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一种器件的表面防护方法技术
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文档序号:20671909
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本发明提供了一种器件的表面防护方法,包括步骤:S20、在所述器件的外围形成第一保护层;S30、在所述第一保护层的外围形成第二保护层;其中,第一保护层和第二保护层中的一者为致密的纳米级涂层,用于防护10个以下的水或其它液体分子组成的小分子团等...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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