一种含蒸汽的多组分标准气体产生装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种含蒸汽的多组分标准气体产生装置，其包括：储水罐、至少两个气源、一个水流量控制器、至少两个气体流量控制器、蒸发混合器、降压真空泵；水流量控制器的一端通过管道与储水罐的出口连接，水流量控制器的另一端通过管道与蒸发混合器的一个入口连接，每一个气体流量控制器的两端均通过管道分别与一个气源的出口以及所述蒸发混合器的一个入口连接，蒸发混合器的出口通过管道与降压真空泵的入口连接。本发明专利技术可以接入多种源气体并保证气体混合均匀，且拓宽混合气体组分配比的范围，还可以制备包含有蒸汽的混合气体，保证管道内的蒸汽不会冷凝。

A Multi-component Standard Gas Generator Containing Steam

The invention provides a steam-containing multi-component standard gas generating device, which comprises a water storage tank, at least two gas sources, a water flow controller, at least two gas flow controllers, an evaporative mixer and a depressurized vacuum pump; one end of the water flow controller is connected with the outlet of the water storage tank through a pipeline, and the other end of the water flow controller is connected with one of the evaporative mixer through a pipeline. The two ends of each gas flow controller are connected with an outlet of a gas source and an inlet of the evaporative mixer respectively through a pipeline, and the outlet of the evaporative mixer is connected with the inlet of the depressurized vacuum pump through a pipeline. The invention can incorporate multiple source gases to ensure uniform mixing of gases, widen the range of mixing gas components, and prepare mixed gases containing steam to ensure that the steam in the pipeline does not condensate.

【技术实现步骤摘要】
一种含蒸汽的多组分标准气体产生装置
本专利技术涉及气体生成领域，尤其涉及一种含蒸汽的多组分标准气体产生装置。
技术介绍
在第一篇专利(专利名称为：一种液体动态配气装置及其配气方法，申请号为：CN201610685797.2)中，其介绍的技术方案如下：通过蠕动泵或者微量注射泵以固定速度向液体蒸发装置中推送液体，从而调节蒸气浓度；另一种气体浓度通过流量控制器调节；气体在混气罐中混合。在第二篇专利(专利名称为：一种水气浓度可调混合气体发生器，申请号为：201621234512.5)中，其介绍的技术方案如下：通过水气发生器加热液体水；流量控制模块控制阀门调节组分浓度；水气发生器和气体混合的管道置于温控腔体内。在第三篇专利(专利名称为：多组份动态配气装置，申请号为：CN201420408726.4)中，其介绍的技术方案如下：该专利技术具有若干结构相同的配气装置连接到混合气室，通过流量控制器控制各路气体流量。第一篇专利的技术方案具有如下缺点：首先，混气罐中只能接入一个源气体；其次，一个气源分为两路注入，两个质量流量控制器的最小控制流量叠加会增大气体路最小流量，降低配气范围；此外，装置没有加热保温本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种含蒸汽的多组分标准气体产生装置，其特征在于，包括：储水罐、至少两个气源、一个水流量控制器、至少两个气体流量控制器、蒸发混合器、降压真空泵；所述水流量控制器的一端通过管道与所述储水罐的出口连接，所述水流量控制器的另一端通过管道与所述蒸发混合器的一个入口连接，每一个气体流量控制器的两端均通过管道分别与一个气源的出口以及所述蒸发混合器的一个入口连接，所述蒸发混合器的出口通过管道与所述降压真空泵的入口连接。

【技术特征摘要】
1.一种含蒸汽的多组分标准气体产生装置，其特征在于，包括：储水罐、至少两个气源、一个水流量控制器、至少两个气体流量控制器、蒸发混合器、降压真空泵；所述水流量控制器的一端通过管道与所述储水罐的出口连接，所述水流量控制器的另一端通过管道与所述蒸发混合器的一个入口连接，每一个气体流量控制器的两端均通过管道分别与一个气源的出口以及所述蒸发混合器的一个入口连接，所述蒸发混合器的出口通过管道与所述降压真空泵的入口连接。2.根据权利要求1所述的含蒸汽的多组分标准气体产生装置，其特征在于，还包括：所述水流量控制器为水质量流量控制器，所述气体流量控制器为气体质量流量控制器。3.根据权利要求1所述的含蒸汽的多组分标准气体产生装置，其特征在于，每一个气体流量控制器与所述蒸发混合器之间的管道上设置有一个伴热装...

【专利技术属性】
技术研发人员：贠相羽，张煜晨，陆雨洲，张会勇，张世顺，吴小航，梁瀚哲，张诗琪，张越，
申请(专利权)人：中广核研究院有限公司，中国广核集团有限公司，中国广核电力股份有限公司，中广核研究院有限公司龙岗分公司，
类型：发明
国别省市：广东,44