测量坐标校正方法和系统技术方案

本发明专利技术提供一种测量坐标校正方法和系统，所述方法包括：获取测量系统的物理测量模块对应的测试区域的测量范围和所述测量范围几何中心的坐标；根据获取的所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标对测量系统的光学镜头进行校正；采用校正后的光学镜头获取待测量对象的几何中心的坐标；将所述测量对象的坐标与所述物理测量模块的测量范围进行比较；当所述测量对象的至少部分坐标处于所述物理测量模块的测量范围之外时，调整所述测量对象的位置，再重新进行比较；当所述测量对象的坐标处于所述物理测量模块的测量范围中时，执行物理测量。

【技术实现步骤摘要】
测量坐标校正方法和系统
本专利技术涉及影像测量领域，尤其涉及一种测量坐标校正方法和系统。
技术介绍
目前对待测物体的量测主要有两种方式，一种是利用探针直接接触待测物体进行量测(称为探针量测系统或“接触式量测系统)，另外一种是利用光学耦合镜头(ChargeCoupledDevice,CCD)获取待测物体的影像进行量测(称为影像量测系统或非接触式量测系统)，现有的测量设备上通常同时配备有探针测量系统和影像测量系统。由于探针测量系统没有设置观察镜头，在利用探针进行电阻率测量时，直接以作业文件坐标作为量测坐标，然后移动探针到量测坐标的位置进行检测。然而作业文件的量测坐标和实际坐标往往略有差异，容易导致量测点位置不准确，导致探针无法准确扎到指定的测试区域，如果扎到测量区域外的封装区，不仅会使测量结果不准确，还会导致芯片封装失效，造成芯片损毁。
技术实现思路
本专利技术提供一种测量坐标校正的方法和系统，以解决物理测量时由于无法确认待测量目标的实际坐标而导致测量结果不准确的技术问题。为解决上述问题，本专利技术提供了一种测量坐标校正方法，其中，所述方法包括：获取测量系统的物理测量模块对应的测试区域的测量范围和所述测量范围几何中心的坐标；根据获取的所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标对测量系统的光学镜头进行校正，使所述光学镜头的测量范围与所述物理测量模块的测量范围保持一致；采用校正后的光学镜头获取待测量对象的几何中心的坐标；将所述测量对象的坐标与所述物理测量模块的测量范围进行比较；当所述测量对象的至少部分坐标处于所述物理测量模块的测量范围之外时，调整所述测量对象的位置，再重新进行比较；当所述测量对象的坐标处于所述物理测量模块的测量范围中时，执行物理测量。根据本专利技术的一个具体实施例，其中，所述根据获取的所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标对测量系统的光学镜头进行校正的方法包括：将所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标进行对比，看二者是否重合；如不重合，则调整所述光学镜头的位置，直至所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标重合。根据本专利技术的一个具体实施例，其中，判断所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标是否重合的方法为：获取所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标(x0,y0)；获取所述光学镜头的几何中心坐标(x1,y1)；计算所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标之间的距离Δ，计算方法为：Δ＝(x1-x0)2+(y1-y0)2；若Δ为0，则说明所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标重合，否则不重合。根据本专利技术的一个具体实施例，其中，所述测量系统同时具有影像式测量单元和接触式测量单元，其中所述影像式测量单元包括光学镜头，所述接触式测量单元包括物理测量模块。根据本专利技术的一个具体实施例，其中，所述物理测量模块为探针测量模块。相应的，本专利技术还提供了一种测量坐标校正系统，其中，所述系统包括：第一数据获取单元，用于获取测量系统的物理测量模块对应的测试区域的测量范围和所述测量范围几何中心的坐标；校正单元，用于根据获取的所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标对测量系统的光学镜头进行校正，使所述光学镜头的测量范围与所述物理测量模块的测量范围保持一致；第二数据获取单元，用于采用校正后的光学镜头获取待测量对象的几何中心的坐标；比较单元，用于将所述测量对象的坐标与所述物理测量模块的测量范围进行比较；调整单元，用于当所述测量对象的至少部分坐标处于所述物理测量模块的测量范围之外时，调整所述测量对象的位置，再重新进行比较；执行单元，用于当所述测量对象的坐标处于所述物理测量模块的测量范围中时，执行物理测量。根据本专利技术的一个具体实施例，其中，所述校正单元根据获取的所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标对测量系统的光学镜头进行校正的方法包括：将所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标进行对比，看二者是否重合；如不重合，则调整所述光学镜头的位置，直至所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标重合。根据本专利技术的一个具体实施例，其中，所述校正单元判断所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标是否重合的方法为：获取所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标(x0,y0)；获取所述光学镜头的几何中心坐标(x1,y1)；计算所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标之间的距离Δ，计算方法为：Δ＝(x1-x0)2+(y1-y0)2；若Δ为0，则说明所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标重合，否则不重合。根据本专利技术的一个具体实施例，其中，所述测量系统同时具有影像式测量单元和接触式测量单元，其中所述影像式测量单元包括光学镜头，所述接触式测量单元包括物理测量模块。根据本专利技术的一个具体实施例，其中，所述物理测量模块为探针测量模块。本专利技术的测量校正方法和系统能够在测量之前通过光学测量单元的电容耦合镜头校正物理测量时待测量目标的位置，解决了现有技术中由于物理测量单元未设置镜头而无法对待测量目标的位置进行调整的问题，有效提高了物理测量单元的测量结果的准确率，同时避免损坏待测量芯片。附图说明图1为本专利技术的一个实施例中的测量校正方法的流程图；图2为本专利技术的一个实施例中的测量校正系统的结构示意图。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。本专利技术提供一种测量坐标校正的方法和系统，以解决物理测量时由于无法确认待测量目标的实际坐标而导致测量结果不准确的技术问题。具体的，参见图1，该方法包括以下步骤：首先，在步骤S110中，获取测量系统的物理测量模块对应的测试区域的测量范围和所述测量范围几何中心的坐标。根据本专利技术的一个具体实施例，其中，所述测量系统同时具有影像式测量单元和接触式测量单元，其中所述影像式测量单元包括光学镜头，所述接触式测量单元包括物理测量模块。具体的，所述物理测量模块为探针测量模块，所述光学镜头为电容耦合镜头。具体的，物理测量模块对应的测试区域的测量范围和所述测量范围几何中心的坐标为预先设置好并存储在系统中的，通过调取数据即可获得。其次，在步骤S120中，根据获取的所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标对测量系统的光学镜头进行校正，使所述光学镜头的测量范围与所述物理测量模块的测量范围保持一致。具体的，所述根据获取的所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标对测量系统的光学镜头进行校正的方法包括：将所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标进行对比，看二者是否重合；如不重合，则调整所述光学镜头的位置，直至所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标重合。根据本专利技术的一个具体实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测量坐标校正方法，其特征在于，所述方法包括：获取测量系统的物理测量模块对应的测试区域的测量范围和所述测量范围几何中心的坐标；根据获取的所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标对测量系统的光学镜头进行校正，使所述光学镜头的测量范围与所述物理测量模块的测量范围保持一致；采用校正后的光学镜头获取待测量对象的几何中心的坐标；将所述测量对象的坐标与所述物理测量模块的测量范围进行比较；当所述测量对象的至少部分坐标处于所述物理测量模块的测量范围之外时，调整所述测量对象的位置，再重新进行比较；当所述测量对象的坐标处于所述物理测量模块的测量范围中时，执行物理测量。

【技术特征摘要】
1.一种测量坐标校正方法，其特征在于，所述方法包括：获取测量系统的物理测量模块对应的测试区域的测量范围和所述测量范围几何中心的坐标；根据获取的所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标对测量系统的光学镜头进行校正，使所述光学镜头的测量范围与所述物理测量模块的测量范围保持一致；采用校正后的光学镜头获取待测量对象的几何中心的坐标；将所述测量对象的坐标与所述物理测量模块的测量范围进行比较；当所述测量对象的至少部分坐标处于所述物理测量模块的测量范围之外时，调整所述测量对象的位置，再重新进行比较；当所述测量对象的坐标处于所述物理测量模块的测量范围中时，执行物理测量。2.根据权利要求1所述的测量坐标校正方法，其特征在于，所述根据获取的所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标对测量系统的光学镜头进行校正的方法包括：将所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标进行对比，看二者是否重合；如不重合，则调整所述光学镜头的位置，直至所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标重合。3.根据权利要求2所述的测量坐标校正方法，其特征在于，判断所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标是否重合的方法为：获取所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标(x0,y0)；获取所述光学镜头的几何中心坐标(x1,y1)；计算所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标之间的距离Δ，计算方法为：Δ＝(x1-x0)2+(y1-y0)2；若Δ为0，则说明所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标重合，否则不重合。4.根据权利要求1所述的测量坐标校正方法，其特征在于，所述测量系统同时具有影像式测量单元和接触式测量单元，其中所述影像式测量单元包括光学镜头，所述接触式测量单元包括物理测量模块。5.根据权利要求4所述的测量坐标校正方法，其特征在于，所述物理测量模块为探针测量模块。6.一种测量坐标校正系统，其特征在于，所述系统包括：第一数据...

【专利技术属性】
技术研发人员：方杰，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44