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本发明所说明的是用于在大的移动距离上使基板相对于投影相机或其它设备定位的机构。此机构包括一个或多个台车，其在主要方向上与阶台一起移动，并在阶台于辅助方向上移动时保持静止。台车的位置，以及台车与基板被支撑于其上的阶台之间的相对距离有利于对齐。...
该专利属于鲁道夫科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鲁道夫科技股份有限公司授权不得商用。

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