或载具。然而，使用来定位基板的干涉仪通常具有延伸通过大气的测量脚(measurementleg)。当需要极高的准确度或大的移动距离时，干涉仪的测量脚所通过的空气之折射率的可变性(variability)可能对基板的定位造成负面影响。据此，需要判定和/或控制基板的定位之较不易变化的装置。另外，即使若干涉仪可被布置为使得干涉仪的测量脚所通过的空气之折射率的变化为小或无的，制造及安装干涉仪所需的光学部件为昂贵的。当基板或基板被支撑于其上的阶台的移动距离为大的时，此花费甚至更大。例如，在测量脚的末端所使用的镜倾向于沿着阶台的移动轴延伸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于定位阶台的移动机构，包括：导轨，该导轨具有线性编码器；台车，其在该导轨上移动，该台车具有读取头，该读取头指示该台车的沿着该导轨的标称位置；线性耦合装置，其将该移动机构连接到该阶台，使得当该阶台在与该导轨平行的方向上移动时，该线性耦合装置使该台车沿着该导轨移动，且当该阶台在与该导轨横切的方向上移动时，该阶台将能够相对于该台车移动；以及位于该阶台上的参考表面以及位于该台车上的相对的至少一个距离感测器，由该读取头所回报的位置及由该距离感测器所回报的标称距离被结合来定位该阶台。

【技术特征摘要】
2017.09.29 US 62/565,9511.一种用于定位阶台的移动机构，包括：导轨，该导轨具有线性编码器；台车，其在该导轨上移动，该台车具有读取头，该读取头指示该台车的沿着该导轨的标称位置；线性耦合装置，其将该移动机构连接到该阶台，使得当该阶台在与该导轨平行的方向上移动时，该线性耦合装置使该台车沿着该导轨移动，且当该阶台在与该导轨横切的方向上移动时，该阶台将能够相对于该台车移动；以及位于该阶台上的参考表面以及位于该台车上的相对的至少一个距离感测器，由该读取头所回报的位置及由该距离感测器所回报的标称距离被结合来定位该阶台。2.如权利要求1所述的用于定位阶台的移动机构，还包括在该台车上的至少两个距离感测器，由所述至少两个距离感测器所回报的距离之间的差异被使用来计算该阶台相对于该台车的角度。3.如权利要求1所述的用于定位阶台的移动机构，其中，该参考表面包括多个独立区段，其被定位来形成标称平面参考表面。4.如权利要求3所述的用于定位阶台的移动机构，还包括在该台车上的至少两个距离感测器，在该台车上的该至少两个距离感测器彼此间具有间距，其将该至少两个距离感测器定址到该参考表面的间隔开的区段。5.如权利要求3所述的用于定位阶台的移动机构，还包括在该台车上的至少两对距离感测器，在该台车上的该至少两对距离感测器中的每一者在各个距离感测器之间具有间距，其小于该平面参考表面的区段的宽度，该至少两对距离感测器彼此间具有间距，其将该至少两对距离感测器定址到该参考表面的间隔开的区段。6.如权利要求1所述的用于定位阶台的移动机构，其中，该导轨被定位在该阶台上方。7.如权利要求1所述的用于定位阶台的移动机构，其中，该导轨被定位在该阶台下方。8.如权利要求1所述的用于定位阶台的移动机构，其中，该阶台相对于基座移动，该阶台藉由空气轴承机构、机械轴承机构、及电磁轴承机构中之一而被支撑在该基座上方。9.一种用于定位阶台的定位机构，包括：多个轨道，该多个轨道中的每一个轨道具有尺度；多个块体，该多个块体中的每一个块体被布置来在所述多个轨道中的一个轨道上移动，该多个块体中的每一个块体具有感测器，该感测器藉由从该尺度读取位置而指示块体的沿着其各自的轨道的标称位置；多个连接器，每一个连接器将该多个块体中的一个块体连接到该阶台，使得当该阶台在平行于该多个轨道中的一个轨道的方向上移动时，该连接器使关联于该轨道的该块体沿着该轨道移动，以及当该阶台在与该轨道横切的方向上移动时，该阶台将能够相对于该块体移动；位于该阶台上的参考表面以及位于该多个块体中的每一个块体上的相对的至少一个距离感测器，由所述至少一个距离感测器所回报的关于每一个轨道的尺度的位置及由所述至少一个距离感测器中的每一个距离感测器所回报的标称距离被结合来定位该阶台。10.如权利要求9所述的用...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·C·多纳赫，
申请(专利权)人：鲁道夫科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US