温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种制备薄膜的装置。制备薄膜的装置包括：溅射室，用于生成金属前驱物；蒸发室，用于将蒸发的所述金属前驱物镀至基板上形成薄膜；以及基板承载装置，位于蒸发室中，用于承载所述基板；其中，所述溅射室与所述蒸发室相连通，所述基板承载装置朝...
该专利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京铂阳顶荣光伏科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。