下载一种含蒸汽的多组分标准气体产生装置的技术资料

文档序号:20771724

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本发明提供一种含蒸汽的多组分标准气体产生装置,其包括:储水罐、至少两个气源、一个水流量控制器、至少两个气体流量控制器、蒸发混合器、降压真空泵;水流量控制器的一端通过管道与储水罐的出口连接,水流量控制器的另一端通过管道与蒸发混合器的一个入口连...
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