多系统Parylene真空冷却镀膜机技术方案

本实用新型专利技术公开了一种多系统Parylene真空冷却镀膜机，属于电镀技术领域，其特征在于，包括控制面板、蒸发室、裂解室、真空沉积室、真空系统，外循环冷却系统，真空沉积室内设有进气分流器和抽气分流器，控制面板分别与蒸发室、裂解室、真空系统、外循环冷却系统连接，蒸发室包括若干个并列设置的蒸发腔，蒸发腔的一端与裂解室连接，裂解室通过管路与真空沉积室内的进气分流器连接，真空沉积室内的抽气分流器通过管路与真空系统连接，真空沉积室外设有真空外壳冷循环水套，真空外壳冷循环水套接有外循环冷却系统。本实用新型专利技术扩大了Parylene薄膜的原料范围，同时以多种类型的Parylene固体为原料，为制备出多功能的复合Parylene薄膜提供了有效手段。

Multi-system Parylene Vacuum Cooling Coating Machine

The utility model discloses a multi-system Parylene vacuum cooling coating machine, which belongs to the field of electroplating technology. Its features include a control panel, an evaporation chamber, a cracking chamber, a vacuum deposition chamber, a vacuum system, an external circulation cooling system, an air inlet distributor and an air exhaust distributor in the vacuum deposition chamber, and control panels are respectively connected with an evaporation chamber, a cracking chamber, a vacuum system and an external circulation. The cooling system is connected. The evaporation chamber consists of several evaporation chambers arranged side by side. One end of the evaporation chamber is connected with the cracking chamber. The cracking chamber is connected with the intake distributor in the vacuum deposition chamber through the pipeline. The suction distributor in the vacuum deposition chamber is connected with the vacuum system through the pipeline. The vacuum deposition chamber is equipped with a vacuum shell cold circulating water jacket and the vacuum shell cold circulating water jacket is connected with an external circulation. Cooling system. The utility model enlarges the raw material range of Parylene thin films, and takes various types of Parylene solid as raw materials, thus providing an effective means for preparing multifunctional composite Parylene thin films.

【技术实现步骤摘要】
多系统Parylene真空冷却镀膜机
本技术涉及电镀
，尤其涉及一种多系统Parylene真空冷却镀膜机。
技术介绍
Parylene中文称:派瑞林、聚对二甲苯，或派拉伦，是对一系列独特的高聚物的一个通常的称呼。主要分为N型、C型、D型、F型，不同的类型具有不同的性能。N型是对二甲苯的高聚物，具有最强的渗透能力，能够有效地在各种细缝或针孔表面形成薄膜；C型是在其芳香基中一氢分子被氯所取代，具有极低的水分子和腐蚀性气体的穿透率，沉积速率比N型快。D型是在其芳香基中二个氢原子被二个氯原子所取代，因而在更高温度下具有相对更好的物理及电性能，同时与N、C型相比，具有更好的热稳定性；F型是将二甲基上的H原子替换为F原子，F-C键是已知最强的共价键，键能高达445KJ/mol，仅次于C-H键，但是键能却比C—H键强得多，因而能抵抗紫外线对它的破坏，改善抗紫外线能力；氟原子取代亚甲基上的氢原子也极大地改变化学键的极性，进而提高了其热稳定性和抗老化性能，使其在航空及半导体领域将有可观的应用前景。但是，目前现有的Parylene真空镀膜机往往只有一个蒸发腔室，升华温度单一，每次只能制备单一类型的Parylene薄膜，性能好的复合Parylene薄膜的制备成为一个难以攻克的难题。ZL201320607540.7公开了《一种复合式聚对二甲苯防水膜沉积装置》，该装置并列设置多个蒸发腔，并各自对应连接裂解室，可实现同时沉积两种以上分子结构的聚对二甲苯膜。由于Parylene在蒸发室内的蒸发温度不一样，会存在一定的工艺差异，而在裂解室的裂解温度基本相同，所以多裂解室会造成浪费，而且裂解室数量的增加，无疑增加了仪器制造的难度，同时也增加工艺成本。
技术实现思路
本技术提供一种设有多蒸发腔、单裂解室，能耗低，沉积速度快且均匀，可制备多功能复合型Parylene薄膜的多系统Parylene真空冷却镀膜机。本技术提供的技术方案如下：一种多系统Parylene真空冷却镀膜机，其特征在于，包括控制面板、蒸发室、裂解室、真空沉积室、真空系统，外循环冷却系统，所述真空沉积室内设有进气分流器和抽气分流器，所述控制面板分别与蒸发室、裂解室、真空系统、外循环冷却系统连接，所述蒸发室包括若干个并列设置的蒸发腔，所述蒸发腔的一端与裂解室连接，所述裂解室通过管路与真空沉积室内的进气分流器连接，所述真空沉积室内的抽气分流器通过管路与真空系统连接，所述真空沉积室外设有真空外壳冷循环水套，所述真空外壳冷循环水套接有外循环冷却系统。本技术的工作过程如下：向蒸发腔分别加入不同类型的Parylene固体原料，控制面板发出控制信号，启动真空系统，保证本技术体系内为真空状态；控制面板发出控制信号，分别将各个蒸发腔、裂解室设置到指定温度，固体原料升华后经异形管路扩散至裂解室，裂解成具有反应特性的活性单体，活性单体经管路在进气分流器和抽气分流器的作用下，均匀的扩散至整个真空沉积室，在外循环冷却系统的作用下，真空外壳冷循环水套一直保持低温的状态，使形成气相活性单体快速均匀的涂覆在样品表面形成Parylene薄膜，有效的防止了气相沉积在真空系统的连接管路。通过采用以上技术方案，本技术所达到的有益效果为：1、本技术不仅可以制备单一类型的Parylene薄膜如C型、F型，还可以以不类型的Parylene固体为原料，制备具有多功能的复合Parylene薄膜，如C-F型Parylene薄膜，该薄膜不仅具有C型膜的耐压防水的的特性，还兼有F型膜的抗紫外线、耐高温的性能。2、本技术采用多蒸发腔，单裂解室，耗能低，使升华后的Parylene分子进入裂解室后裂解为活性单体并混合均匀，得到均匀的复合Parylene薄膜。3、真空沉积室加装进气分流器和抽气分流器后，气相活性单体均匀的扩散充满整个真空沉积室，使Parylene薄膜涂覆更均匀。4、在外循环冷却系统的作用下，更快、更稳的形成复合Parylene薄膜，节省了工艺时间，提高了工作效益，同时抑制了气相扩散沉积至真空系统的管路，有效的防止了真空系统管路堵塞的发生。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是现有类型一Parylene真空镀膜机的结构示意图；图3是现有类型二Parylene真空镀膜机的结构示意图；图中：1、蒸发腔，2、异形管路，3、裂解室，4、真空沉积室，5、真空系统，6、壳体，7、外循环冷却系统，8、进气分流器，9、抽气分流器，10、真空外壳冷循环水套。具体实施方式如图1所示，一种多系统Parylene真空冷却镀膜机，其特征在于，包括控制面板、蒸发室、裂解室3、真空沉积室4、真空系统5，外循环冷却系统7，所述真空沉积室4内设有进气分流器8和抽气分流器9，所述控制面板分别与蒸发室、裂解室3、真空系统5、外循环冷却系统7连接，所述蒸发室包括若干个并列设置的蒸发腔1，所述蒸发腔1的一端与裂解室3连接，所述裂解室3通过管路与真空沉积室4内的进气分流器8连接，所述真空沉积室4内的抽气分流器9通过管路与真空系统5连接，所述真空沉积室4外设有真空外壳冷循环水套10，所述真空外壳冷循环水套10接有外循环冷却系统7。本技术的蒸发腔1分别设有温度控制器，所述温度控制器与控制面板连接。本技术的蒸发腔1的一端通过异形管路2与裂解室3连接。本技术的蒸发腔1、裂解室3外共同罩有壳体6。本技术的进气分流器8和抽气分流器9上分别设有抽气系统，所述抽气系统与控制面板连接。如图2所示，现有类型一Parylene真空镀膜机的蒸发室只有一个蒸发腔1，只能设定单一的升华温度，如以聚对二甲苯单氯代物为固体原料时，理想升华温度为120℃，制备出的C型Parylene薄膜具有很好的防水、耐压的性能，当以聚对二甲苯氟代物为固体原料时，理想升华温度为140℃，当制备出的F型Parylene薄膜具有很好的防紫外线、耐高温的性能。但是当需要制备既有很好的防水、耐压性能，又有很好的防紫外线、耐高温性能的Parylene薄膜则难以实现。如图3所示，现有类型二Parylene真空镀膜机，设有多个蒸发腔，并各自对应连接裂解室，可以同时以不同类型的Parylene固体为原料制备Parylene薄膜，但是由于Parylene在蒸发室内的蒸发温度不一样，会存在一定的工艺差异，而在裂解室的裂解温度基本相同，所以多裂解室会造成浪费。本技术蒸发室采用多蒸发腔，可同时以不同类型的Parylene固体为原料，本实施例以双蒸发腔为例，如以聚对二甲苯单氯代物和聚对二甲苯氟代物为固体原料，将两种原料分别放置于不同的蒸发腔1，控制面板设置两腔体温度控制器的温度分别为120℃、140℃，其中控制面板的型号为KR3000真空涂覆设备控制系统。两蒸发腔1通过Y型管路2连接至裂解室3，使两个蒸发腔1升华后的分子同时扩散进入裂解室3，在650℃条件下裂解成为具有反应特性的活性单体，活性单体经管路在进气分流器8和抽气分流器9的作用下，均匀的扩散至整个真空沉积室4，在外循环冷却系统7的作用下，真空外壳冷循环水套10一直保持低温的状态，使形成气相活性单体快速均匀的涂覆在样品表面形成C-F型复合Parylene薄膜，该复合Parylene薄膜既具C型膜的防水耐压性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多系统Parylene真空冷却镀膜机，其特征在于，包括控制面板、蒸发室、裂解室（3）、真空沉积室（4）、真空系统（5），外循环冷却系统（7），所述真空沉积室（4）内设有进气分流器（8）和抽气分流器（9），所述控制面板分别与蒸发室、裂解室（3）、真空系统（5）、外循环冷却系统（7）连接，所述蒸发室包括若干个并列设置的蒸发腔（1），所述蒸发腔（1）的一端与裂解室（3）连接，所述裂解室（3）通过管路与真空沉积室（4）内的进气分流器（8）连接，所述真空沉积室（4）内的抽气分流器（9）通过管路与真空系统（5）连接，所述真空沉积室（4）外设有真空外壳冷循环水套（10），所述真空外壳冷循环水套（10）接有外循环冷却系统（7）。

【技术特征摘要】
1.一种多系统Parylene真空冷却镀膜机，其特征在于，包括控制面板、蒸发室、裂解室（3）、真空沉积室（4）、真空系统（5），外循环冷却系统（7），所述真空沉积室（4）内设有进气分流器（8）和抽气分流器（9），所述控制面板分别与蒸发室、裂解室（3）、真空系统（5）、外循环冷却系统（7）连接，所述蒸发室包括若干个并列设置的蒸发腔（1），所述蒸发腔（1）的一端与裂解室（3）连接，所述裂解室（3）通过管路与真空沉积室（4）内的进气分流器（8）连接，所述真空沉积室（4）内的抽气分流器（9）通过管路与真空系统（5）连接，所述真空沉积室（4）外设有真空外壳冷循环水套（10），所述真空外壳冷循环水...

【专利技术属性】
技术研发人员：张卫兴，张振兴，钱雪冰，
申请(专利权)人：江苏可润光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32