一种新型制备薄膜的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种制备薄膜的装置。制备薄膜的装置包括：溅射室，用于生成金属前驱物；蒸发室，用于将蒸发的所述金属前驱物镀至基板上形成薄膜；以及基板承载装置，位于蒸发室中，用于承载所述基板；其中，所述溅射室与所述蒸发室相连通，所述基板承载装置朝向所述溅射室。本实用新型专利技术的新型制备薄膜的装置及方法，装置简单，操作方便，结合磁控溅射法和共蒸发法等多种方法的优势，既实现靶源成分比例控制，从而获得分布更均匀、具有更优Ga梯度的CIGS薄膜，提高电池转换效率，又减少单一共蒸发法中蒸发耗能，提高材料的利用率，同时可实现高速率沉积镀膜。

【技术实现步骤摘要】
一种新型制备薄膜的装置
本技术涉及一种镀膜技术，特别地涉及一种新型制备薄膜的装置。
技术介绍
太阳能电池作为绿色能源，已逐渐被广泛应用于各领域。太阳能电池可直接将太阳光转化为电能，实现这一过程的关键是由Cu(铜)、In(铟)、Ga(镓)、Se(硒)四种元素构成的黄铜矿结构。运用现有的镀膜技术将4种元素镀制到基板上，形成太阳能电池P-N结中的P型结构薄膜。现有的镀膜技术有很多，可分为非真空法镀膜和真空法镀膜。现在研究最广泛、制备出电池效率比较高的是真空法镀膜，包括：磁控溅射法、共蒸发法等。磁控溅射法虽能制备出效率较高的太阳能电池，但是溅射过程中各元素分布的均匀性较差，易产生合金相和单相，如制作CIGS太阳能电池时，现有技术中应用的靶材多为混合靶材，如三元靶CuInGa,二元靶CuGa、CuIn、GaSe、InSe等，不易形成理想的Ga梯度，从而减小了禁带宽度。共蒸发法制备的太阳能电池转化效率相较磁控溅射转化效率更高，实验室通过三步共蒸发法制备的电池效率可达22.6％，但由于蒸发源成膜时需精确控制其成分，所以对设备要求极高，耗能较大，且比例成分不易控制，不易产业化。技术内容针对现有技术中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制备薄膜的装置，其特征在于，包括：溅射室，用于生成金属前驱物；蒸发室，用于将蒸发的所述金属前驱物镀至基板上形成薄膜；以及基板承载装置，位于蒸发室中，用于承载所述基板；其中，所述溅射室与所述蒸发室可相连通，所述基板承载装置朝向所述溅射室。

【技术特征摘要】
1.一种制备薄膜的装置，其特征在于，包括：溅射室，用于生成金属前驱物；蒸发室，用于将蒸发的所述金属前驱物镀至基板上形成薄膜；以及基板承载装置，位于蒸发室中，用于承载所述基板；其中，所述溅射室与所述蒸发室可相连通，所述基板承载装置朝向所述溅射室。2.根据权利要求1所述的制备薄膜的装置，其特征在于，其中所述溅射室和所述蒸发室之间还包括屏蔽层。3.根据权利要求2所述的制备薄膜的装置，其特征在于，其中所述屏蔽层包括开孔，所述基板承载装置朝向所述开孔。4.根据权利要求1所述的制备薄膜的装置，其特征在于，其中所述溅射室进一步包括溅射装置和发射源，其中所述溅射装置接收来自发射源的溅射，所述发射源包括位于不同位置的不同发射源。5.根据权利要求4所述的制备薄膜的装置，其特征在于，其中所述溅射装置为旋转装置。6.根据权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩伟丹，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11