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一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法技术
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文档序号:20728165
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本发明提供一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法,具体步骤为:(1)在塑料柔性衬底上转移PS球;(2)利用反应离子束刻蚀技术将步骤(1)中获得的PS球模板进行缩球处理;(3)用热蒸发工艺将金属沉积到步骤(2)中PS球模板上;(4)将步骤(...
该专利属于武汉大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉大学授权不得商用。
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