一种平板探测器及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种平板探测器及其制备方法，属于平板探测技术领域，其可解决现有的非晶硅平板探测器填充率低、光吸收面积小、探测灵敏度低的问题。本发明专利技术的平板探测器利用可见光传导层面积较大的入光面收集来自可见光传导层的出光部的可见光，并等比例缩小后，由面积较小的出光面射入光敏元件，这样相当于提高了光敏元件对X射线转换层的可见光的吸收率，提高了探测灵敏度。该平板探测器用于医疗领域应用中，还可降低病人吸收的X射线辐射剂量，同时保护了医务人员。

【技术实现步骤摘要】
一种平板探测器及其制备方法
本专利技术属于平板探测
，具体涉及一种平板探测器及其制备方法。
技术介绍
非晶硅平板探测器在医疗成像及工业检测领域有着广泛的应用，由于其需要借助TFT和PIN光电二极管共同完成光的吸收、转换与信号读取的功能，而a-SiTFT固有尺寸导致此类探测器存在填充率低的缺点。这样会降低PIN光敏元件的光吸收面积，从而降低探测灵敏度。
技术实现思路
本专利技术针对现有的非晶硅平板探测器填充率低、光吸收面积小、探测灵敏度低的问题，提供一种平板探测器及其制备方法。解决本专利技术技术问题所采用的技术方案是：一种平板探测器，包括：X射线转换层，用于将X射线转换为可见光；光电转化层，所述光电转化层包括多个转化单元，每个转化单元包括光敏元件和与所述光敏元件连接的读取电路，所述光敏元件用于接收来自可见光传导层的出光部的可见光，并将可见光转换为电信号，所述读取电路用于读取所述光敏元件的电信号；设于所述X射线转换层与光电转化层之间的可见光传导层，所述可见光传导层包括入光部和出光部，所述入光部相较于所述出光部更靠近X射线转换层设置，所述入光部的入光面的面积大于所述出光部的出光面的面积，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平板探测器，其特征在于，包括：X射线转换层，用于将X射线转换为可见光；光电转化层，所述光电转化层包括多个转化单元，每个转化单元包括光敏元件和与所述光敏元件连接的读取电路，所述光敏元件用于接收来自可见光传导层的出光部的可见光，并将可见光转换为电信号，所述读取电路用于读取所述光敏元件的电信号；设于所述X射线转换层与光电转化层之间的可见光传导层，所述可见光传导层包括入光部和出光部，所述入光部相较于所述出光部更靠近X射线转换层设置，所述入光部的入光面的面积大于所述出光部的出光面的面积，所述可见光传导层用于将由X射线转换层入射到其中的可见光等比例缩小后传导至光敏元件。

【技术特征摘要】
1.一种平板探测器，其特征在于，包括：X射线转换层，用于将X射线转换为可见光；光电转化层，所述光电转化层包括多个转化单元，每个转化单元包括光敏元件和与所述光敏元件连接的读取电路，所述光敏元件用于接收来自可见光传导层的出光部的可见光，并将可见光转换为电信号，所述读取电路用于读取所述光敏元件的电信号；设于所述X射线转换层与光电转化层之间的可见光传导层，所述可见光传导层包括入光部和出光部，所述入光部相较于所述出光部更靠近X射线转换层设置，所述入光部的入光面的面积大于所述出光部的出光面的面积，所述可见光传导层用于将由X射线转换层入射到其中的可见光等比例缩小后传导至光敏元件。2.根据权利要求1所述的平板探测器，其特征在于，所述可见光传导层包括与每个转化单元的光敏元件一一对应设置的纤维光锥，所述纤维光锥具有相对的大端和小端，所述大端为入光部，所述小端为出光部。3.根据权利要求2所述的平板探测器，其特征在于，所述纤维光锥的锥壁上设有金属反射层。4.根据权利要求2所述的平板探测器，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：占香蜜，侯学成，李成，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11