一种利用超快激光在柔性基板上精密调组的方法技术

本发明专利技术公开了一种利用超快激光在柔性基板上精密调组的方法，涉及激光调组技术领域，本发明专利技术创设性地利用超快激光进行柔性电路板精密调组，超快激光材料去除的特点在于是“冷加工”过程，仅去除超快激光作用的材料区间，而对周围材料没有明显的影响。同时，超快激光还具有较短的脉冲。利用超快激光调组具有如下优势：(1)提升了调阻的精确度；(2)避免了电阻材料/结构的破坏；(3)避免了基板的热损坏。并且，考虑到目前柔性器件采用十几‑数十微米厚的柔性非金属材料(玻璃或者朔料)，这些器件的高的温度敏感性使得电阻调节需要使用冷加工的超快激光来实现，使得其应用前景极为广阔。

【技术实现步骤摘要】
一种利用超快激光在柔性基板上精密调组的方法
本专利技术涉及激光调组
，尤其是指一种利用超快激光在柔性基板上精密调组的方法。
技术介绍
现有技术中，激光调组已经广泛应用于电子器件中。其原理就是利用聚焦的激光束去除电阻材料，来实现器件电阻的变化和调制。这种技术的特点就是非接触式材料去除方式，根据光斑尺寸(小到几微米的量级)精确的去除材料数量，从而可以实现电阻的精确调节。在调阻的过程中一个组基本的要求就是材料的去除过程不要对(1)电阻材料以及(2)基板材料有明显的损伤。纳秒激光一般能满足一般硬质基板的器件的调阻需求。随着技术水平的提升，无论是消费电子器件，新能源器件，生物医疗器件，都朝着“轻”、“薄”、“低成本”、“环保”的方向发展。所以柔性器件成为新时期电子器件的发展重点。对于目前广泛使用柔性基板的器件调组而言纳秒激光已然不适合。有以下原因：(1)柔性基板一般采用是低熔点，不导热的高分子材料或者很薄(数十微米厚度)的金属箔。其导热性能差，在使用纳秒激光调阻是容易产生热损伤或者热变形；(2)柔性器件的电阻一般采用低温涂覆的方法在柔性基板上制备，电阻层与基板的结合相对较弱，温度会容易产本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种利用超快激光在柔性基板上精密调组的方法，其特征在于，依次包括以下流程：S1、将柔性基板置于支撑夹具上；S2、在柔性基板上涂覆电阻材料的前体材料，形成湿膜；S3、干燥所述前体材料形成的湿膜，并形成干膜；S4、使用光辐照干膜，退火烧结，形成致密的硬膜电阻材料；S5、按照所需要的图形和电阻值，使用超快激光去除多余的电阻材料，达到调组需要的精度。

【技术特征摘要】
1.一种利用超快激光在柔性基板上精密调组的方法，其特征在于，依次包括以下流程：S1、将柔性基板置于支撑夹具上；S2、在柔性基板上涂覆电阻材料的前体材料，形成湿膜；S3、干燥所述前体材料形成的湿膜，并形成干膜；S4、使用光辐照干膜，退火烧结，形成致密的硬膜电阻材料；S5、按照所需要的图形和电阻值，使用超快激光去除多余的电阻材料，达到调组需要的精度。2.如权利要求1所述的利用超快激光在柔性基板上精密调组的方法，其特征在于：所述S1步骤中，所选用的支撑夹具需使得柔性基板平整地展开。3.如权利要求1所述的利用超快激光在柔性基板上精密调组的方法，其特征在于：所述S2步骤中，可采用打印或印刷的方式将所述前体材料涂覆于所述柔性基板上。4.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：张杰，王晧智，赵晓杰，
申请(专利权)人：英诺激光科技股份有限公司，常州英诺激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44