一种器件的表面防护方法技术

本发明专利技术提供了一种器件的表面防护方法，包括步骤：S20、在所述器件的外围形成第一保护层；S30、在所述第一保护层的外围形成第二保护层；其中，第一保护层和第二保护层中的一者为致密的纳米级涂层，用于防护10个以下的水或其它液体分子组成的小分子团等影响器件的液体分子的侵蚀、或者尺寸小于等于所述小分子团的离子或分子等液体分子的侵蚀；第一保护层和第二保护层中的另一者为微米级防止液体影响的涂层，用于防护10个以上的水或其它液体分子组成的大分子团等液体分子的侵蚀、或者尺寸大于等于所述大分子团的离子或分子等液体分子的侵蚀。本发明专利技术的表面防护方法还能提高器件的精度等指标，可广泛用于不同类型的器件防止液体影响的处理。

【技术实现步骤摘要】
一种器件的表面防护方法
本专利技术涉及工业品和医用品的防止液体影响的
，具体涉及一种器件的表面防护方法。
技术介绍
在制造业领域(包括工业领域和医疗领域等)中，很多器件在一些特殊或恶劣的环境下工作，需要考虑防止液体影响的问题。特别是对于一些具有可动结构器件，如机械量传感器、执行器等，也因具有可动结构，使得这一大类器件对于封装技术提出了更高的要求。例如，在各行各业中大量使用的传感器或执行器，如果其工作环境为水中、具有腐蚀性的气体或液体中、或潮湿环境中，则需要对其做防止液体影响的处理，同时还需考虑外加的防护结构及其工艺方法对器件可动部分、敏感区等关键部分的影响尽量小，尽量不影响这些器件的性能和指标。现有技术中，对器件表面防护处理的方法有很多种，例如，对于传感器、执行器来说，现有技术中主要是采用封装壳密封的方式对其进行防护。然而，这种封装方式一方面会导致产品的外形尺寸明显增大，另一方面还会影响传感器、执行器等具有可动结构的器件的灵敏度，此外，还存在工艺复杂和成本高的缺点。现有技术中也有采用涂层法对器件进行防护：在器件的表面设置金属或非金属涂层，如合金涂层、油漆层、塑料层、橡胶层、沥青本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种器件的表面防护方法，其特征在于，包括步骤：S20、在所述器件的外围形成第一保护层；S30、在所述第一保护层的外围形成第二保护层；其中，所述第一保护层和所述第二保护层中的一者为纳米级涂层，用于防护10个以下的水或其它液体分子组成的小分子团的侵蚀、或者尺寸小于等于所述小分子团的离子或分子的侵蚀；所述第一保护层和所述第二保护层中的另一者为微米级防止液体影响的涂层，用于防护10个以上的水或其它液体分子组成的大分子团的侵蚀、或者尺寸大于等于所述大分子团的离子或分子的侵蚀；优选地，所述第一保护层为纳米级涂层，所述第二保护层为微米级防止液体影响的涂层。

【技术特征摘要】
1.一种器件的表面防护方法，其特征在于，包括步骤：S20、在所述器件的外围形成第一保护层；S30、在所述第一保护层的外围形成第二保护层；其中，所述第一保护层和所述第二保护层中的一者为纳米级涂层，用于防护10个以下的水或其它液体分子组成的小分子团的侵蚀、或者尺寸小于等于所述小分子团的离子或分子的侵蚀；所述第一保护层和所述第二保护层中的另一者为微米级防止液体影响的涂层，用于防护10个以上的水或其它液体分子组成的大分子团的侵蚀、或者尺寸大于等于所述大分子团的离子或分子的侵蚀；优选地，所述第一保护层为纳米级涂层，所述第二保护层为微米级防止液体影响的涂层。2.根据权利要求1所述的表面防护方法，其特征在于，采用原子层沉积技术形成所述纳米级涂层；和/或，采用化学气相沉积技术、或蒸镀技术、或溅射技术、或喷涂技术形成所述微米级防止液体影响的涂层。3.根据权利要求1所述的表面防护方法，其特征在于，采用氧化物、氮化物、氟化物、金属、碳化物、硫化物、聚合物中的一种或多种形成所述纳米级涂层；和/或，采用聚合物、氧化物、硫化物、氮化物、碳化物、陶瓷中的一种或多种形成所述微米级防止液体影响的涂层。4.根据权利要求1所述的表面防护方法，其特征在于，形成所述纳米级涂层的操作过程包括：将所述器件置于原子层沉积室内，在沉积温度-40～350℃的...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨兴，姚嘉林，王曦梓，高博航，陈钰瑄，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京,11