一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法技术

本发明专利技术提供一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法，具体步骤为：(1)在塑料柔性衬底上转移PS球；(2)利用反应离子束刻蚀技术将步骤(1)中获得的PS球模板进行缩球处理；(3)用热蒸发工艺将金属沉积到步骤(2)中PS球模板上；(4)将步骤(3)中PS球模板去掉，留下金属纳米网，作为透明柔性电容器的底电极；(5)在步骤(4)中制备的金属纳米网状电极上生长高K介质材料作为介质层；(6)重复上述步骤(1‑4)，再将金属纳米网制备在介质层上作为电容器的顶电极；(7)对顶电极进行光刻，湿法刻蚀，得到透明柔性电容器器件。利用本发明专利技术方法制备的电容器，在柔性和透光度上均有良好的表现，可用于透明柔性电子器件。

【技术实现步骤摘要】
一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法
本专利技术属于透明柔性电容器
，具体涉及一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法。
技术介绍
透明柔性电容器的应用范围非常广泛，比如在透明柔性显示领域中，作为液晶显示屏(LCD)和有机发光二极管(OLED)的驱动电路中一种充放电基本元件；在可穿戴的薄膜太阳能电池中，作为透明窗口的储能元件；在透明柔性的数字集成电路中，作为基本的逻辑元件等。但是当这些设备实现透明柔性时，对基本元件电容器的使用寿命，透明度以及柔性提出了更高的要求。电容器的品质因子越高(损耗越小)，其使用寿命就越长。其中，电容器的损耗主要来源于电极损耗和介质层损耗。因此，可以从两个方面提高电容器的品质因子从而来提高其使用寿命，一方面降低电极材料的方块电阻减小电极损耗；一方面提高介质层的绝缘性能减小介质层损耗。值得注意的是，在降低电极损耗和介质层损耗的同时，保持电容器的柔性和透明度也至关重要。基于此，电极材料通常是采用透明电极，而介质层通过引入高K材料(Al2O3、TiO2、HfO2、ZrO2等)来保证电容器良好的绝缘性能和较高的透光度。目前关于透明电极的报道很多，如ITO(掺本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法，其特征在在于，包括如下步骤：步骤一、在塑料柔性衬底上转移PS(聚苯乙烯)球，利用其自组装特性获得有序排列的图形作为模板；步骤二、利用反应离子束刻蚀技术将步骤一中获得的PS球模板进行缩球工艺，扩大球与球之间的间隙；步骤三、用热蒸发工艺将金属沉积到步骤二中所获得的缩球处理后的PS球模板上；步骤四、将步骤三中的PS球模板去掉，留下金属纳米网，作为透明柔性电容器的底电极；步骤五、于100～500℃下，在步骤四中制备的金属纳米网状电极上生长高K介质材料作为介质层；步骤六、重复步骤一到四，再将金属纳米网制备在介质层上作为透明柔性电容器的顶电极；步骤七、对步骤六...

【技术特征摘要】
1.一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法，其特征在在于，包括如下步骤：步骤一、在塑料柔性衬底上转移PS(聚苯乙烯)球，利用其自组装特性获得有序排列的图形作为模板；步骤二、利用反应离子束刻蚀技术将步骤一中获得的PS球模板进行缩球工艺，扩大球与球之间的间隙；步骤三、用热蒸发工艺将金属沉积到步骤二中所获得的缩球处理后的PS球模板上；步骤四、将步骤三中的PS球模板去掉，留下金属纳米网，作为透明柔性电容器的底电极；步骤五、于100～500℃下，在步骤四中制备的金属纳米网状电极上生长高K介质材料作为介质层；步骤六、重复步骤一到四，再将金属纳米网制备在介质层上作为透明柔性电容器的顶电极；步骤七、对步骤六制备的顶电极进行光刻，湿法刻蚀，得到透明柔性电容器器件。2.如权利要求1所述的一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法，其特征在在于：所述步骤...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭涛，刘昌，吴昊，
申请(专利权)人：武汉大学，
类型：发明
国别省市：湖北,42