【技术实现步骤摘要】
一种智能磁控溅射真空镀膜机
本技术属于镀膜机
，具体涉及一种智能磁控溅射真空镀膜机。
技术介绍
智能化是制造自动化的发展方向，在制造过程的各个环节几乎都广泛应用人工智能技术。专家系统技术可以用于工程设计，工艺过程设计，生产调度，故障诊断等。也可以将神经网络和模糊控制技术等先进的计算机智能方法应用于产品配方，生产调度等，实现制造过程智能化。而人工智能技术尤其适合于解决特别复杂和不确定的问题。但是现有的大多数智能磁控溅射真空镀膜机由于结构上的缺陷，导致在其极靶方向不可调并且不能够匹配多种产品的镀膜需求。
技术实现思路
针对上述
技术介绍
所提出的问题，本技术的目的是：旨在提供一种智能磁控溅射真空镀膜机。为实现上述技术目的，本技术采用的技术方案如下：一种智能磁控溅射真空镀膜机，包括真空箱体，所述真空箱体连接有抽真空装置，所述空箱体铰接有箱门，所述箱门与箱体之间连接有锁紧结构，所述真空箱体内安装两组相对应的调节装置，所述调节装置包括两个安装座，所述安装座连接有第一丝杆和第二丝杆，所述安装座连接有两根直线导轨，所述第一丝杆和第二丝杆与安装座之间连接有第一滚动轴承，所述第一丝杆连接...
【技术保护点】
1.一种智能磁控溅射真空镀膜机，包括真空箱体(1)，所述真空箱体(1)连接有抽真空装置，所述空箱体(1)铰接有箱门(11)，所述箱门(11)与箱体(1)之间连接有锁紧结构，其特征在于：所述真空箱体(1)内安装两组相对应的调节装置，所述调节装置包括两个安装座(2)，所述安装座(2)连接有第一丝杆(21)和第二丝杆(22)，所述安装座(2)连接有两根直线导轨(3)，所述第一丝杆(21)和第二丝杆(22)与安装座(2)之间连接有第一滚动轴承，所述第一丝杆(21)连接有第一旋转把手(25)，所述第二丝杆(22)连接有第二旋转把手(26)，所述第一丝杆(21)连接有第一螺母(23)，...
【技术特征摘要】
1.一种智能磁控溅射真空镀膜机，包括真空箱体(1)，所述真空箱体(1)连接有抽真空装置，所述空箱体(1)铰接有箱门(11)，所述箱门(11)与箱体(1)之间连接有锁紧结构，其特征在于：所述真空箱体(1)内安装两组相对应的调节装置，所述调节装置包括两个安装座(2)，所述安装座(2)连接有第一丝杆(21)和第二丝杆(22)，所述安装座(2)连接有两根直线导轨(3)，所述第一丝杆(21)和第二丝杆(22)与安装座(2)之间连接有第一滚动轴承，所述第一丝杆(21)连接有第一旋转把手(25)，所述第二丝杆(22)连接有第二旋转把手(26)，所述第一丝杆(21)连接有第一螺母(23)，所述第一螺母(23)连接有第一直线轴承(31)，所述第一直线轴承(31)安装在直线导轨(3)上，所述第二丝杆(22)连接有第二螺母(24)，所述第二螺母(24)连接有第二直线轴承(32)，所述第二直线轴承(32)安装在直线导轨(3)上，所述第一直线轴承(31)和第二直线轴承(32)的结构相同，所述第一直线轴承(31)和第二直线轴承(32)上侧均连接有连接板(4)，所述连接板(4)的上端连接有两根立杆(41)，两根所述立杆(41)之间连接有滑块(42)，所述滑块(42)上设有锁紧件(43)，所述滑块(42)设有螺纹孔，所述螺纹孔连接有丝杆(44)，所述丝杆(44)连接有旋转把手(45)，所述丝杆(44)连接有旋转盘(46)，所述旋转盘(46)连接有第一锁紧件(47)，所述旋转盘(4...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋永宾，宋欣怡，
申请(专利权)人：青岛优百宇真空设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37
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