一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及蒸镀技术领域，提供了一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法，所述蒸镀装置，包括：加热坩埚，用于对蒸镀材料进行加热使其蒸发；磁板，位于所述加热坩埚上方，具有磁性，用于固定待蒸镀的目标基板；所述磁板内设置有两个以上的磁性物，且所述磁板的磁性由中部至边缘递减。上述技术方案的蒸镀装置中磁板的磁性由中部向边缘递减，从而对目标基板中部的吸力大于边缘，减小目标基板的滑移与金属掩膜板的褶皱，可提高金属掩膜板与基板的贴合程度，不仅避免蒸镀有机膜图案出现异常，而且有利于减小目标基板破片风险，提高金属掩膜板寿命，从而有效提高生产效率，保证了产品的品质和生产进度。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法
本专利技术涉及蒸镀
，特别是涉及一种应用于OLED显示器有机发光层蒸镀的蒸镀装置。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)具有自发光、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗等优异性能，使OLED显示面板已成为当前研究的热点与重点。OLED显示屏中有机发光层的制备，通常是采用真空蒸镀技术，即在真空腔体内，通过加热坩埚中的蒸镀材料，使其蒸发并沉积在目标基板上。现有的蒸镀机主要包括蒸镀源、金属掩膜板、接触板和磁板。在蒸镀成膜过程中，通过加热坩埚中的蒸镀材料，使其穿过设有开口图案的金属掩膜板，沉积在目标基板上形成图形化的有机发光层。接触板位于磁板和目标基板之间，与目标基板相接触，便于散热及保证目标基板的接触平整度；金属掩膜板位于目标基板背向接触板的另一侧，其通过磁板吸附固定在目标基板上并与目标基板对位贴合。在现有技术中，基板在搬运及与金属掩膜板的对位过程中，基板的滑移会导致破片影响正常生产。此外，随着OLED显示面板尺寸的增大与轻薄度需求的提高，蒸镀成膜过程中使用的金属掩膜板与基板的面积与厚度也分别随之本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：加热坩埚，用于对蒸镀材料进行加热使其蒸发；磁板，位于所述加热坩埚上方，具有磁性，用于固定待蒸镀的目标基板；其特征在于，所述磁板内设置有两个以上的磁性物，且所述磁板的磁性由中部至边缘递减。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：加热坩埚，用于对蒸镀材料进行加热使其蒸发；磁板，位于所述加热坩埚上方，具有磁性，用于固定待蒸镀的目标基板；其特征在于，所述磁板内设置有两个以上的磁性物，且所述磁板的磁性由中部至边缘递减。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述磁性物为电磁铁，所述电磁铁包括铁芯和缠绕于所述铁芯表面的导电线圈。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述铁芯为软铁或硅钢。4.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，由所述磁板的中部至边缘，所述电磁铁导通电流或单位长度内缠绕的导电线圈的圈数递减，使所述磁板的磁性由中部至边缘递减。5.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述电磁铁在所述磁板内呈行列矩阵式排列。6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括接触板，所述接触板设置于所述磁板的下表面，用于与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：发明
国别省市：福建,35