化学浴沉积设备、送料装置及其导向装置制造方法及图纸

本公开提供了一种化学浴沉积设备、送料装置及其导向装置，属于化学浴沉积镀膜技术领域。该导向装置包括基板，设有导向通孔；垫块，设于基板并与基板滑动配合，且具有延伸出基板边缘的延伸部；支杆，设于垫块，并向远离基板的方向延伸；导向轮，可转动地设于支杆；定位块，设于延伸部远离导向轮的表面；第一连接件，沿第一方向穿过垫块和导向通孔，并通过固定件可拆卸地固定，且第一连接件在第二方向上与导向通孔不完全接触；第二连接件，设有限位部，第二连接件沿第二方向穿入基板并螺纹连接，且限位部与定位块卡合；第二方向和第一方向为不同的方向。该导向装置稳定性高，无需高频维护和校正。

Chemical Bath Deposition Equipment, Feeding Device and Guiding Device

The invention provides a chemical bath deposition device, a feeding device and a guiding device, belonging to the technical field of chemical bath deposition coating. The guiding device includes a base plate, which is provided with a guide through hole; a pad is arranged on the base plate and slides with the base plate, and has an extension extending part extending out of the edge of the base plate; a support rod is arranged on the pad and extends away from the base plate; a guide wheel is rotatably arranged on the support rod; a positioning block is arranged on the surface of the extension part away from the guide wheel; and a first connecting part passes through the pad and the guide along the first direction. The first connector is incompletely contacted with the guide through hole in the second direction; the second connector is provided with a limit part; the second connector is threaded through the substrate in the second direction, and the limit part is clamped with the positioning block; the second direction and the first direction are different. The guide device has high stability and does not need high frequency maintenance and correction.

【技术实现步骤摘要】
化学浴沉积设备、送料装置及其导向装置
本公开涉及化学浴沉积镀膜
，尤其涉及一种化学浴沉积设备、送料装置及其导向装置。
技术介绍
化学浴沉积(CBD)镀膜是一种赋予材料新特性的重要方法，广泛应用于机械工业、电子工业或半导体工业等领域。化学浴沉积设备需要对来料进行精准的导向和定位，以便高效、稳定的工作。物料可以是玻璃基板等，玻璃基板在进入化学浴沉积设备进行镀膜时，需要通过导向装置导向和定位至设定的位置。现有的导向装置包括基板、设于基板上的垫块、垂直固定在垫块上的支杆和可转动设置在支杆上的导向轮；基板与垫块上分别设置一长孔和一个紧固孔，并通过贯穿该长孔和紧固孔的螺栓紧固连接。在工作时，玻璃基板需要紧贴导向轮实现定位和转向。然而，现有的导向装置不稳定，在工作条件下有时会发生垫块移位，导致定位和导向不准确。所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种化学浴沉积设备、送料装置及其导向装置，可提高导向装置的稳定性，降低导向装置的校准和维修频率。为实现上述技术目的，本公开采用如下技术方案：根据本公开的第一个方面，提供一种导向装置，包括：基板，设有导向通孔；垫块，设于所述基板并与所述基板滑动配合，且具有延伸出所述基板边缘的延伸部；支杆，设于所述垫块，并向远离所述基板的方向延伸；导向轮，可转动地设于所述支杆；定位块，设于所述延伸部远离所述导向轮的表面；第一连接件，沿第一方向穿过所述垫块和所述导向通孔，并通过固定件可拆卸地固定；且所述第一连接件在第二方向上与所述导向通孔不完全接触，使得所述基板与所述垫块能沿所述第二方向相对滑动；第二连接件，设有限位部，所述第二连接件沿所述第二方向穿入所述基板并螺纹连接，且所述限位部与所述定位块连接；所述第二方向和所述第一方向为不同的方向。在本公开的一种示例性实施例中，所述基板和所述垫块中的一个设有刻度尺，另一个设有用于指示所述刻度尺上刻度的指示标记。在本公开的一种示例性实施例中，所述定位块设置沿所述第二方向的定位通孔，所述第二连接件穿过所述定位通孔。在本公开的一种示例性实施例中，所述第二连接件包括螺杆，所述螺杆穿过所述定位通孔；所述限位部包括：第一螺母，螺纹连接在所述螺杆上，设置于所述定位块和所述基板之间，且抵靠在所述定位块上；第二螺母，螺纹连接在所述螺杆上，设置于所述定位块远离所述基板一侧，且抵靠在所述定位块上。在本公开的一种示例性实施例中，所述导向装置还包括：第三螺母，螺纹连接在所述螺杆上，设置于所述定位通孔和所述基板之间，且抵靠于所述基板。在本公开的一种示例性实施例中，所述螺杆为一螺栓的螺杆。在本公开的一种示例性实施例中，所述定位块与所述垫块为一体式结构。在本公开的一种示例性实施例中，所述第一方向平行于所述支杆的延伸方向；所述第二方向平行于所述导向通孔的长度方向。根据本公开的第二个方面，提供一种送料装置，包括：运输组件，用于运输物料；所述的导向装置，用于将物料导向设定位置。根据本公开的第三个方面，提供一种化学浴沉积设备，包括所述的导向装置。本公开的导向装置中，基板和垫块之间通过第一连接件和第二连接件两组连接件进行连接，且两组连接件的设置方向不同；如此，垫块和基板之间从两个不同的方向进行了固定，且采用了更多的固定方式，保证了在设备长时间运行后垫块不会相对于基板发生移位，一方面提高了导向装置和化学浴沉积设备的稳定性，另一方面可以减少对导向装置的维护和校正次数，降低企业生产成本。附图说明通过参照附图详细描述其示例实施方式，本公开的上述和其它特征及优点将变得更加明显。图1是本公开实施方式的导向装置的剖面结构示意图。图2是本公开实施方式的基板的仰视结构示意图。图3是本公开实施方式的基板与第一连接件和第二连接件配合的仰视结构示意图。图中主要附图标记说明包括：1、基板；11、导向通孔；12、定位螺孔；2、垫块；21、延伸部；3、支杆；4、导向轮；41、紧固螺钉；5、螺栓；51、螺母；6、定位块；7、螺杆；71、第一螺母；72、第二螺母；73、第三螺母。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施例使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、材料等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、材料或者操作以避免模糊本公开的主要技术创意。虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。用语“一个”、“一”、“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。用语“第一”和“第二”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。本公开实施方式中提供一种导向装置，用于对化学浴沉积设备的进料(可以为玻璃基板)的导向和定位，使得物料导向并定位于设定位置。如图1所示，该导向装置包括：基板1，设有导向通孔11；垫块2，设于基板1并与基板1滑动配合，且具有延伸出基板1边缘的延伸部21；支杆3，设于垫块2，并向远离基板1的方向延伸；导向轮4，可转动地设于支杆3；定位块6，设于延伸部21远离导向轮4的表面；第一连接件，沿第一方向穿过垫块2和导向通孔11，并通过固定件可拆卸地固定，且第一连接件在第二方向上与导向通孔11不完全接触，使得所述基板与所述垫块能沿所述第二方向相对滑动；第二连接件，设有限位部，第二连接件沿第二方向穿入基板1并螺纹连接，且限位部与定位块6连接；第二方向和第一方向为不同的方向。本公开实施方式的导向装置，该导向装置通过第一连接件和第二连接件两组连接件进行连接，且两组连接件的设置方向不同，能够从两个不同的方向固定基板1和垫块2，保证了了导向装置在设备长时间运行后不会发生移位，一方面提高了设备的稳定性，另一方面可以减少对导向装置的维护和校正次数，降低企业生产成本。本公开实施方式的导向装置，在应用时，可以沿第二方向进料，该进料方向(即第二方向)在图1中用箭头进行了示意。举例而言，玻璃基板沿第二方向运输至该导向装置，其一侧边抵靠在导向轮4上，然后以导向轮轴心为中心进行旋转，使得玻璃基板转向90°，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种导向装置，其特征在于，包括：基板，设有导向通孔；垫块，设于所述基板并与所述基板滑动配合，且具有延伸出所述基板边缘的延伸部；支杆，设于所述垫块，并向远离所述基板的方向延伸；导向轮，可转动地设于所述支杆；定位块，设于所述延伸部远离所述导向轮的表面；第一连接件，沿第一方向穿过所述垫块和所述导向通孔，并通过固定件可拆卸地固定；且所述第一连接件在第二方向上与所述导向通孔不完全接触，使得所述基板与所述垫块能沿所述第二方向相对滑动；第二连接件，设有限位部，所述第二连接件沿所述第二方向穿入所述基板并螺纹连接，且所述限位部与所述定位块连接；所述第二方向和所述第一方向为不同的方向。

【技术特征摘要】
1.一种导向装置，其特征在于，包括：基板，设有导向通孔；垫块，设于所述基板并与所述基板滑动配合，且具有延伸出所述基板边缘的延伸部；支杆，设于所述垫块，并向远离所述基板的方向延伸；导向轮，可转动地设于所述支杆；定位块，设于所述延伸部远离所述导向轮的表面；第一连接件，沿第一方向穿过所述垫块和所述导向通孔，并通过固定件可拆卸地固定；且所述第一连接件在第二方向上与所述导向通孔不完全接触，使得所述基板与所述垫块能沿所述第二方向相对滑动；第二连接件，设有限位部，所述第二连接件沿所述第二方向穿入所述基板并螺纹连接，且所述限位部与所述定位块连接；所述第二方向和所述第一方向为不同的方向。2.根据权利要求1所述的导向装置，其特征在于，所述基板和所述垫块中的一个设有刻度尺，另一个设有用于指示所述刻度尺上刻度的指示标记。3.根据权利要求1所述的导向装置，其特征在于，所述定位块设置沿所述第二方向的定位通孔，所述第二连接件穿过所述定位通孔。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：芦国华，
申请(专利权)人：华夏易能投资浙江有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33