下载一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法的技术资料

文档序号:20713356

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本发明涉及蒸镀技术领域,提供了一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法,所述蒸镀装置,包括:加热坩埚,用于对蒸镀材料进行加热使其蒸发;磁板,位于所述加热坩埚上方,具有磁性,用于固定待蒸镀的目标基板;所述磁板内设置有两个以上的磁性物,且所述磁板的磁...
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